一种铜镍合金薄膜热电偶及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种铜镍合金薄膜热电偶的加工方法。本发明专利技术在特殊绝缘基材上进行铜镍合金薄膜化加工，将单个铜镍合金‑铜相连的金属模块测温用热电偶加工成连续化薄膜，并根据实际需求进行多层叠合。在同等温度测量条件下，将测得电势差成倍放大，可以实现精准检测微小温度差的结果。本发明专利技术还将修饰薄膜热电偶的绝缘基板多层互联，实现多个热电偶串联，实现微小温差检测，可用于要求更高灵敏度的温差检测。

A copper-nickel alloy thin film thermocouple and its preparation method

【技术实现步骤摘要】
一种铜镍合金薄膜热电偶及其制备方法
本专利技术属于半导体器件领域，涉及一种铜镍合金薄膜热电偶的加工方法，以及该薄膜热电偶在精密测温领域中的应用。
技术介绍
在工业生产、航空航天、电热仪器等多个领域，对温度的监视、调整与控制都是不可或缺的，其中通常利用热电现象进行温度检测。通常情况下，温度测量可采用与被测物质直接接触方式，在难以获得或不便获得的情况下，可使用非接触方式进行温度测量。热电偶因温度检测范围广、响应速度快、性价比高等优点，是接触式温度测量的主要手段。使用热电偶测温有如下优点：(1)测温准确度较高。常用k分度热电偶的工级误差范围在±0.4％t左右，II级误差范围在±0.75％t。(2)结构相对简单。组成元件包括电极、接线端子、绝缘子、护套等。(3)动态响应速度快。在测温过程中不易产生过大的热惯性。(4)信号可远距离传输。广泛与DCS系统配合应用，便于集中检测和自动控制。(5)可局部测温。适用于精细元件测温。采用不同金属材料的热电偶的检测特性也不同，考虑到热电偶元件使用的广泛性，需要从成本、性能等多个方面考虑热电偶材料。铜-铜镍合金热电偶可在低温下应用，温度测量范围为-250～3本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种铜镍合金薄膜热电偶，其特征在于，所述铜镍合金薄膜热电偶设置在特殊绝缘基材表面，由单个薄膜热电偶单元串联组成，高温端连接亮点为铜镍合金，低温端连接亮点为铜。

【技术特征摘要】
1.一种铜镍合金薄膜热电偶，其特征在于，所述铜镍合金薄膜热电偶设置在特殊绝缘基材表面，由单个薄膜热电偶单元串联组成，高温端连接亮点为铜镍合金，低温端连接亮点为铜。2.根据权利要求1所述的铜镍合金薄膜热电偶，其特征在于，所述单个薄膜热电偶单元由铜镍合金和铜薄膜化相连组成。3.根据权利要求1所述的铜镍合金薄膜热电偶，其特征在于，所述铜镍合金中镍元素的原子分数为10～90。4.根据权利要求3所述的铜镍合金薄膜热电偶，其特征在于，所述铜镍合金中镍元素的原子分数优选44。5.根据权利要求1所述的铜镍合金薄膜热电偶，其特征在于，所述特殊绝缘基材为PET、PI、PTFE、陶瓷中的...

【专利技术属性】
技术研发人员：奚亚男，胡淑锦，
申请(专利权)人：广州钰芯传感科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44