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光学防抖MEMS驱动器制造技术
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下载光学防抖MEMS驱动器的技术资料
文档序号:22132215
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本实用新型公开了光学防抖MEMS驱动器。现有的光学防抖驱动器,最多仅具有五轴。本实用新型包括平面三轴驱动器和垂直三轴驱动器。所述的平面三轴驱动器包括第一框架、驱动臂和中间固定板。垂直三轴驱动器包括运动件和驱动件。运动件包括第二框架、第二悬臂...
该专利属于杭州电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过杭州电子科技大学授权不得商用。
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