【技术实现步骤摘要】
一种直冷机的监控系统
本技术涉及一种监控设备，具体地说是一种直冷机的监控系统。
技术介绍
在半导体制造行业中，工艺反应腔体(即晶片卡盘)控温通常采用直冷机；而现有的直冷机通常采用常规的压缩机，不仅能耗较大，且温控的精度很差，不能满足高精度的半导体生产要求。CN201320656711.5号中国专利提供了一种半导体温控储存装置，包括一箱体，箱体中设置有：半导体制冷系统，包括一半导体制冷片，半导体制冷片的一端与水冷头连接，与水冷头中的液体进行热交换，另一端与一散热片连接，与箱体的外部进行热交换；水循环系统，与半导体制冷片实现热交换，向箱体内提供冷风或热风；控制芯片，包括一单片机，驱动水循环系统和半导体制系统，制造成本低，适合于较小体积的物品的恒温密封保存。而在一个生产工厂中，会有成百上千的直冷机同时工作，而每个直冷机中有不同的设备均需要监控，因此需要及时监控每一个直冷机的工作状态。
技术实现思路
本技术为解决现有的问题，旨在提供一种直冷机的监控系统。为了达到上述目的，本技术采用的技术方案直冷机包括热交换器、加热电路、冷却液罐、泵和若干管道，其中，冷却液罐中的冷却液经泵加压并通...
【技术保护点】
1.一种直冷机的监控系统，直冷机包括热交换器、加热电路、冷却液罐、泵和若干管道，其中，冷却液罐中的冷却液经泵加压并通过管道输送到热交换器的热交换板中，且在带走热量后回流到冷却液罐，以此形成液体循环；而另一热交换板接通反应腔体，其特征在于：所述监控系统包括若干直冷机，所述若干直冷机上分别设有通讯模块，所述通讯模块分别和服务器连接，所述通讯模块向服务器传输工作状态信息；服务器连接终端显示器；所述通讯模块中，包括温度传感器、液位传感器和电流电压传感器。
【技术特征摘要】
2019.01.02 CN 20191000146281.一种直冷机的监控系统，直冷机包括热交换器、加热电路、冷却液罐、泵和若干管道，其中，冷却液罐中的冷却液经泵加压并通过管道输送到热交换器的热交换板中，且在带走热量后回流到冷却液罐，以此形成液体循环；而另一热交换板接通反应腔体，其特征在于：所述监控系统包括若干直冷机，所述若干直冷机上分别设有通讯模块，所述通讯模块分别和服务器连接，所述通讯模块向服务器传输工作状态信息；服务器连接终端显示器；所述通讯模块中，包括温度传感器、液位传感器和电流电压传感器。2.根据权利要求1所述的直冷机的监控系统，其特征在于：温度传感器设于热交换器的表面。3.根据权利要求1所述的直冷机的监控系统，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：布鲁斯·塞弗里德，熊绎，张亚梅，陆斌，袁宏道，
申请(专利权)人：江苏中科新源半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。