【技术实现步骤摘要】
精密外转子气浮抛光装置
本专利技术属于自动化零部件范围，特别涉及一种超精密外转子气浮抛光装置结构。
技术介绍
现有的打磨抛光装置通常是由一个转动轴固定连接一个柱状打磨块旋转，从而实现对工件的抛光，但是这种抛光形式，只能通过在打磨块外加快气体或液体的流动进行降温，降温效率低，无法有效遏制打磨块温度的提升，而高温情况下打磨块和工件均会逐渐出现硬度降低的软化变形等现象，影响工件的最终抛光质量。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种精密外转子气浮抛光装置，本专利技术转动的抛光筒位于气浮轴承的外侧，抛光筒内部和外部均与空气接触，大大增加了散热效率，因此不需要专门设置散热结构；径向轴承采用小孔节流，轴向轴承采用多孔质，这样保证气浮主轴在磨削时径向具有比较大的承载力，轴向具有比较高的刚度。为实现上述目的，本专利技术的技术方案如下：一种精密外转子气浮抛光装置，包括主轴定子，主轴定子外套设有抛光筒；所述主轴定子和抛光筒之间安装有径向轴承，径向轴承上成形有若干轴承节流孔；主轴定子上还套设有两个止推轴承；两个止推轴承分别处于径向轴承两端；止推轴承外侧安装有主轴端盖，主轴端盖与抛光筒固定...
【技术保护点】
1.一种精密外转子气浮抛光装置，包括主轴定子(9)，主轴定子(9)外套设有抛光筒(8)；其特征在于，所述主轴定子(9)和抛光筒(8)之间安装有径向轴承(6)，径向轴承(6)上成形有若干轴承节流孔(7)；主轴定子(9)上还套设有两个止推轴承(5)；两个止推轴承(5)分别处于径向轴承(6)两端；止推轴承(5)外侧安装有主轴端盖(4)，主轴端盖(4)与抛光筒(8)固定连接；所述主轴定子(9)内成形有径向轴承气路(1)和止推轴承气路(2)；径向轴承气路(1)与轴承节流孔(7)连通；止推轴承(5)上成形有轴向气孔(10)，止推轴承气路(2)与轴向气孔(10)连通；抛光筒(8)两端套设...
【技术特征摘要】
1.一种精密外转子气浮抛光装置，包括主轴定子(9)，主轴定子(9)外套设有抛光筒(8)；其特征在于，所述主轴定子(9)和抛光筒(8)之间安装有径向轴承(6)，径向轴承(6)上成形有若干轴承节流孔(7)；主轴定子(9)上还套设有两个止推轴承(5)；两个止推轴承(5)分别处于径向轴承(6)两端；止推轴承(5)外侧安装有主轴端盖(4)，主轴端盖(4)与抛光筒(8)固定连接；所述主轴定子(9)内成形有径向轴承气路(1)和止推轴承气路(2)；径向轴承气路(1)与轴承节流孔(7)连通；止推轴承(5)上成形有轴向气孔(10)，止推轴承气路(2)与轴向...
【专利技术属性】
技术研发人员：田硕，
申请(专利权)人：深圳市华腾半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44
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