一种利用反射谱精细度测量光波导损耗的系统技术方案

本发明专利技术公开了一种利用反射谱精细度测量光波导损耗的系统，测量系统包括：一可调谐激光器，用于产生波长可调谐的激光；一光路环形装置，将可调谐激光器输出的光信号导入耦合装置并将耦合装置所收集的反射光导入光电探测器；一耦合装置，用于实现环形装置和待测波导之间的耦合；一光电探测器，将收集到的光功率转换成光电流，并输出至计算机。一控制计算机，用于控制可调谐激光器的波长变化，并采集来自光电探测器的光电流信号；一待测波导，用于进行损耗测量。本测量方法通过测量波导F‑P干涉反射谱的精细度，进而计算获得波导的实际损耗，系统结构简单，操作简便，精度高，可广泛应用于集成光学领域。

A system for measuring the loss of optical waveguide by using the fineness of reflection spectrum

【技术实现步骤摘要】
一种利用反射谱精细度测量光波导损耗的系统
本专利技术涉及光电混合
，特别指一种利用反射谱精细度测量光波导损耗的系统。
技术介绍
光波导(Opticalwaveguides)是集成光学系统中最重要的基本组件之一，不论是集成光路中的有源器件还是无源器件，它们的本质都是一个薄膜介质波导，特别对于谐振结构以及大规模集成光路来说，波导损耗直接决定着整个器件或系统的性能。波导损耗的定义为激光在波导中传播时，单位长度上光强的衰减比例，其单位为cm-1或dB/cm。为了准确的表征无源波导的损耗，需要一种精确、便捷、非破坏性、低成本的波导损耗测量方法。关于波导损耗的非破坏性测量方法，目前主要包括以下几种：一、棱镜耦合法，即通过棱镜将激光耦合进波导，经一定距离的传输再耦合出波导，通过改变两棱镜间距即传播波导的长度获得出光功率的变化，其斜率即表征了波导的传播损耗。但是这种测量方法需要保证移动棱镜前后，波导和棱镜间的耦合系数不变，这在现实中是很难保证的，并且为了保证精确度，需要较长的无上覆盖层波导，在实际应用中有诸多的不便。二、背反射法，即通过透镜将激光耦合进波导端面，在波导另一端放置一定反射率的反光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种利用反射谱精细度测量光波导损耗的系统，包括：光源、光路环形装置、耦合装置和光电探测器，其中，所述光路环形装置的第一端口接收光源发出的光，并将其由第二端口输出至耦合装置；所述耦合装置用于将所述光路环形装置第二端口的输出光耦合进待测波导，并收集待测波导的反射光，将所述反射光导入光路环形装置的第二端口；所述光路环形装置还用于接收耦合装置导入的反射光，并将所述反射光由光路环形装置的第三端口传输至光电探测器；所述光电探测器用于将接收到的光功率转换为光电流信号；其中，所述待测波导的损耗公式为：

【技术特征摘要】
1.一种利用反射谱精细度测量光波导损耗的系统，包括：光源、光路环形装置、耦合装置和光电探测器，其中，所述光路环形装置的第一端口接收光源发出的光，并将其由第二端口输出至耦合装置；所述耦合装置用于将所述光路环形装置第二端口的输出光耦合进待测波导，并收集待测波导的反射光，将所述反射光导入光路环形装置的第二端口；所述光路环形装置还用于接收耦合装置导入的反射光，并将所述反射光由光路环形装置的第三端口传输至光电探测器；所述光电探测器用于将接收到的光功率转换为光电流信号；其中，所述待测波导的损耗公式为：其中，α为待测波导的波导损耗，F为光源在不同波长下的探测器光电流曲线的精细度，FSR为所述探测器光电流曲线的自由光谱宽度，即曲线的周期，FWHM为所述探测器光电流曲线谷值处的半高全宽，L为通过自由光谱宽度求得的待测波导的长度，λ为光源的波长，ng为待测波导的群折射率，R为待测波导两端面的反射率。2.根据权利要求1所述的系统，其中，还包括控制装置，所述控...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺一鸣，陆丹，李召松，赵玲娟，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11