湿式除害装置制造方法及图纸

提出一种能够抑制异物在处理气体的路径堆积的湿式除害装置。该湿式除害装置用于通过使处理气体与液体接触来进行无害化，具备：吸入壳体，该吸入壳体具有吸入处理气体的吸入口及与吸入口相比设置于下方并供处理气体流动的导出口；以及液膜形成部，该液膜形成部设置于吸入口与导出口之间并在吸入壳体的内壁面形成液膜。在吸入壳体中的构成比液膜形成部靠上方的部分的壁部的内部埋入有对吸入壳体进行加热的加热器。

【技术实现步骤摘要】
湿式除害装置
本专利技术涉及一种湿式除害装置，详细而言，涉及一种用于通过使处理气体与液体接触而进行无害化的湿式除害装置。
技术介绍
真空泵装置作为半导体、液晶、太阳能板或LED等的制造设备的一个而被广泛使用。在它们的制造工艺等中，将真空泵连接于真空室而通过真空泵对导入到真空室内的处理气体进行抽真空。在由真空泵进行抽真空的气体中，有时会包含硅烷气体(SiH4)、二氯硅烷气体(SiH2Cl2)、氨(NH3)等有害可燃性气体或者NF3、ClF3、SF6、CHF3、C2F6、CF4等卤素系难分解性气体，无法直接排放至大气中。因此，以往，在真空泵装置中，在真空泵的后段设置有对抽真空的气体进行无害化处理的除害装置。作为气体的无害化处理，已知使处理气体与液体接触而除去异物及水溶性成分等的湿式处理以及使处理气体燃烧的燃烧式处理等。另外，在从真空泵排出的处理气体中，有由于在真空室内的反应等而固态化的物质或者容易固态化的物质混入作为反应副生成物的情况。当这样的生成物侵入除害装置时，会导致配管及除害装置的堵塞或除害装置的处理效率的降低。因此，有时会在真空泵装置与除害装置之间设置用于去除异物的异物除去机构。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种湿式除害装置，用于通过使处理气体与液体接触来进行无害化，该湿式除害装置的特征在于，具备：吸入壳体，该吸入壳体具有吸入口和导出口，该吸入口吸入所述处理气体，该导出口与该吸入口相比设置于下方并供所述处理气体流动；以及液膜形成部，该液膜形成部设置于所述吸入口与所述导出口之间，并在所述吸入壳体的内壁面形成液膜，在所述吸入壳体中的构成比所述液膜形成部靠上方的部分的壁部的内部埋入有对所述吸入壳体进行加热的加热器。

【技术特征摘要】
2018.02.26 JP 2018-0318231.一种湿式除害装置，用于通过使处理气体与液体接触来进行无害化，该湿式除害装置的特征在于，具备：吸入壳体，该吸入壳体具有吸入口和导出口，该吸入口吸入所述处理气体，该导出口与该吸入口相比设置于下方并供所述处理气体流动；以及液膜形成部，该液膜形成部设置于所述吸入口与所述导出口之间，并在所述吸入壳体的内壁面形成液膜，在所述吸入壳体中的构成比所述液膜形成部靠上方的部分的壁部的内部埋入有对所述吸入壳体进行加热的加热器。2.根据权利要求1所述的湿式除害装置，其特征在于，在所述吸入壳体中的所述壁部形成有沿着竖直方向的孔，所述加热器是插入到所述孔的筒式加热器。3.根据权利要求1所述的湿式除害装置，其特征在于，所述加热器位于所述液膜形成部的至少一部分的内周侧。4.根据权利要求1所述的湿式除害装置，其特征在于，所述液膜形成部具有与所述吸入壳体的内壁面相邻的环状的液体积存部。5.根据权利要求1所述的湿式除害装置，其特征在于，还具备吹扫气体供给部，该吹扫气体供给部朝向所述液膜的上端部及所述液膜的上端部的周边吹入吹扫气体。6.根据权利要求5所述的湿式除害装置，其特征在于，所述加热器位于所述吹扫气体供给部的内周侧。7.根据权利要求1～6中任一项所述的湿式除害装置，其特征在于，具备：液槽壳体，该液槽壳体与所述吸入壳体的所述导出口连接，并且具有积存所述液膜形成部所供给的液体的液槽；处理壳体，该处理壳体与所述液槽壳体...

【专利技术属性】
技术研发人员：稻田高典，细谷和正，宫崎一知，松本孝平，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP