【技术实现步骤摘要】
一种用于柔性器件测试的夹具及测试装置
本技术涉及测试夹具
，具体涉及一种用于柔性器件测试的夹具及测试装置。
技术介绍
在半导体制造工序中，为了研究其在弯曲、拉伸、卷曲和扭曲等多种形态下的器件特性，我们需要对器件或者屏体进行上述可靠性测试。相对于传统的硬屏测试，柔性屏体在做弯曲或卷曲可靠性测试时，由于其形态变化，在测试治具上不易固定，在弯曲过程中可能会出现相对的位置偏移，从而导致测试结果不准确。
技术实现思路
有鉴于此，本技术实施例提供了一种用于柔性器件测试的夹具及测试装置，解决了柔性器件在测试过程中不易固定，在弯曲过程中位置容易发生偏移导致测试结果不准确的问题。本技术一实施例提供的一种用于柔性器件测试的夹具及测试装置包括：夹具主体，构造为承载所述柔性器件；以及吸附机构，设置于所述夹具主体与所述柔性器件相接触的表面，构造为将所述柔性器件吸附在所述夹具主体表面。其中，所述吸附机构为吸附孔；其中所述夹具主体进一步包括与所述吸附孔连接的抽真空口，所述抽真空口设置于所述夹具主体与所述柔性器件未接触的表面。其中，所述抽真空口与抽真空装置连接。其中，所述吸附孔为多个，所述吸附孔沿...
【技术保护点】
1.一种用于柔性器件测试的夹具，其特征在于，包括：夹具主体，构造为承载所述柔性器件；以及吸附机构，设置于所述夹具主体与所述柔性器件相接触的表面，构造为将所述柔性器件吸附在所述夹具主体表面。
【技术特征摘要】
1.一种用于柔性器件测试的夹具，其特征在于，包括：夹具主体，构造为承载所述柔性器件；以及吸附机构，设置于所述夹具主体与所述柔性器件相接触的表面，构造为将所述柔性器件吸附在所述夹具主体表面。2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述吸附机构为吸附孔；其中所述夹具主体进一步包括与所述吸附孔连接的抽真空口，所述抽真空口设置于所述夹具主体与所述柔性器件未接触的表面。3.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述抽真空口与抽真空装置连接。4.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述吸附孔为多个，所述吸附孔沿着所述夹具的延伸方向呈至少一列排列。5.根据权利要求4所述的夹具，其特征在于，所述多个吸附孔呈多列排列，相邻的两列所...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁波，胡坤，黄根茂，徐琳，王鑫楠，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13
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