一种多通道缺陷合并分析的方法及系统技术方案

技术编号:22052281 阅读:48 留言:0更新日期:2019-09-07 14:16
本发明专利技术公开了一种多通道缺陷合并分析的方法及系统,涉及光学检测技术领域,该方法为:将多个通道检测得到的初始缺陷点列表分成对应各个通道的初始缺陷点子表并存储;分别将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设的第一阈值的缺陷点合并,得到各个通道的最终缺陷点子表并存储;将各个通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并,得到最终缺陷点表并存储,最终缺陷点表中的每个缺陷点包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息;根据单个通道或者多个通道的组合,将最终缺陷点表中的缺陷点进行显示。本发明专利技术能显示单个通道或者多个通道组合形成的缺陷点,用户能直观辨别误检缺陷点或者漏检缺陷点。

A Method and System for Multichannel Defect Combination Analysis

【技术实现步骤摘要】
一种多通道缺陷合并分析的方法及系统
本专利技术涉及光学检测
,具体涉及一种多通道缺陷合并分析的方法及系统。
技术介绍
自动光学检测(AutomatedOpticalInspection,AOI),为高速高精度光学影像检测系统。在液晶玻璃基板的缺陷检测领域,AOI设备完成一次对液晶玻璃基板的扫描后,不同通道得到的图像(即使用不同颜色的光照得到的图像)会分别对应生成一个初始缺陷点列表,每个初始缺陷点列表均包含不同缺陷点的坐标信息,通过循环遍历初始缺陷点列表,分析不同缺陷点的坐标,当任意两个缺陷点之间距离小于一个设定的阈值时,两个缺陷点则认定为是一个缺陷点,将两个缺陷点合并,形成最终缺陷点列表并存入数据库中。缺陷点合并的原因为:根据检测相机的取像特点,最终形成的图像实际上是由很多的帧图拼接而成,相邻两幅帧图拼接时会有一定大小的重合区域,由于拼接时必然会产生位置误差,则在重合区域内的同一个缺陷点就会产生错位,变成两个缺陷,所以需要对初始缺陷点列表中的缺陷点进行合并。其中,每个通道的图像上存在亮或暗的噪声像素点,这些无法避免的噪声像素点由成像系统本身造成的,在微米级别的缺陷检测中,这些噪本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多通道缺陷合并分析的方法,其特征在于,包括以下步骤:将多个通道检测得到的初始缺陷点列表分成对应各个通道的初始缺陷点子表并存储;分别将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设的第一阈值的缺陷点合并,得到各个通道的最终缺陷点子表并存储;将各个通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并,得到最终缺陷点表并存储,最终缺陷点表中的每个缺陷点包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息;根据单个通道或者多个通道的组合,将最终缺陷点表中的缺陷点进行显示。

【技术特征摘要】
1.一种多通道缺陷合并分析的方法,其特征在于,包括以下步骤:将多个通道检测得到的初始缺陷点列表分成对应各个通道的初始缺陷点子表并存储;分别将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设的第一阈值的缺陷点合并,得到各个通道的最终缺陷点子表并存储;将各个通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并,得到最终缺陷点表并存储,最终缺陷点表中的每个缺陷点包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息;根据单个通道或者多个通道的组合,将最终缺陷点表中的缺陷点进行显示。2.如权利要求1所述的一种多通道缺陷合并分析的方法,其特征在于,将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设第一阈值的缺陷点合并,包括以下步骤:根据每个通道的初始缺陷点子表内的所有缺陷点的坐标,确定缺陷点的分布区域,并使用预设的第一步距将该区域划分成相同大小的第一网格;将每个通道的初始缺陷点子表内的所有缺陷点分成多个第一类组别,使每个第一类组别中缺陷点之间的间隔距离小于预设的第一阈值,且每个第一类组别中所有缺陷点位于同一个第一网格或者与该第一网格相邻的第一网格中,将每个第一类组别内的所有缺陷点合并。3.如权利要求2所述的一种多通道缺陷合并分析的方法,其特征在于,将每个第一类组别内的所有缺陷点合并,包括以下步骤:每个第一类组别内合并后的缺陷点坐标为该第一类组别内所有缺陷点坐标形成矩形区域的中心,合并后的缺陷点面积为该第一类组别内所有缺陷点的面积之和。4.如权利要求1所述的一种多通道缺陷合并分析的方法,其特征在于,将各个通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并,包括以下步骤:根据各个通道的最终缺陷点子表间的所有缺陷点的坐标,确定缺陷点的分布区域,并使用预设的第二步距将该区域划分成相同大小的第二网格;将各个通道的最终缺陷点子表间的所有缺陷点分成多个第二类组别,使每个...

【专利技术属性】
技术研发人员:秦继昊张国栋
申请(专利权)人:武汉中导光电设备有限公司
类型:发明
国别省市:湖北,42

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