【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于操作粒子束显微镜的方法、一种粒子束显微镜以及一种计算机程序产品。
技术介绍
1、粒子束显微镜（例如电子束显微镜）通过以下方式来生成粒子束显微图像：用粒子束显微镜的粒子束扫描物体并且粒子束显微镜的检测器检测在粒子束入射时由物体发射的电子和/或其他二次粒子（例如光子或离子）。为此，粒子束显微镜通常具有若干个不同的检测器。为了在常规粒子束显微镜中生成粒子束显微图像，用户在扫描程序开始之前或在扫描程序期间从各种检测器中选择应当被操作以生成粒子束显微图像的检测器。替代性地，为了生成若干个粒子束显微图像，常规粒子束显微镜的用户在扫描程序开始之前或在扫描程序期间从各种检测器中选择应当被操作以生成若干个粒子束显微图像的若干个检测器。
2、一旦用户已经选择了用于生成粒子束显微图像的检测器并且生成了粒子束显微图像，用户就存储粒子束显微图像。用户随后在该样品位置或不同样品位置处继续他们的工作，或者移动远离粒子束显微镜，以便在他们通常的工作站处对粒子束显微图像执行进一步的工作。如果用户在稍后阶段（例如在他们的工作站处或在另一个...
【技术保护点】
1.一种用于操作粒子束显微镜（1）的方法，其中，该方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，
3.根据权利要求1或2所述的方法，进一步包括：
4.根据权利要求3所述的方法，
5.根据权利要求4所述的方法，
6.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，
7.根据权利要求6所述的方法，
8.根据权利要求6所述的方法，进一步包括：
9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，
10.根据权利要求1至9中任一项所述的方法，
11.一种用于操作粒子束显微镜（1）的...
【技术特征摘要】
1.一种用于操作粒子束显微镜（1）的方法，其中，该方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，
3.根据权利要求1或2所述的方法，进一步包括：
4.根据权利要求3所述的方法，
5.根据权利要求4所述的方法，
6.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，
7.根据权利要求6所述的方法，
8.根据权利要求6所述的方法，进一步包括：
9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，
10.根据权利要求1至9中任一项所述的方法，
11.一种用于操作粒子束显微镜（1）的方法，其中，该方法包括：
12.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：C·亨德里希，R·阿诺德，
申请(专利权)人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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