烘烤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域，提供一种烘烤装置，包括烘烤加热板以及多个转运装置。烘烤加热板包括多个的导热块以及的加热总成，各转运装置均包括放置总成、竖直移动机构以及水平移动机构，放置总成包括框体以及两个支撑架，框体安装于竖直移动机构，竖直移动机构安装于水平移动机构，支撑架包括两个U形底座以及两个横梁，两U形底座并排设置且位于导热块的两端，两横梁分别安装于对应的U形底座的竖直段且位于对应的相邻两导热块之间。利用转运装置的转运动作，晶体硅片可停留在烘烤加热板上进行集中烘烤，烘烤时间缩短，烘烤加热板的整体长度可设计的更短，减小其占地面积，同理地，无需过多的加热总成，加热耗能更低，节约成本。

Baking device

【技术实现步骤摘要】
烘烤装置
本技术涉及半导体制造
，尤其提供一种烘烤装置。
技术介绍
烘烤是晶体硅片生产制造中必要的工序步骤。目前，现有的烘烤工序是利用隧道炉来实现的，该种烘烤装置是通过传输带将晶体硅片传送至炉道内，即在传输过程中进行加热烘烤。这样，导致隧道炉的整体长度较长，占地面积大，同时，烘烤耗时更长以及烘烤耗能成本更高。因此，亟需解决现有的烘烤装置占地面积大、烘烤耗时长以及耗能成本高的问题。
技术实现思路
本技术的目的提供一种烘烤装置，旨在解决现有的烘烤装置占地面积大、烘烤耗时长以及耗能成本高的问题。为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：烘烤装置，包括烘烤加热板以及多个转运装置，所述烘烤加热板包括多个垂直于来料方向平行且间隔设置的导热块以及设于各所述导热块下方的加热总成，各所述转运装置均包括放置总成、用于带动所述放置总成沿竖直方向移动的竖直移动机构以及用于带动所述竖直移动机构沿水平方向移动的水平移动机构，所述放置总成包括框体以及两个用于供硅片放置的支撑架，各所述支撑架沿所述框体的宽度方向依次平行且等间隔设置，所述框体安装于所述竖直移动机构，所述竖直移动机构安装于所述水平移动机构，所述支撑架包括两个U形底座以及两个横梁，两所述U形底座沿所述框体的长度方向并排设置且位于所述导热块的两端，两所述横梁分别安装于对应的所述U形底座的竖直段且位于对应的相邻两所述导热块之间。具体地，所述竖直移动机构包括支撑平台以及竖直移动装置，所述支撑平台安装于所述竖直移动装置的输出端且可相对所述水平移动机构沿竖直方向上下移动，所述框体安装于所述支撑平台上。具体地，所述支撑平台包括用于供所述框体安装的水平板、垂直连接于所述水平板的竖直板以及并排地安装于所述水平板和所述竖直板连接处的两加强筋板，所述竖直板安装于所述竖直移动装置的输出端。具体地，所述水平移动机构包括固定支座以及水平移动装置，所述水平移动装置安装于所述固定支座上，所述竖直移动装置安装于所述水平移动装置的输出端。具体地，所述框体包括两长臂梁以及两短臂梁，两所述长臂梁和两所述短臂梁围合形成呈方向的封闭结构，两所述长臂梁安装于所述水平板上。进一步地，所述烘烤装置还包括罩壳，所述罩壳盖于所述烘烤加热板的上方，所述罩壳相对的两侧壁均开设有来料缺口。进一步地，所述烘烤装置还包括排风装置，所述排风装置设于所述罩壳上，并且，所述排风装置的进气端与所述罩壳相连通。本技术的有益效果：本技术的烘烤装置，上工序的晶体硅片在传输带的带动下，依次并排进入烘烤装置，各转运装置的水平移动机构带动竖直移动机构朝向传输带移动，即各个转运装置的各支撑架逐渐靠近传输带，并且，在有晶体硅片落入支撑架的两横梁上时，水平移动机构则带动各支撑架远离传输带移动，从而预留出摆放空位，直至各支撑架的横梁装满等间隔设置的晶体硅片。装满晶体硅片的各支撑架在水平移动机构的带动下进入烘烤加热板的上方，并且，随竖直移动机构沿竖直方向下移的过程中，各支撑架的横梁落入两相邻的导热块之间，此时，各晶体硅片也置于两相邻的导热块上，由导热块下方的加热总成进行加热。完成烘烤后，各转运装置的竖直移动机构沿竖直方向上移，带动各支撑架的横梁从相邻的两导热块之间上抬，并且，支撑起对应排列的晶体硅片，同时，对应的水平移动机构沿水平方向向下工序移动，从而一次性的将烘烤加热板上的所有晶体硅片移出，并且，从而下工序的传输带一一传输至后工序。利用转运装置的转运动作，使得晶体硅片可停留在烘烤加热板上进行集中烘烤，热力更加集中，烘烤时间缩短，并且，烘烤加热板的整体长度可设计的更短，减小其占地面积，同理地，无需过多的加热总成，加热耗能更低，节约成本。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的烘烤装置的主视图；图2为本技术实施例提供的烘烤装置的烘烤加热板和转运装置的结构示意图；图3为本技术实施例提供的烘烤装置的烘烤加热板的主视图；图4为本技术实施例提供的烘烤装置的烘烤加热板、罩壳以及排风装置的结构示意图；图5为本技术实施例提供的烘烤装置的转运装置的结构示意图；图6为本技术实施例提供的烘烤装置的转运装置的主视图；图7为本技术实施例提供的烘烤装置的竖直移动机构的结构示意图；图8为本技术实施例提供的烘烤装置的水平移动机构的结构示意图。其中，图中各附图标记：具体实施方式下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。请参考图1、图2、图3和图5，本技术实施例提供的烘烤装置，包括烘烤加热板200以及多个转运装置100。烘烤加热板200包括多个垂直于来料方向平行且间隔设置的导热块201以及设于各导热块201下方的加热总成202，各转运装置100均包括放置总成10、用于带动放置总成10沿竖直方向移动的竖直移动机构20以及用于带动竖直移动机构20沿水平方向移动的水平移动机构30，放置总成10包括框体11以及两个用于供硅片放置的支撑架12，各支撑架12沿框体11的宽度方向依次平行且等间隔设置，框体11安装于竖直移动机构20，竖直移动机构20安装于水平移动机构30，支撑架12包括两个U形底座121以及两个横梁122，两U形底座121沿框体11的长度方向并排设置且位于导热块201的两端，两横梁122分别安装于对应的U形底座121的竖直段且位于对应的相邻两导热块201之间。本技术实施例提供的烘烤装置，其工作过程如下：上工序的晶体硅片在传输带的带动下，依次并排进入烘烤装置，各转运装置100的水平移动机构30带动竖直移动机构20朝向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种烘烤装置，其特征在于：包括烘烤加热板以及多个转运装置，所述烘烤加热板包括多个垂直于来料方向平行且间隔设置的导热块以及设于各所述导热块下方的加热总成，各所述转运装置均包括放置总成、用于带动所述放置总成沿竖直方向移动的竖直移动机构以及用于带动所述竖直移动机构沿水平方向移动的水平移动机构，所述放置总成包括框体以及两个用于供硅片放置的支撑架，各所述支撑架沿所述框体的宽度方向依次平行且等间隔设置，所述框体安装于所述竖直移动机构，所述竖直移动机构安装于所述水平移动机构，所述支撑架包括两个U形底座以及两个横梁，两所述U形底座沿所述框体的长度方向并排设置且位于所述导热块的两端，两所述横梁分别安装于对应的所述U形底座的竖直段且位于对应的相邻两所述导热块之间。

【技术特征摘要】
1.一种烘烤装置，其特征在于：包括烘烤加热板以及多个转运装置，所述烘烤加热板包括多个垂直于来料方向平行且间隔设置的导热块以及设于各所述导热块下方的加热总成，各所述转运装置均包括放置总成、用于带动所述放置总成沿竖直方向移动的竖直移动机构以及用于带动所述竖直移动机构沿水平方向移动的水平移动机构，所述放置总成包括框体以及两个用于供硅片放置的支撑架，各所述支撑架沿所述框体的宽度方向依次平行且等间隔设置，所述框体安装于所述竖直移动机构，所述竖直移动机构安装于所述水平移动机构，所述支撑架包括两个U形底座以及两个横梁，两所述U形底座沿所述框体的长度方向并排设置且位于所述导热块的两端，两所述横梁分别安装于对应的所述U形底座的竖直段且位于对应的相邻两所述导热块之间。2.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于：所述竖直移动机构包括支撑平台以及竖直移动装置，所述支撑平台安装于所述竖直移动装置的输出端且可相对所述水平移动机构沿竖直方向上下移动，所述框体安装于所述支撑平台...

【专利技术属性】
技术研发人员：李峰，王迎松，
申请(专利权)人：深圳市聿知科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44