控制阀和控制回路制造技术

本实用新型专利技术涉及控制领域，特别是涉及控制阀和控制回路。控制阀包括阀芯、第一输入通道、第一旁通道、第二输入通道、第二旁通道及一个以上的混合输出通道；其第一输入通道在阀芯的控制下与混合输出通道和/或第一旁通道连通，则自第一输入通道输入的物质会流入混合输入通道和/或第一旁通道；第二输入通道在阀芯的控制下与混合输出通道和/或第二旁通道连通，则自第二输入通道输入的物质会流入混合输入通道和/或第二旁通道；由此，通过增加旁通的设计，阀芯不仅能够控制两种物质的混合比例，同时能够控制两种物质回路各自的旁通比例，使两种物质的流通回路不受混合比例的影响，提高了设备运行的可靠性，简化管路设计，提高阀门控制精度。

Control Valve and Control Circuit

【技术实现步骤摘要】
控制阀和控制回路
本技术涉及控制领域，特别是涉及控制阀和控制回路。
技术介绍
在半导体温度控制领域，主工艺设备需要温控设备提供温度和流量稳定的循环液体，但是由温控设备来改变设定温度时，升降温时间较长，反应不够迅速，不能满足新的一些工艺的要求。现有技术通过温控设备自身改变设定温度，反应较慢。使用两路不同温度的循环液进行切换，反应较快，但温度不能无级变换，如需达到无级变换，需主工艺设备配置额外的加热器进行控制。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术的目的是提供一种控制阀和控制回路，解决上述的至少一个问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供一种控制阀，其包括：阀芯、第一输入通道、第一旁通道、第二输入通道、第二旁通道及一个以上的混合输出通道；其中，第一输入通道在阀芯的控制下与第一旁通道和/或混合输出通道连通；第二输入通道在阀芯的控制下与第二旁通道和/或混合输出通道连通。在一些实施例中，优选为，所述第一输入通道的输入端和所述第一旁通道的输出端均与第一供应结构连接；所述第二输入通道的输入端和所述第二旁通道的输出端均与第二供应结构连接。在一些实施例中，优选为，所述第一输入通道、所述第二输本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种控制阀，其特征在于，包括：阀芯、第一输入通道、第一旁通道、第二输入通道、第二旁通道及一个以上的混合输出通道；其中，第一输入通道在阀芯的控制下与第一旁通道和/或混合输出通道连通；第二输入通道在阀芯的控制下与第二旁通道和/或混合输出通道连通。

【技术特征摘要】
1.一种控制阀，其特征在于，包括：阀芯、第一输入通道、第一旁通道、第二输入通道、第二旁通道及一个以上的混合输出通道；其中，第一输入通道在阀芯的控制下与第一旁通道和/或混合输出通道连通；第二输入通道在阀芯的控制下与第二旁通道和/或混合输出通道连通。2.如权利要求1所述的控制阀，其特征在于，所述第一输入通道的输入端和所述第一旁通道的输出端均与第一供应结构连接；所述第二输入通道的输入端和所述第二旁通道的输出端均与第二供应结构连接。3.如权利要求1所述的控制阀，其特征在于，所述第一输入通道、所述第二输入通道均为液体通道或均为气体通道。4.如权利要求1-3任一项所述的控制阀，其特征在于，所述混合输出通道的输出端设置传感器，所述传感器与所述阀芯连接。5.如权利要求4所述的控制阀，其特征在于，所述传感器包括温度传感器或流量传感器。6.如权利要求1-3任一项所述的控制阀，其特征在于，所述控制阀包括温度控制阀或流量控制阀。7.一种控制回路，其特征在于，包括第一供应结构、第二供应结构、主机台及权利要求1-6任...

【专利技术属性】
技术研发人员：芮守祯，何茂栋，赵力行，蒋俊海，于浩，邹昭平，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11