应用于制造流体轴承的蚀刻方法技术

本发明专利技术所公开技术为应用于制造流体轴承的蚀刻方法；本发明专利技术是利用一喷射用心轴作为轴承素材的掩模（ｍａｓｋ），并注入保护材料于流体轴承的内径部分产生保护图案；拔出喷射用心轴的后再对轴承素材进行蚀刻于其内径部分形成所需的油沟；最后清洗蚀刻液以及去除其保护图案；本发明专利技术容易整合至现有制程，以及达到大量生产并降低成本的功效；此外，本发明专利技术可避免现有加工技术会产生的毛边问题并且同时制造流体轴承的径向与止推部分，可产生简化制程的效果。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是一种，特别是关于一种制造流体轴承内径部分的油沟的方法。
技术介绍
在机械设计上，制作被动式的流体轴承时需要在轴承的内径设计油沟，使轴承在运转时能够产生油膜压力与油封的效果。一般的轴承内部油沟是以传统加工的切削方式来制造；但是现今的马达趋向于越做越小，要制作高精度的微小马达并不容易，微小马达对于油沟的深度、宽度及轴承内径的同心度皆要求十分严格。若以切削加工的传统加工方式来制作，会产生毛边、油沟同心度不佳、使刀具磨损以及加工刀具制作不易等问题。日本松下公司为了解决上述问题，研发出以金属球在轴承内表面滚动，用以压出所需的油沟沟痕的技术，其公开于第5758421号美国专利，其成为目前松下公司流体轴承产品的主要技术。但是此种金属球滚压的方法，由于金属球与轴承部分的接触面积小，因而容易产生磨耗。此外，由于制作油沟的金属球很小，挟持金属球的夹具设计不易，而且在滚动时也需要一精密定位的控制平台。另外，有采用塑料喷射成形的方式来制造流体轴承的技术，如第6074098号美国专利所公开的技术。其为利用塑料本身的弹性，使喷射成形的塑料轴承直接强迫拉出脱模。但是塑料轴承本身的刚性与硬度不足，具本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种应用于制造流体轴承的蚀刻方法，其步骤包含有：　　　　提供一轴承素材，具有一中空圆柱状壁面；　　　　提供一喷射用心轴，对位该轴承素材以伸入并贴合该中空圆柱状壁面，该喷射用心轴具有于该中空圆柱状壁面待刻画数个油沟的位置形成对应的数个凸纹，且该数个凸纹紧贴于该中空圆柱状壁面；　　　　于该数个凸纹的间注入具流动性的一保护材料，填满该数个凸纹与该中空圆柱状壁面的间隙；　　　　使该保护材料凝固于该中空圆柱状壁面以形成数个保护图案；　　　　将该喷射用心轴拔出该轴承素材，分离该喷射用心轴与该中空圆柱状壁面的该数个保护图案；　　　　将该轴承素材置入一蚀刻液，使该轴承素材未覆盖该数个保护图案的处产生蚀刻以形成...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：章广贤，徐弘光，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]