一种基于环形面阵的超声显微镜制造技术

本实用新型专利技术提出了一种基于环形面阵的超声显微镜，包括环形面阵换能器、声束生成器、信号处理装置、控制装置及超声图像显示装置；所述声束生成器分别与所述环形阵面换能器、所述信号处理装置电连接，所述信号处理装置与所述超声图像显示装置电连接；所述控制装置分别与所述环形阵面换能器、所述信号处理装置电连接；所述环形面阵换能器为环形面阵式，且所述环形面阵换能器的声透镜材质为石英玻璃材质。本实用新型专利技术实施例提供的超声显微镜能够降低声透镜材料的成本，同时保证超声显微镜性能。

An Ultrasound Microscope Based on Annular Array

【技术实现步骤摘要】
一种基于环形面阵的超声显微镜
本技术涉及超声检测
，尤其是涉及一种基于环形面阵的超声显微镜。
技术介绍
超声显微镜是利用声学成像原理对物质进行显微观察的一种设备，即利用样品声学性能的差别，用声成像的方法来生成高反差、高放大倍率的超声图像的装置。许多物质不透光，但能透声，声波对某些物质具有很强的“穿透”能力，超声显微镜可以直接观察不透光而透声的各类物质。由于各类物质及内部各部分的结构、密度、强度，压缩性和粘滞性等各不相同，因此声在其中传播的反射、折射、吸收和衰减等特性也有很大差别。超声显微检测具有高灵敏度、高分辨率和图像直观等特点，在电子工业、医学、材料科学等领域具有广阔的应用前景。现有技术中，超声显微镜采用线聚焦声透镜形成线性声束，以测量材料的机械性能的各向异性，超声显微镜主要采用环形阵列超声探头产生超声波，在经过蓝宝石声透镜和声束生成器延时聚焦后声束高度聚焦于一点，通过马达驱动机械装置移动聚集点完成逐点扫描，最后得到声学图像；但是，由于蓝宝石的价格高昂、加工难度大，且蓝宝石声阻抗非常高不易声匹配，导致超声显微镜的成本较高。
技术实现思路
本技术实施例提供了一种基于环形面阵的超声显微镜，以解决现有的超声显微镜的成本较高的技术问题，从而降低声透镜材料的成本，同时保证超声显微镜的性能。为了解决上述技术问题，本技术实施例提供了一种基于环形面阵的超声显微镜，包括环形面阵换能器、声束生成器、信号处理装置、控制装置及超声图像显示装置；所述声束生成器分别与所述环形面阵换能器、所述信号处理装置电连接，所述信号处理装置与所述超声图像显示装置电连接；所述控制装置分别与所述环形面阵换能器、所述信号处理装置电连接；所述环形面阵换能器为环形面阵式，且所述环形面阵换能器的声透镜材质为石英玻璃材质。作为优选方案，所述环形面阵换能器包括用于发射超声波的发射表面和用于接收和发射所述发射表面的超声波的声透镜，所述声透镜的内表面朝向所述发射表面。作为优选方案，所述声透镜的内表面上成型有螺旋凸起。作为优选方案，所述声透镜具有用于发射超声波的外表面，所述外表面呈球面凸透镜结构。相比于现有技术，本技术实施例具有如下有益效果：通过所述环形面阵换能器产生超声波，超声波经过所述环形面阵换能器的声透镜实现物理粗聚焦，所述声束生成器提供电子精细聚焦，由于物理聚焦存在，对电子聚焦的延迟长度范围要求降低，从而使得形成的超声波声束延时聚焦后声束高度聚焦后形成一条线状声束，通过所述声束生成器的电子聚焦变换使线声束旋转，用以测量材料表面参数的各项异性。其中，所述环形面阵换能器构成的超声探头是由几十或几百个阵元组成的环形面阵，需要更多的独立物理电子通道分别控制对应的阵元。此外，所述环形面阵换能器的声透镜材质为石英玻璃材质，石英玻璃材质具有价格便宜、易于加工、易于声阻抗匹配的特性，能够取代昂贵、不易加工、不易声阻抗匹配的蓝宝石作为声透镜材料。这样，所述基于环形面阵的超声显微镜以电子方式产生旋转的线性声束，有效地避免笨重机电旋转驱动装置，且速度快，可实现实时检测，并通过所述声束生成器的电子聚焦延时配合所述声透镜延时，形成高度聚焦，一方面可用价格便宜、易于加工、易于声阻抗匹配的石英玻璃取代昂贵、不易加工、不易声阻抗匹配的蓝宝石，作为声透镜材料，另一方面电子聚焦延时跨度降低，高频延时电路容易实现。附图说明图1是本技术实施例中的基于环形面阵的超声显微镜的结构示意图；图2是本技术实施例中的声透镜的结构示意图；图3是本技术实施例中的高频环形超声面阵的示意图；图4是本技术实施例中的声束的电子延时聚焦示意图；图5是本技术实施例中的超声环形面阵产生的线性声束的示意图；其中，说明书附图中的附图标记如下：1、环形面阵换能器；2、声束生成器；3、信号处理装置；4、控制装置；5、超声图像显示装置；6、声透镜；7、环形面阵。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参见图1，本技术实施例提供了一种基于环形面阵的超声显微镜，包括环形面阵换能器1、声束生成器2、信号处理装置3、控制装置4及超声图像显示装置5；所述声束生成器2分别与所述环形面阵换能器、所述信号处理装置3电连接，所述信号处理装置3与所述超声图像显示装置5电连接；所述控制装置4分别与所述环形面阵换能器、所述信号处理装置3电连接；所述环形面阵换能器1为环形面阵式，且所述环形面阵换能器1的声透镜6材质为石英玻璃材质。通过所述环形面阵换能器产生超声波，超声波经过所述环形面阵换能器的声透镜6实现物理粗聚焦，所述声束生成器2提供电子精细聚焦，由于物理聚焦存在，对电子聚焦的延迟长度范围要求降低，从而使得形成的超声波声束延时聚焦后声束高度聚焦后形成一条线状声束(如图5所示)，通过所述声束生成器2的电子聚焦变换使线声束旋转，用以测量材料表面参数的各项异性。其中，所述环形面阵换能器构成的超声探头是由几十或几百个阵元组成的环形面阵7，需要更多的独立物理电子通道分别控制对应的阵元。此外，所述环形面阵换能器1的声透镜6材质为石英玻璃材质，石英玻璃材质具有价格便宜、易于加工、易于声阻抗匹配的特性，能够取代昂贵、不易加工、不易声阻抗匹配的蓝宝石作为声透镜材料。这样，所述基于环形面阵的超声显微镜以电子方式产生旋转的线性声束，有效地避免笨重机电旋转驱动装置，且速度快，可实现实时检测，并通过所述声束生成器2的电子聚焦延时配合所述声透镜6延时，形成高度聚焦，一方面可用价格便宜、易于加工、易于声阻抗匹配的石英玻璃取代昂贵、不易加工、不易声阻抗匹配的蓝宝石，作为声透镜材料，另一方面电子聚焦延时跨度降低，高频延时电路容易实现。请参见图2，在本技术实施例中，所述环形面阵换能器1包括用于发射超声波的发射表面和用于接收和发射所述发射表面的超声波的声透镜6，所述声透镜6的内表面朝向所述发射表面。所述声透镜6的内表面上成型有螺旋凸起。所述声透镜6具有用于发射超声波的外表面，所述外表面呈球面凸透镜结构。在本实施例中，应当说明的是，所述声透镜6提供环形阵列的物理粗聚焦，所述声束生成器2提供电子精细聚焦，由于物理聚焦存在，对电子聚焦的延迟长度范围要求降低。所述信号处理装置3为超声信号、图像处理单元，包括滤波、取包络、对数压缩、衰减补偿等信号、图像处理功能，使得处理后的信号以图像的形式直观显示在所述超声图像显示装置5上。请参见图3，所述环形面阵换能器1的高频超声环形面阵的制备步骤具体如下：i)利用测控溅射工艺或机械研磨抛光工艺制备压电薄膜；其中，薄膜厚度h取决于超声显微镜频率h＝c/f，f是频率，c是压电薄膜声速。ii)利用干法刻蚀或者湿法刻蚀形成环形面阵阵元。iii)微加工阵元连线，采用创新的微加工连接工艺来实现阵元电极连接，在阵元电极表面旋涂一层1-2微米厚的SU-82000(MicroChem，USA)绝缘隔离层，通过掩模曝光光刻，在SU-8隔离层上开出一系列几十微米大小的连接窗口本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于环形面阵的超声显微镜，其特征在于，包括环形面阵换能器、声束生成器、信号处理装置、控制装置及超声图像显示装置；所述声束生成器分别与所述环形面阵换能器、所述信号处理装置电连接，所述信号处理装置与所述超声图像显示装置电连接；所述控制装置分别与所述环形面阵换能器、所述信号处理装置电连接；所述环形面阵换能器为具有几十或几百个阵元的环形面阵式换能器，且所述环形面阵换能器的声透镜材质为石英玻璃材质。

【技术特征摘要】
1.一种基于环形面阵的超声显微镜，其特征在于，包括环形面阵换能器、声束生成器、信号处理装置、控制装置及超声图像显示装置；所述声束生成器分别与所述环形面阵换能器、所述信号处理装置电连接，所述信号处理装置与所述超声图像显示装置电连接；所述控制装置分别与所述环形面阵换能器、所述信号处理装置电连接；所述环形面阵换能器为具有几十或几百个阵元的环形面阵式换能器，且所述环形面阵换能器的声透镜材质为石英玻璃材质。2.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴大伟，王黎，陈磊，
申请(专利权)人：广州联声电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44