下载一种用于表面缺陷检测的多通道散射光收集装置的技术资料

文档序号:22073430

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本发明公开了一种用于表面缺陷检测的多通道散射光收集装置,属于激光散射表面缺陷检测技术领域,所述装置包括:第一散射光收集通道、第二散射光收集通道、第三散射光收集通道和第四散射光收集通道;第一散射光收集通道收集小角度区间范围内的散射光;第二散射...
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