操作粒子辐射设备的方法和执行该方法的粒子辐射设备技术

本发明专利技术涉及一种用于操作粒子辐射设备的方法。在该方法中使物镜电流摆动。在物镜电流摆动的过程中，调节偏转单元和/或挡板单元的特性。特性的调节如此进行，使得在显示装置上显示的物体的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。此外，在该方法中，进行射束发生器的工作电压的摆动并且借助于样品台进行物体的定向。在工作电压摆动的过程中，样品台向定向位置中的移动如下进行，使得在显示装置上显示的物体的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。

Method for operating particle radiation equipment and particle radiation equipment for executing the method

【技术实现步骤摘要】
操作粒子辐射设备的方法和执行该方法的粒子辐射设备
本专利技术涉及一种用于操作粒子辐射设备的方法。该粒子辐射设备例如为电子辐射设备和/或离子辐射设备。此外，本专利技术还涉及一种用于执行该方法的粒子辐射设备。
技术介绍
电子辐射设备、尤其扫描电子显微镜(以下也称为SEM)和/或透射电子显微镜(以下也称为TEM)用于研究物体(也称为样品)，以获得在某些条件下对该物体的特性和行为方式方面的认知。在SEM的情况下，借助于射束发生器来产生电子射束(以下也称为初级电子射束)并且通过射束引导系统将其聚焦到待研究的物体上。为了聚焦使用了物镜。借助于偏转装置以扫描方式在待研究的物体的表面上引导初级电子射束。初级电子射束的电子在此与待研究的物体进行相互作用。相互作用的结果尤其产生了相互作用粒子和/或相互作用辐射。相互作用粒子例如是电子。尤其从物体发射电子——所谓的次级电子——并且将初级电子射束的电子返回散射——所谓的返回散射电子。相互作用粒子构成所谓的次级射束并且由至少一个粒子检测器检测。粒子检测器产生检测器信号，这些检测器信号用于产生物体的图像。将该图显示在显示装置、例如监视器上。由此获得待研究物体的像本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于操作粒子辐射设备(100，100A，200，400)的方法，该粒子辐射设备具有‑至少一个射束发生器(101，301，402)，该射束发生器用于产生具有带电初级粒子的粒子射束，‑至少一个物镜(107，107A，304，421)，该物镜用于将该粒子射束聚焦到物体(114，425)上，其中在该粒子射束与该物体(114，425)相互作用时出现相互作用粒子和/或相互作用辐射，其中该物镜(107，107A，304，421)至少部分在该射束发生器(101，301，402)与该物体(114，425)之间产生磁场和电场，‑用于偏转该粒子射束的至少一个可调节的偏转单元(131，132)和/或用于使该粒...

【技术特征摘要】
2018.02.22 DE 102018202728.51.一种用于操作粒子辐射设备(100，100A，200，400)的方法，该粒子辐射设备具有-至少一个射束发生器(101，301，402)，该射束发生器用于产生具有带电初级粒子的粒子射束，-至少一个物镜(107，107A，304，421)，该物镜用于将该粒子射束聚焦到物体(114，425)上，其中在该粒子射束与该物体(114，425)相互作用时出现相互作用粒子和/或相互作用辐射，其中该物镜(107，107A，304，421)至少部分在该射束发生器(101，301，402)与该物体(114，425)之间产生磁场和电场，-用于偏转该粒子射束的至少一个可调节的偏转单元(131，132)和/或用于使该粒子射束成形的至少一个可调节的挡板单元(109)，-至少一个可移动的样品台(122，424)，该样品台用于将该物体(114，425)安排在该粒子辐射设备(100，100A，200，400)中，-至少一个检测器(116，117，121，134，419，428)，该检测器用于检测该相互作用粒子和/或相互作用辐射并且用于产生检测器信号，-至少一个显示装置(124)，该显示装置用于显示该物体(114，425)的图像，其中该图像借助于这些检测器信号来产生，-至少一个物镜控制单元(125)，该物镜控制单元用于以物镜电流(I)对该物镜(107，107A，304，421)进行供应并且用于调节该物镜电流(I)，并且具有-至少一个射束发生器控制单元(126)，该射束发生器控制单元用于以工作电压(U)对该射束发生器(101，402)进行供应并且用于调节该工作电压(U)，其中该方法包括以下步骤：-借助于该物镜控制单元(125)将该物镜电流(I)调节到电流值(11)并且借助于该物镜控制单元(125)周期性改变该物镜电流(I)的电流值(I1)；-在周期性改变该物镜电流(I)的过程中调节该偏转单元(131，132)和/或该挡板单元(109)的以下特性中的至少一者：(i)该偏转单元(131，132)和/或该挡板单元(109)在该粒子辐射设备(100，100A，200，400)中的位置，以及(ii)用于对该偏转单元(131，132)和/或挡板单元(109)进行供应的至少一个控制变量，其中如下进行该调节，使得在该显示装置(124)上显示的该物体(114，425)的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差；-借助于该射束发生器控制单元(126)将该工作电压(U)调节到电压值(U1)并且借助于该射束发生器控制单元(126)周期性改变该工作电压(U)的电压值(U1)；并且-在周期性改变该工作电压(U)的电压值(U1)的过程中将该样品台(122，424)移动到该物体(114，425)的如下位置中，使得在该显示装置(124)上显示的该物体(114，425)的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。2.根据权利要求1所述的方法，其中将该工作电压(U)输送给该射束发生器的阴极(101，402)并且由该射束发生器控制单元(126)以阴极电压的形式来调节工作电压。3.根据以上权利要求之一所述的方法，其中对该物体(114，425)施加可控的物体电压。4.一种用于操作粒子辐射设备(100，100A，200，400)的方法，该粒子辐射设备具有-至少一个射束发生器(101，301，402)，该射束发生器用于产生具有带电初级粒子的粒子射束，-至少一个物镜(107，107A，304，421)，该物镜用于将该粒子射束聚焦到物体(114，425)上，其中在该粒子射束与该物体(114，425)相互作用时出现相互作用粒子和/或相互作用辐射，并且其中该物镜(107，107A，304，421)具有至少一个封闭电极(112，112A，119A，423)，-用于偏转该粒子射束的至少一个可调节的偏转单元(131，132)和/或用于使该粒子射束成形的至少一个可调节的挡板单元(109)，-至少一个可移动的样品台(122，424)，该样品台用于将该物体(114，425)安排在该粒子辐射设备(100，100A，200，400)中，-至少一个检测器(116，117，121，134，419，428)，该检测器用于检测该相互作用粒子和/或相互作用辐射并且用于产生检测器信号，-至少一个显示装置(124)，该显示装置用于显示该物体(114，425)的图像，其中该图像借助于这些检测器信号来产生，-至少一个物镜控制单元(125)，该物镜控制单元用于以物镜电流(I)对该物镜(107，107A，304，421)进行供应并且用于调节该物镜电流(I)，并且具有-至少一个封闭电极控制单元(128，129)，该封闭电极控制单元用于以封闭电极电压(AU)对该封闭电极(112，112A，119A，423)进行供应并且调节该封闭电极电压(AU)，其中该方法具有以下步骤：-借助于该物镜控制单元(125)将该物镜电流(I)调节到电流值(I1)并且借助于该物镜控制单元(125)周期性改变该物镜电流(I)的电流值(I1)；-在周期性改变该物镜电流(I)的过程中调节该偏转单元(131，132)和/或该挡板单元(109)的以下特性中的至少一者：(i)该偏转单元和/或该挡板单元(109)在该粒子辐射设备(100，100A，200，400)中的位置，以及(ii)用于对该偏转单元(131，132)和/或该挡板单元(109)进行供应的至少一个控制变量，其中如下进行该调节，使得在该显示装置(124)上显示的该物体(114，425)的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差，-借助于该封闭电极控制单元(128)将该封闭电极电压(AU)调节到封闭电极电压值(AU1)并且借助于该封闭电极控制单元(128)周期性改变该封闭电极电压(AU)的封闭电极电压值(AU1)；并且-在周期性改变该封闭电极电压(AU)的过程中将该样品台(122，424)移动到该物体(114，425)如下定向的位置中，使得在该显示装置(124)上显示的该物体(114，425)的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。5.根据权利要求4所述的方法，其中该封闭电极(112A)为第一封闭电极，其中该物镜(107A)具有第二封闭电极(119A)并且其中该方法还具有以下步骤：-该第一封闭电极电压(AU)的封闭电极电压值(AU1)的周期性改变以第一幅值进行，-将该物镜(107A)的第二封闭电极(119A)的第二封闭电极电压调节到该封闭电极电压值(AU1)并且以第二幅值周期性改变该第二封闭电极电压的封闭电压值(AU1)，并且其中-不仅在周期性改变该第一封闭电极的第一封闭电极电压的过程中而且还在周期性改变该第二封闭电极的第二封闭电极电压的过程中进行该样品台(122，424)的移动。6.根据权利要求5所述的方法，其中该方法还包括以下步骤：-如此控制该第一幅值和该第二幅值，使得该第一幅值和该第二幅值具有不同的符号。7.根据权利要求5或6所述的方法，其中该方法包括以下步骤之一：-如此控制该第一幅值，使得该第一幅值具有为零的数值；或者-如此控制该第二幅值，使得该第二幅值具有为零的数值。8.根据权利要求4至7之一所述的方法，其中对该物体(114，425)施加可控的物体电压。9.一种用于操作粒子辐射设备(100，100A，200，400)的方法，该粒子辐射设备具有-至少一个射束发生器(101，301，402)，该射束发生器用于产生具有带电初级粒子的粒子射束，-至少一个物镜(107，107A，304，421)，该物镜用于将该粒子射束聚焦到物体(114，425)上，其中在该粒子射束与该物体(114，425)相互作用时出现相互作用粒子和/或相互作用辐射，其中该物镜(107，107A，304，421)具有至少一个封闭电极(112，112A，119A，423)，-至少一个可移动的样品台(122，424)，该样品台用于将该物体(114，425)安排在该粒子辐射设备(100，100A，200，400)中，其中该样品台(122，424)能够围绕第一轴线(603)和/或第二轴线(607)旋转并且其中该第一轴线(603)垂直于该第二轴线(607)安排，-至少一个检测器(116，117，121，134，419，428)，该检测器用于检测该相互作用粒子和/或相互作用辐射并且用于产生检测器信号，-至少一个显示装置(124)，该显示装置用于基于这些检测器信号来显示该物体(114，425)的图像，以及-至少一个控制单元(125，126，127，128，129)，该控制单元用于调节射束参数，其中该方法包括以下步骤：a)通过以下步骤在该样品台(122，424)的参考位置中拍摄参考图像：-以具有对应于参考值的值的射束参数在该样品...

【专利技术属性】
技术研发人员：D普雷克斯扎斯，G沃尔特，
申请(专利权)人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE