光学防抖MEMS驱动器制造技术

本实用新型专利技术公开了光学防抖MEMS驱动器。现有的光学防抖驱动器，最多仅具有五轴。本实用新型专利技术包括平面三轴驱动器和垂直三轴驱动器。所述的平面三轴驱动器包括第一框架、驱动臂和中间固定板。垂直三轴驱动器包括运动件和驱动件。运动件包括第二框架、第二悬臂、偏转盘、弹簧条、中心盘和第三接触点。多根第二悬臂的一端均与偏转盘连接，另一端均与第二框架连接。驱动件包括底盘和扇环状电极片组。扇环状电极片组包括n片扇环状电极片。n片扇环状电极片均固定在底板上。扇环状电极片组与偏转盘对齐。本实用新型专利技术可实现使图像传感器在平面三轴及竖直三轴上运动，解决由于相机抖动带来的图像模糊问题。

Optical Anti-jitter MEMS Driver

【技术实现步骤摘要】
光学防抖MEMS驱动器
本技术属于微机电系统
，具体涉及一种光学防抖MEMS驱动器。
技术介绍
图像稳定(ImageStabilization,IS)技术在提高手机拍摄性能方面发挥着关键作用。该技术主要有两种形式：一、光学图像稳定(OpticalImageStabilization,OIS)，俗称光学防抖，其在一帧的曝光时间内直接对相机抖动做机械补偿以消除图像模糊；二、电子图像稳定(ElectronicImageStabilization,EIS)，其通过对拍摄后的多帧图像进行计算处理以提高清晰度。目前，智能手机采用的光学防抖技术主要由音圈马达(VoiceCoilMotor,VCM)提供驱动力，其工作原理是在VCM驱动下使透镜移位(lensshift)，以补偿摄像时发生的抖动。这种VCM光学防抖技术通常只可以在X轴和Y轴进行平移补偿，而由于透镜是旋转对称的，无法实现滚动轴(Rollaxis)旋转补偿。相对于基于透镜移位(lensshift)原理的VCM光学防抖技术，基于传感器移位(sensorshift)原理的微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSyst本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.光学防抖MEMS驱动器，包括平面三轴驱动器；其特征在于：还包括垂直三轴驱动器；所述的平面三轴驱动器包括第一框架、驱动臂和中间固定板；所述的中间固定板位于第一框架内；中间固定板上开设有沿中间固定板中心点的周向均布的m个卡入槽，m≥3；卡入槽由主干槽和a个分支槽组成；a个分支槽的内端均与主干槽连通；驱动臂由主干杆和a根分支杆组成；a个分支杆的内端均与主干杆连接；驱动臂共有m个；m个驱动臂分别设置在m个卡入槽内；驱动臂上的主干杆与第一框架通过第一悬臂连接；每根分支杆与对应分支槽内之间均设置有梳齿状驱动电极组；梳齿状驱动电极组由一根杆上梳齿电极和一根槽上梳齿电极组成；杆上梳齿电极与对应的分支杆固定...

【技术特征摘要】
1.光学防抖MEMS驱动器，包括平面三轴驱动器；其特征在于：还包括垂直三轴驱动器；所述的平面三轴驱动器包括第一框架、驱动臂和中间固定板；所述的中间固定板位于第一框架内；中间固定板上开设有沿中间固定板中心点的周向均布的m个卡入槽，m≥3；卡入槽由主干槽和a个分支槽组成；a个分支槽的内端均与主干槽连通；驱动臂由主干杆和a根分支杆组成；a个分支杆的内端均与主干杆连接；驱动臂共有m个；m个驱动臂分别设置在m个卡入槽内；驱动臂上的主干杆与第一框架通过第一悬臂连接；每根分支杆与对应分支槽内之间均设置有梳齿状驱动电极组；梳齿状驱动电极组由一根杆上梳齿电极和一根槽上梳齿电极组成；杆上梳齿电极与对应的分支杆固定；槽上梳齿电极与对应的分支槽固定；所述的垂直三轴驱动器包括运动件和驱动件；所述的运动件包括第二框架、第二悬臂、偏转盘、弹簧条、中心盘和第三接触点；所述的偏转盘设置在第二框架内；多根第二悬臂的一端均与偏转盘连接，另一端均与第二框架连接；偏转盘与第一框架固定；中心盘设置在偏转盘中心的通孔内，且与偏转盘通过多根弹簧条连接；中心盘与平面三轴驱动器上的中间固定板的中部固定；所述的驱动件包括底盘和扇环状电极片组；扇环状电极片组包括n片扇环状电极片，n≥3；n片扇环状电极片均固定在底板上；扇环状电极片组与偏转盘对齐。2.根据权利要求1所述的光学防抖MEMS驱动器，其特征在于：设置在OIS封装件内；所述的OIS封装件包括主框架、相机镜头、图像传感器、悬挂连接件和安装架；所述的相机镜头固定在主框架上；图像传感器固定在安装架上；安装架与主框架均通过悬挂连接件连接，使得图像传感器在主框架内悬空；悬挂件采用弹性材料；安装架与平面三轴驱动器内的第一框架固定。3.根据权利要求1所述的光学防抖...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴丽翔，孙全胜，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：新型
国别省市：浙江,33