【技术实现步骤摘要】
倒装发光二极管芯片及其制作方法
本专利技术涉及半导体
,特别涉及一种倒装发光二极管芯片及其制作方法。
技术介绍
发光二极管(英文:LightEmittingDiode,简称:LED)是一种可以把电能转化成光能的半导体二极管,已经被广泛应用在显示、装饰、通讯等领域。通过采用不同的半导体材料,LED的发光波长能够覆盖从紫外到红外的全色范围,并使得LED的发光效率和发光亮度不断提高。芯片是LED的核心组件,包括外延片和分别设置在外延片上的N型电极和P型电极。对于红黄光LED芯片来说,外延片包括GaAs衬底以及依次生长在GaAs衬底上的N型限制层、有源层、P型限制层和窗口层。GaAs衬底吸光,为了避免有源层发出的光线被GaAs衬底吸收,可以先利用透明的二氧化硅将透明基板键合到窗口层上作为芯片的出光面,再去除GaAs衬底,分别设置N型电极和P型电极,形成倒装LED芯片。由于N型电极和P型电极均设置在芯片的出光面的相反表面上,因此还可以避免电极吸收芯片射向出光面的光线,特别适用于目前正在发展的小尺寸芯片。键合透明基板和窗口层时,透明基板和窗口层上均铺设有二氧化硅层,在透 ...
【技术保护点】
1.一种倒装发光二极管芯片,其特征在于,所述倒装发光二极管芯片包括透明基板(10)、透明粘结层(20)、窗口层(31)、P型限制层(32)、有源层(33)、N型限制层(34)、N型电极(41)和P型电极(42);所述透明基板(10)、所述透明粘结层(20)、所述窗口层(31)、所述P型限制层(32)、所述有源层(33)、所述N型限制层(34)依次层叠设置,所述N型限制层(34)上设有延伸至所述P型限制层(32)的第一凹槽(100),所述N型电极(41)设置在所述N型限制层(34)上,所述P型电极(42)设置在所述第一凹槽(100)内的P型限制层(32)上;所述透明粘结层(2 ...
【技术特征摘要】
1.一种倒装发光二极管芯片,其特征在于,所述倒装发光二极管芯片包括透明基板(10)、透明粘结层(20)、窗口层(31)、P型限制层(32)、有源层(33)、N型限制层(34)、N型电极(41)和P型电极(42);所述透明基板(10)、所述透明粘结层(20)、所述窗口层(31)、所述P型限制层(32)、所述有源层(33)、所述N型限制层(34)依次层叠设置,所述N型限制层(34)上设有延伸至所述P型限制层(32)的第一凹槽(100),所述N型电极(41)设置在所述N型限制层(34)上,所述P型电极(42)设置在所述第一凹槽(100)内的P型限制层(32)上;所述透明粘结层(20)包括自所述透明基板(10)向所述窗口层(31)依次层叠的第一缓冲层(21)、键合层(22)和第二缓冲层(23);所述第一缓冲层(21)的材料的热膨胀系数在所述透明基板(10)的材料的热膨胀系数和所述键合层(22)的材料的热膨胀系数之间,所述第二缓冲层(23)的材料的热膨胀系数在所述键合层(22)的材料的热膨胀系数和所述窗口层(31)的材料的热膨胀系数之间。2.根据权利要求1所述的倒装发光二极管芯片,其特征在于,所述键合层(22)的材料包括磷硅玻璃、硼硅玻璃和硼磷硅玻璃中的一种;当所述键合层(22)的材料包括磷硅玻璃时,所述键合层(22)中磷组分的含量自所述第一缓冲层(21)向所述第二缓冲层(23)先逐渐增大再逐渐减小;或者,当所述键合层(22)的材料包括硼硅玻璃时,所述键合层(22)中硼组分的含量自所述第一缓冲层(21)向所述第二缓冲层(23)先逐渐增大再逐渐减小;或者,当所述键合层(22)的材料包括硼磷硅玻璃时,所述键合层(22)中磷组分的含量和硼组分的含量均自所述第一缓冲层(21)向所述第二缓冲层(23)先逐渐增大再逐渐减小。3.根据权利要求2所述的倒装发光二极管芯片,其特征在于,当所述键合层(22)中磷组分的含量自所述第一缓冲层(21)向所述第二缓冲层(23)先逐渐增大再逐渐减小时,所述键合层(22)中磷组分的含量的变化速率为0.4/μm~0.6/μm;或者,当所述键合层(22)中硼组分的含量自所述第一缓冲层(21)向所述第二缓冲层(23)先逐渐增大再逐渐减小时,所述键合层(22)中硼组分的含量的变化速率为0.4/μm~0.6/μm。4.根据权利要求1~3任一项所述的倒装发光二极管芯片,其特征在于,当所述键合层(22)的材料包括磷硅玻璃时,所述键合层(22)中磷组分的含量为0.1~0.3;或者,当所述键合层(22)的材料包括硼硅玻璃时,所述键合层(22)中硼组分的含量为0.1~0.3;或者,当所述键合层(22)的材料包括硼磷硅玻璃时,所述键合层(22)中磷组分的含量和硼组分的含量之和为0.1~0.3。5.根据权利要求1~3任一项所述的倒装发光二极管芯...
【专利技术属性】
技术研发人员:兰叶,陶羽宇,常远,吴志浩,
申请(专利权)人:华灿光电苏州有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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