【技术实现步骤摘要】
基于扫频数据机制的石英晶片在线研磨的测控方法
本专利技术涉及石英晶片领域，更具体的说，它涉及基于扫频数据机制的石英晶片在线研磨的测控方法。
技术介绍
电子信息产业是国民经济的支柱产业，石英晶体振荡器在电子信息行业中具有极其重要的地位。中国是石英晶振的生产大国，但是产品质量与发达国家相比仍有较大差距。近年来行业发展十分迅速，对石英晶振生产过程中的在线研磨石英晶片高精度频率分析监控设备的需求量也在不断增加，同时对该设备的测控能力提出了更高的要求。石英晶片研磨是石英晶振生产过程中必不可少的步骤，石英晶片电参数测量是这一步骤中的关键测控技术，国内很多研究机构都对其进行了研究探索。20世纪九十年代，天津大学就基于国际标准的传输法原理对石英晶片的电参数进行了测量。从2002年到2004年，北京机械工业学院对π网络法测量石英晶片电参数的原理及π网络中分布参数对测量精度的影响进行了研究。中南大学信息科学与工程学院在2004年提出了一种使用直接数字频率合成器(DDS)作为激励信号源的方法和以此为基础实现石英晶片电参数计算机测量系统。北京航空航天大学在2006年设计了一种频率高达20...
【技术保护点】
1.基于扫频数据机制的石英晶片在线研磨的测控方法，其特征在于，包括如下步骤：初始化数据步骤、谐振频率自动搜索流程步骤、基于扫频数据机制的跟踪测频流程步骤、惯性导航流程步骤；101)初始化数据设置和检测步骤：对异常监控、统计控制、测频策略和研磨程序的参数进行初始化设置，并对研磨机控制模块进行自检，确保设备控制正常；102)谐振频率自动搜索流程步骤：步骤101)设置后，通过谐振频率自动搜索、自动搜索频率切换参数设置和自动搜索完成数据处理，来实行自动搜索；103)跟踪测试流程步骤：通过步骤102)自动搜索成功后，进入跟踪测试，其包括进行参数初始化，扫频参数设置、进行DDS扫频，扫...
【技术特征摘要】
1.基于扫频数据机制的石英晶片在线研磨的测控方法，其特征在于，包括如下步骤：初始化数据步骤、谐振频率自动搜索流程步骤、基于扫频数据机制的跟踪测频流程步骤、惯性导航流程步骤；101)初始化数据设置和检测步骤：对异常监控、统计控制、测频策略和研磨程序的参数进行初始化设置，并对研磨机控制模块进行自检，确保设备控制正常；102)谐振频率自动搜索流程步骤：步骤101)设置后，通过谐振频率自动搜索、自动搜索频率切换参数设置和自动搜索完成数据处理，来实行自动搜索；103)跟踪测试流程步骤：通过步骤102)自动搜索成功后，进入跟踪测试，其包括进行参数初始化，扫频参数设置、进行DDS扫频，扫频数据的处理，数据的进一步分析处理和对参数的重新设置；其中，扫频数据的处理包括对紧急暂停的操作，接着对DDS扫频数据采集是否完成的判断，并根据跟踪测频谐振频率搜索方法来获得是否搜索成功的判断，如果以上判断为无紧急暂停的操作、DDS扫频数据采集完成，但搜索成功判断为不成功，则进入数据的进一步分析处理，若无紧急暂停的操作、DDS扫频数据采集完成，搜索成功判断为成功，则对峰峰值是否大于约束值进行判断，判断为否，则进入数据的进一步分析处理，判断为是，则由谐振频率值判断是不是在频宽约束范围内，如果判断为不是，则进入数据的进一步分析处理，如果判断为是，则将谐振频率存入数组，判断是否收到圈数信息，如果收到圈数信息，则计算散差并判断圈数是否大于速率统计约束值，如果未收到圈数信息，则直接判断圈数是否大于速率统计约束值，如果是则通过最小二乘法获取速率再计算频率平均值，如果不大于速率统计约束值，则跳过获取速率，直接计算频率平均值，并转向数据的进一步分析处理；104)惯性导航流程步骤：在步骤103)处理异常数据时启动惯性导航，根据相应数据运用模拟参数弥补部分数据的缺失，再将补充完的数据写入DDS，返回步骤103)中的DDS扫频。2.根据权利要求1所述基于扫频数据机制的...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭彬，潘凌锋，陈一信，陈浙泊，颜文俊，林斌，
申请(专利权)人：浙江大学台州研究院，
类型：发明
国别省市：浙江,33
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