【技术实现步骤摘要】
一种用于表面缺陷检测的多通道散射光收集装置
本专利技术属于表面缺陷检测领域，更具体地，涉及一种用于表面缺陷检测的多通道散射光收集装置。
技术介绍
超光滑表面元器件在微光机电系统、激光聚变系统、激光器谐振腔、探测器芯片、大规模集成电路基片和半导体制造等为主的光电子产业领域都有广泛的应用。以晶圆表面缺陷检测系统为例，晶圆表面的微小缺陷(如划痕、冗余物等)会显著影响光刻质量，严重的还可能导致整个芯片的失效。目前业界普遍通过一定的扫描程式对晶圆进行表面缺陷扫描，判断晶圆上的缺陷是否超出控制标准，以及时进行相应处理。目前国内外超光滑表面微小缺陷检测主要方法有：显微成像法、激光散射测量法。其中，显微成像法(参考文献CN1563957A)采用机器视觉手段进行，该方法检测速度较慢，不太适合工业领域的应用。而激光散射测量法通过将被测物体表面散射光收集至探测器中，由于其高灵敏度而被广泛应用于半导体检测领域中。参考文献CN201220019507.8采用了一种积分球散射光收集装置，散射光通过积分球的开口处进入积分球并被均匀化，其中一部分散射光被设置在积分球另一侧的探测器接收。参考文献C...
【技术保护点】
1.一种用于表面缺陷检测的多通道散射光收集装置，其特征在于，包括：第一散射光收集通道、第二散射光收集通道、第三散射光收集通道和第四散射光收集通道；所述第一散射光收集通道，包括第一探测器(8)和第一散射光收集单元；所述第一散射光收集单元，用于对小角度区间范围内的散射光进行聚焦，并反射至所述第一探测器(8)上；所述第一探测器(8)，用于收集经过反射的小角度区间范围内的散射光；所述第二散射光收集通道，包括第二探测器(4)和第二散射光收集单元；所述第二散射光收集单元，用于对较大角度区间范围内的散射光进行汇聚，并反射至第二探测器(4)上；所述第二探测器(4)，用于收集经过反射的较大角...
【技术特征摘要】
1.一种用于表面缺陷检测的多通道散射光收集装置，其特征在于，包括：第一散射光收集通道、第二散射光收集通道、第三散射光收集通道和第四散射光收集通道；所述第一散射光收集通道，包括第一探测器(8)和第一散射光收集单元；所述第一散射光收集单元，用于对小角度区间范围内的散射光进行聚焦，并反射至所述第一探测器(8)上；所述第一探测器(8)，用于收集经过反射的小角度区间范围内的散射光；所述第二散射光收集通道，包括第二探测器(4)和第二散射光收集单元；所述第二散射光收集单元，用于对较大角度区间范围内的散射光进行汇聚，并反射至第二探测器(4)上；所述第二探测器(4)，用于收集经过反射的较大角度区间范围内的散射光；所述第三散射光收集通道，包括第三探测器(2)和第三散射光收集单元；所述第三散射光收集单元，用于对更大角度区间范围内的散射光进行汇聚，并反射至所述第三探测器(2)上；所述第三探测器(2)，用于收集反射的更大角度区间范围内的散射光；所述第四散射光收集通道，包括第四探测器(1)和第四散射光收集单元；所述第四散射光收集单元，用于对最大角度区间范围内的散射光进行汇聚，并反射至所述第四探测器(1)上；所述第四探测器(1)，用于收集反射的最大角度区间范围内的散射光；其中，所述角度是指，散射光的出射方向与缺陷测试点位置处法线方向的夹角。2.根据权利要求1所述的一种用于表面缺陷检测的多通道散射光收集装置，其特征在于，所述小角度区间范围为0°～15°；所述较大角度区间范围为18°～40°；所述更大角度区间范围为43°～60°；所述最大角度区间范围为63°～85°。3.根据权利要求2所述的一种用于表面缺陷检测的多通道散射光收集装置，其特征在于，所述第一散射光收集单元，包括收集透镜(10)、第一反射镜(9)；所述收集透镜(10)中心、第一反射镜(9)中心、第一探测器(8)接收面的中心与所述缺陷测试点共面；所述收集透镜(10)，用于对小角度区间范围内的散射光进行聚焦；所述第一反射镜(9)，用于将经过聚焦的小角度区间范围的散射光反射到第一探测器(8)上；所述第二散射光收集单元，包括第一环状反射镜(6)、第二环状反射镜(7)、第二反射镜(5)；所述第一环状反射镜(6)中心、第二环状反射镜(7)中心、第二反射镜(5)中心、第二探测器(4)接收面的中心与所述缺陷测试点共面；所述第一环状反射镜(6)，用于对较大角度区间范围内的散射光进行汇聚，并反射至...
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