一种超薄型侧进音微机电麦克风制造技术

技术编号:22060559 阅读:49 留言:0更新日期:2019-09-07 18:01
本发明专利技术公开了一种超薄型侧进音微机电麦克风,包括PCB主板、微机电芯片和外包壳体,所述外包壳体与PCB主板之间围成安装腔,所述微机电芯片设置于安装腔内,且微机电芯片安装布置在PCB主板上,外包壳体内还开设有横向延伸的侧音通道,侧音通道的内侧端与安装腔连通,侧音通道的外侧端与设备外壳侧壁上的导音孔连通,所述微机电芯片包括硅底基板、氧化层、振膜、导电层、介电薄膜以及背板。本发明专利技术结构设计更加紧凑,使得麦克风的整体厚度更薄,能够在有限的空间内提升麦克风整体的灵敏度,确保良好的音质传递。

A Ultra-thin Side-entry Microelectromechanical Microphone

【技术实现步骤摘要】
一种超薄型侧进音微机电麦克风
本专利技术涉及微型麦克风
,具体为一种超薄型侧进音微机电麦克风。
技术介绍
麦克风是一种声学传感器,可以用以拾取语音及声音,并将其转换成电信号。随着无线通讯的发展,全球移动电话用户越来越多,用户对移动电话的要求已不仅满足于通话,而且要能够提供高质量的通话效果,尤其是目前移动多媒体技术的发展,移动电话的通话质量更显重要,移动电话的麦克风作为移动电话的语音拾取装置,其设计好坏直接影响通话质量。随着移动设备的越来越轻薄化发展,越来越多的移动设备需要侧进音的麦克风,降低麦克风的整体高度,促进移动设备的轻薄发展,在提供侧进音结构的前提下,如何确保麦克风的使用性能成为本申请需要解决的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种超薄型侧进音微机电麦克风,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种超薄型侧进音微机电麦克风,包括PCB主板、微机电芯片和外包壳体,所述外包壳体与PCB主板之间围成安装腔,所述微机电芯片设置于安装腔内,且微机电芯片安装布置在PCB主板上,外包壳体内还开设有横向延伸的侧音通道,侧音通道的内侧端与安装腔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超薄型侧进音微机电麦克风,包括PCB主板(1)、微机电芯片和外包壳体(14),其特征在于:所述外包壳体(14)与PCB主板(1)之间围成安装腔(12),所述微机电芯片设置于安装腔(12)内,且微机电芯片安装布置在PCB主板(1)上,外包壳体(14)内还开设有横向延伸的侧音通道(15),侧音通道(15)的内侧端与安装腔(12)连通,侧音通道(15)的外侧端与设备外壳侧壁上的导音孔连通。

【技术特征摘要】
1.一种超薄型侧进音微机电麦克风,包括PCB主板(1)、微机电芯片和外包壳体(14),其特征在于:所述外包壳体(14)与PCB主板(1)之间围成安装腔(12),所述微机电芯片设置于安装腔(12)内,且微机电芯片安装布置在PCB主板(1)上,外包壳体(14)内还开设有横向延伸的侧音通道(15),侧音通道(15)的内侧端与安装腔(12)连通,侧音通道(15)的外侧端与设备外壳侧壁上的导音孔连通。2.根据权利要求1所述的一种超薄型侧进音微机电麦克风,其特征在于:所述微机电芯片包括硅底基板(3)、氧化层(4)、振膜(6)、导电层(7)、介电薄膜(8)以及背板(10),所述硅底基板(3)中间开设有第一凹陷腔(5),PCB主板(1)封堵第一凹陷腔(5)的底部开口,硅底基板(3)上设置有氧化层(4),氧化层(4)中间开设有与第一凹陷腔(5)对应的第二凹陷腔,所述氧化层(4)上设置有振膜(6),振膜(6)封堵第二凹陷腔(5)的顶部开口,振膜(6)上贴合设置有导电层(7),导电层(7)延伸至硅底基板(3)的左侧上方...

【专利技术属性】
技术研发人员:邓茂圆
申请(专利权)人:上海懋缘电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:上海,31

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