一种直冷机的监控系统技术方案

一种直冷机的监控系统，包括若干直冷机，所述若干直冷机上分别设有通讯模块，所述通讯模块分别和服务器连接，所述通讯模块向服务器传输工作状态信息；服务器连接终端显示器；所述通讯模块中，包括温度传感器、液位传感器和电流电压传感器。本实用新型专利技术通过直冷机上的通讯模块，使不同的直冷机能与服务器进行实时的通讯，从而可以让用户在终端显示器处实时监测所有冷水机的工作状态。

A Monitoring System for Direct Cooler

【技术实现步骤摘要】
一种直冷机的监控系统
本技术涉及一种监控设备，具体地说是一种直冷机的监控系统。
技术介绍
在半导体制造行业中，工艺反应腔体(即晶片卡盘)控温通常采用直冷机；而现有的直冷机通常采用常规的压缩机，不仅能耗较大，且温控的精度很差，不能满足高精度的半导体生产要求。CN201320656711.5号中国专利提供了一种半导体温控储存装置，包括一箱体，箱体中设置有：半导体制冷系统，包括一半导体制冷片，半导体制冷片的一端与水冷头连接，与水冷头中的液体进行热交换，另一端与一散热片连接，与箱体的外部进行热交换；水循环系统，与半导体制冷片实现热交换，向箱体内提供冷风或热风；控制芯片，包括一单片机，驱动水循环系统和半导体制系统，制造成本低，适合于较小体积的物品的恒温密封保存。而在一个生产工厂中，会有成百上千的直冷机同时工作，而每个直冷机中有不同的设备均需要监控，因此需要及时监控每一个直冷机的工作状态。
技术实现思路
本技术为解决现有的问题，旨在提供一种直冷机的监控系统。为了达到上述目的，本技术采用的技术方案直冷机包括热交换器、加热电路、冷却液罐、泵和若干管道，其中，冷却液罐中的冷却液经泵加压并通过管道输送到热交换器的热交换板中，且在带走热量后回流到冷却液罐，以此形成液体循环；而另一热交换板接通反应腔体。所述监控系统包括若干直冷机，所述若干直冷机上分别设有通讯模块，所述通讯模块分别和服务器连接，所述通讯模块向服务器传输工作状态信息；服务器连接终端显示器；所述通讯模块中，包括温度传感器、液位传感器和电流电压传感器。其中，温度传感器设于热交换器的表面。其中，液位传感器设于冷却液罐的内部侧壁。其中，电流电压传感器设于加热电路总线上。其中，还包括单向阀，所述单向阀设于用于液体循环的任一管道上。其中，还包括过温保护装置，所述过温保护装置包括温度开关和加热电路，所述温度开关固定在热交换器的外表面上；所述温度开关设于加热电路总线上；温度开关可依据设定的温度范围而断开、连通加热电路。其中，还包括控制器和为其供电的电源，控制器分别连接并控制泵、加热电路；控制器还通过触屏进行人机交互；并通过USB接口存储信息。和现有技术相比，本技术通过直冷机上的通讯模块，使不同的直冷机能与服务器进行实时的通讯，从而可以让用户在终端显示器处实时监测所有冷水机的工作状态。还利用半导体控温芯片对反应腔体进行温控，使得控温精度以及能耗有一个明显的改善；本技术所提供的热价换器制冷效果好、冷却迅速。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为直冷机的结构拆分示意图。具体实施方式现结合附图对本技术作进一步地说明。参见图2，本技术还提供一种用于半导体设备反应腔体控温的直冷机，包括箱体、热交换器、冷却液罐、泵和若干管道。其中，冷却液罐中的冷却液经泵加压并通过管道输送到热交换器的热交换板中，热交换器通过支架固定在箱体内；在带走热量后回流到冷却液罐，以此形成液体循环；而另一热交换板接通反应腔体。使用中，控制器接受传感从工艺反应腔体(晶片卡盘)返回的工艺流体的温度,并通过TE芯片组改变供应给工艺反应腔体的工艺流体的温度,以补偿工艺条件的变化。参见图1，本实施例还设置有监控系统。所述监控系统包括若干直冷机，所述若干直冷机上分别设有通讯模块，所述通讯模块分别和服务器连接，所述通讯模块向服务器传输工作状态信息；服务器连接终端显示器。所述通讯模块中，包括温度传感器、液位传感器和电流电压传感器。作为优选，温度传感器设于热交换器的表面，能够及时传递温度。作为优选，液位传感器设于冷却液罐的内部侧壁，能够感知液面的高度情况，以判断是否存在泄漏。作为优选，电流电压传感器设于加热电路总线上，以防止突然断路而影响直冷机的工作。通过加装一套通讯模块（包含RS232、RS484等主流通讯信号），使不同的直冷机能与服务器进行实时的通讯，从而可以让用户在终端显示器处实时监测所有冷水机的工作状态。本系统每个终端显示器可以同时监测255台直冷机。在半导体行业工厂，直冷机的使用非常广泛，每个工厂会有上千台的直冷机设备，直冷机的安装位置也会非常分散，用户每天需要花费大量的人力来进行巡检。通过使用直冷机中央监测系统，用户可以在办公室或者车间里的专用终端显示器实时的监测每台直冷机的工作状况，可以大大的提高用户的工作效率并且节省大量的人力资源。其中，泵是提供工艺冷却液体进行循环的动力装置，使冷却液能在热交换器、冷却液罐和工艺反应腔之间进行循环流动。参见图2，还包括单向阀，所述单向阀设于用于液体循环的任一管道上。单向阀内的冷却液体只能沿进水口方向流动，出水口处介质无法回流。它用于液压系统中防止液体反向流动。当在冷却液罐里液体加满时，单向阀处会形成液体的循环，同时也会阻止多余的液体进入冷却液罐。其中，还包括过温保护装置，所述过温保护装置包括温度开关和加热电路，所述温度开关固定在热交换器的外表面上；所述温度开关设于加热电路总线上；温度开关可依据设定的温度范围而断开、连通加热电路，且固定在热交换器表面。当热交换器温度过高时，温度开关会断开加热电路；而当热交换器温度恢复正常后电路才会联通。其中，还包括控制器和为其供电的电源，控制器分别连接并控制泵、加热电路。；控制器接受主机台反馈回来的信号对温度进行控制，到达生产设备需要的条件。在控制部分加了散热块可以有效的降低控制单元产生的热量，提高单元的使用寿命。控制器还通过触屏进行人机交互，可以在上面显示实际温度曲线的变化方便客户观察。控制器通过USB接口存储信息，可以在USB接口下载到近三个月的温度数据，方便解决问题。此外，还设有隔离板，隔离板用于分割电子控制单元和机械部分，起到保护电子控制单元的作用，同时也确保控制部分产生的热量不影响到热交换器的正常工作。上面结合附图及实施例描述了本技术的实施方式，实施例给出的结构并不构成对本技术的限制，本领域内熟练的技术人员可依据需要做出调整，在所附权利要求的范围内做出各种变形或修改均在保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种直冷机的监控系统，直冷机包括热交换器、加热电路、冷却液罐、泵和若干管道，其中，冷却液罐中的冷却液经泵加压并通过管道输送到热交换器的热交换板中，且在带走热量后回流到冷却液罐，以此形成液体循环；而另一热交换板接通反应腔体，其特征在于：所述监控系统包括若干直冷机，所述若干直冷机上分别设有通讯模块，所述通讯模块分别和服务器连接，所述通讯模块向服务器传输工作状态信息；服务器连接终端显示器；所述通讯模块中，包括温度传感器、液位传感器和电流电压传感器。

【技术特征摘要】
2019.01.02 CN 20191000146281.一种直冷机的监控系统，直冷机包括热交换器、加热电路、冷却液罐、泵和若干管道，其中，冷却液罐中的冷却液经泵加压并通过管道输送到热交换器的热交换板中，且在带走热量后回流到冷却液罐，以此形成液体循环；而另一热交换板接通反应腔体，其特征在于：所述监控系统包括若干直冷机，所述若干直冷机上分别设有通讯模块，所述通讯模块分别和服务器连接，所述通讯模块向服务器传输工作状态信息；服务器连接终端显示器；所述通讯模块中，包括温度传感器、液位传感器和电流电压传感器。2.根据权利要求1所述的直冷机的监控系统，其特征在于：温度传感器设于热交换器的表面。3.根据权利要求1所述的直冷机的监控系统，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：布鲁斯·塞弗里德，熊绎，张亚梅，陆斌，袁宏道，
申请(专利权)人：江苏中科新源半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32