【技术实现步骤摘要】
电极板及等离子清洗机
本专利技术涉及等离子清洗设备领域，特别是涉及一种电极板及等离子清洗机。
技术介绍
等离子清洗机(plasmacleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。而半导体制造加工过程中，产品往往会被加工用到的溢胶、氧化物等污染物沾上，影响产品后续的电学效果，因此需要等离子清洗机对产品进行清洗。目前等离子清洗行业中，产品尤其是片状的产品，是通过放置在电极板上送入清洗腔体内进行等离子清洗的；但是每更换一种不同宽度的产品都需要人工干预，根据不同宽度的产品更换不同宽度的电极板；而且更换过程需要停机并且人工操作，造成成本的提升。
技术实现思路
基于此，有必要针对上述问题，提供一种工作效率高的电极板及具...
【技术保护点】
1.一种电极板，用于等离子清洗机中放置产品，其特征在于：所述电极板上设有至少两个避让槽，所述避让槽沿同一方向延伸设置；所述避让槽相互间隔设置；当所述电极板承载产品时，所述产品横跨所述至少两个避让槽，以供抓取装置进入所述避让槽抓夹所述产品相对两侧。
【技术特征摘要】
1.一种电极板，用于等离子清洗机中放置产品，其特征在于：所述电极板上设有至少两个避让槽，所述避让槽沿同一方向延伸设置；所述避让槽相互间隔设置；当所述电极板承载产品时，所述产品横跨所述至少两个避让槽，以供抓取装置进入所述避让槽抓夹所述产品相对两侧。2.根据权利要求1所述的电极板，其特征在于，所述避让槽相互平行设置。3.根据权利要求1所述的电极板，其特征在于，所述避让槽上下贯穿所述电极板设置。4.根据权利要求1所述的电极板，其特征在于，所述电极板包括外框及设置在外框内的多个支撑杆，所述避让槽位于相邻的所述支撑杆之间或者所述支撑杆与外框之间；所述避让槽的宽度大于相邻的支撑杆的宽度。5.一种离子清洗机，其特征在于，包括机械手及如权利要求1至4任意一项所述的电极板，所述机械手包括抓取装置及连接所述抓取装置的移动装置，所述抓取装置用于进入所述电极板的避让槽对横跨避让槽上的产品的相对两侧进行夹取。6.根据权利要求5所述的离子清洗机，其特征在于，所述抓取装置包括至少一个夹取机构，夹取机构包括相对设置的第一夹子及第二夹子；所述第一夹子与第二夹子通过动力元件控制相互靠近或者远离...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨建，刘志维，黄凯麟，许隽玮，
申请(专利权)人：东莞市科路科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。