【技术实现步骤摘要】
超声辅助激光水下清洗装置
本技术涉及激光清洗辅助机构,具体为一种超声辅助激光水下清洗装置。
技术介绍
激光清洗是工业清洗领域中的一个重要方向,它具有以下几个优点:1、保护环境。2、非接触式清洗,对基材损伤小。3、较高灵活性、稳定性和自动化。4、清洗质量好。然而,随着激光清洗的领域不断扩大,激光清洗的工件涉及到了精密仪器,对于精密仪器,热影响是不能接受的;此外,当在空气中易被氧化的工件被清洗时,工件在被清洗过后很快再次被污染,由于激光在空气中清洗过后仍有余温残留,加速了清洗表面被氧化,从而降低了激光清洗效率和精度。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术所要解决的技术问题是提出了一种降低热影响、不易氧化、清洗效率高的超声辅助激光水下清洗装置。能够解决上述技术问题的超声辅助激光水下清洗装置,其技术方案包括激光扫描模块、清洗加工模块、超声能量模块以及工作台模块,其中:1、所述清洗加工模块包括工件、水箱和平场聚焦透镜,所述工件放置于水箱内的水下,所述平场聚焦透镜设于水面上方与工件相对。2、所述工作台模块包括可在X/Y向移动的平台,所述水箱放置于平台上。3、所述超声能量模块包括超声换能器,所述超声换能器附着于水箱上并通过线路连接超声波发生器。4、所述激光扫描模块包括振镜和多边形扫描反射镜,所述多边形扫描反射镜可转动的设于平场聚焦透镜上方,多边形扫描反射镜的转动轴线为Y向,所述振镜对应于多边形扫描反射镜设置。所述振镜将入射激光束向正多边形扫描反射镜反射,多边形扫描反射镜将入射激光束再次向平场聚焦透镜反射,所述平场聚焦透镜将两次反射的入射激光束转变为工作激光束打在工件上而产生 ...
【技术保护点】
1.超声辅助激光水下清洗装置,包括激光扫描模块、清洗加工模块、超声能量模块以及工作台模块,其中:所述清洗加工模块包括工件(6)、水箱(5)和平场聚焦透镜(4),所述工件(6)放置于水箱(5)内的水(12)下,所述平场聚焦透镜(4)设于水面上方与工件(6)相对;所述工作台模块包括可在X/Y向移动的平台(7),所述水箱(5)放置于平台(7)上;所述超声能量模块包括超声换能器(8),所述超声换能器(8)附着于水箱(5)上并通过线路连接超声波发生器(9);所述激光扫描模块包括振镜(2)和多边形扫描反射镜(3),所述多边形扫描反射镜(3)可转动的设于平场聚焦透镜(4)上方,多边形扫描反射镜(3)的转动轴线为Y向,所述振镜(2)对应于多边形扫描反射镜(3)设置;所述振镜(2)将入射激光束(1)向多边形扫描反射镜(3)反射,多边形扫描反射镜(3)将入射激光束(1)向平场聚焦透镜(4)反射,所述平场聚焦透镜(4)将两次反射的入射激光束(1)转变为工作激光束(11)打在工件(6)上而产生空化气泡(10)。
【技术特征摘要】
1.超声辅助激光水下清洗装置,包括激光扫描模块、清洗加工模块、超声能量模块以及工作台模块,其中:所述清洗加工模块包括工件(6)、水箱(5)和平场聚焦透镜(4),所述工件(6)放置于水箱(5)内的水(12)下,所述平场聚焦透镜(4)设于水面上方与工件(6)相对;所述工作台模块包括可在X/Y向移动的平台(7),所述水箱(5)放置于平台(7)上;所述超声能量模块包括超声换能器(8),所述超声换能器(8)附着于水箱(5)上并通过线路连接超声波发生器(9);所述激光扫描模块包括振镜(2)和多边形扫描反射镜(3),所述多边形扫描反射镜(...
【专利技术属性】
技术研发人员:龙芋宏,周嘉,赵要武,黄宇星,鲍家定,刘清原,焦辉,杨林帆,李海建,
申请(专利权)人:桂林电子科技大学,
类型:新型
国别省市:广西,45
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