一种用于片状物的搬运装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于片状物的搬运装置，包括一吸盘，所述吸盘的吸附面上设有多个突起的软性触点，所述触点用于在所述吸盘吸附片状物时接触片状物表面，防止在所述吸盘的吸附面与片状物之间产生漂移。本实用新型专利技术可以精准地进行点对点的搬运工作，能够增加搬运机构的搬运精度，且在搬运时不需要对晶圆中心进行定位，对于高精度的搬运目的也能更好地应对。

A Transport Device for Flake Material

【技术实现步骤摘要】
一种用于片状物的搬运装置
本技术涉及物品搬运设备
，更具体地，涉及一种用于片状物的搬运装置。
技术介绍
在例如半导体行业的自动化制程中，经常需要将片状的晶圆从一个固定点搬运到另一个固定点。在搬运过程中，需要有很高的定位精度要求，对到位的准确性也有很高的要求。目前，一般采用的方式，是利用搬运机构，在搬运机构上直接对晶圆进行中心定位，定位准确后再将晶圆搬运并放置在目标地点。然而，上述的搬运方式，需要搬运机构和定位机构之间具有很高的相对精度，并且不能在搬运的时候产生相对位置的漂移。因此，对前后工序之间的配合要求都很高，存在很大的应用局限性。并且，在整个自动化流程中，还会对其余各工位的节拍产生牵制。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种用于片状物的搬运装置。为实现上述目的，本技术的技术方案如下：一种用于片状物的搬运装置，其特征在于，包括一吸盘，所述吸盘的吸附面上设有多个突起的软性触点，所述触点用于在所述吸盘吸附片状物时接触片状物表面，防止在所述吸盘的吸附面与片状物之间产生漂移。进一步地，所述触点均匀设于所述吸盘吸附面的外周上。进一步地，所述触点为三个，以120°夹角均匀设于所述吸盘吸附面的外周上进一步地，所述触点为软性橡胶触点。进一步地，所述吸盘为伯努利式吸盘。进一步地，所述伯努利式吸盘的吸附面上设有气隙，用于在吸附片状物时，在所述吸盘的吸附面与片状物之间产生低压气流。进一步地，还包括机器人连接手臂，所述吸盘设于机器人连接手臂末端，所述机器人连接手臂连接机器人。进一步地，还包括OCR识别器，设于所述吸盘附近的所述机器人连接手臂上。进一步地，还包括片状物位置检测器，设于所述吸盘附近的所述机器人连接手臂上。进一步地，所述片状物为晶圆。从上述技术方案可以看出，本技术通过采用点接触式吸盘，由于接触点的材料原因，柔软不划伤，可以接触半导体晶圆表面，完全不会损伤晶圆表面镀层，符合生产标准，并可运用三点最小的接触数来保证晶圆的安全。本技术的点接触结构方式，可以尽可能地降低吸附距离，接触后不会产生漂移问题，可以精准地进行点对点的搬运工作。本技术能够增加搬运机构的搬运精度，且在搬运时不需要对晶圆中心进行定位，对于高精度的搬运目的也能更好地应对。附图说明图1是本技术一较佳实施例的一种伯努利式吸盘结构示意图。图2是本技术一较佳实施例的一种伯努利式吸盘的吸附面结构示意图。图3是本技术一较佳实施例的一种用于片状物的搬运装置结构示意图。具体实施方式下面结合附图，对本技术的具体实施方式作进一步的详细说明。需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本技术的实施方式时，为了清楚地表示本技术的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本技术的限定来加以理解。在以下本技术的具体实施方式中，请参考图1，图1是本技术一较佳实施例的一种伯努利式吸盘结构示意图。如图1所示，本技术的一种用于片状物的搬运装置，包括一吸盘10。在吸盘10的吸附面16上装有多个突起的软性触点15。触点15可通过夹持结构13安装固定于吸盘10的吸附面16上，便于拆卸维护。触点15用于在吸盘10吸附片状物14时接触片状物14表面，防止在吸盘10的吸附面16与片状物14之间产生漂移。举例而言，片状物14可以是半导体晶圆等(以下以晶圆为例加以说明)。请参考图1。作为优选的实施方式，吸盘10可采用一个伯努利式吸盘10，并在伯努利式吸盘10的吸附面16上安装多个突起的软性触点15。伯努利式吸盘10的吸附面16上设有气隙12；气隙12用于在吸附晶圆14时，在吸盘10的吸附面16与晶圆14之间产生低压气流(如图示吸盘10的吸附面16与晶圆14之间的横向箭头所指)。气隙12连接设于吸盘10侧部的气道11，气道11可连接吸盘10外部配置的气源。当通过气道11向气隙12中通入气体(如图示气隙12中的下向箭头所指)时，气体即在吸盘10的吸附面16与晶圆14之间产生低于外界大气压的低压气流，从而将晶圆14吸起。更多关于伯努利式吸盘的原理，请参考现有文献加以理解。一般的伯努利吸盘，由于其吸附面为光滑的纯平面结构，因而机器人的移动不能太快，快了就会出现吸附面与晶圆之间的漂移现象，产生偏心，导致晶圆放不准的问题。请参考图2，图2是本技术一较佳实施例的一种伯努利式吸盘的吸附面结构示意图。如图2所示，在吸盘10的吸附面16上安装有多个突起的软性触点15；各触点15均匀位于吸盘10吸附面16的外周上。气隙12位于触点15的内侧。作为一可选的实施方式，触点15可为三个；并且，三个触点15以120°的夹角形式，均匀分布于吸盘10吸附面16的外周上。作为一优选的实施方式，触点15可采用三个耐高温的软性橡胶材质制作。软性橡胶材质的触点15，可以接触半导体晶圆14表面，在吸附过程中不会产生划痕，也不会对晶圆14表面质量有所损害。本技术采用点接触式吸盘，由于接触点的材料原因，柔软不划伤，可以接触半导体晶圆表面，经过试验，测试，发现接触完全不会损伤晶圆表面镀层，检测晶圆也符合生产标准。我们运用了三点接触数来尽可能好的保证晶圆的安全。一般伯努利吸盘是悬浮着吸的，不会接触到晶圆表面，会带来漂移的效果。而本技术在吸盘上设置点接触结构，不但可以尽可能地降低吸附距离，而且接触后也不会产生漂移问题，从而可以精准地进行点对点的搬运工作。因此，本技术能够实现增加搬运机构的搬运精度，且在搬运时不需要对晶圆中心进行定位，对于高精度的搬运目的也能更好地应对。请参考图3，图3是本技术一较佳实施例的一种用于片状物的搬运装置结构示意图。如图3所示，本技术的一种用于片状物的搬运装置中，还包括一个机器人连接手臂17。吸盘10可通过一块安装板安装在机器人连接手臂17的末端上；机器人连接手臂17又连接至机器人。这样，伯努利吸盘10即可在机器人操纵下进行抓取搬运工作。作为一优选的实施方式，在吸盘10后方附近的机器人连接手臂17上，还可加上一个OCR(OpticalCharacterRecognition，光学字符识别)识别器18，用于对晶圆14上的ID标记进行识别。将OCR识别器18放置在机器人手臂17上，可以节约一定的平台空间，并可以跟随手臂17的移动而同步移动。由于吸盘10具有触点15，晶圆14在被吸附时固定牢固，从而无需增加外部定位防漂移机构。一般的伯努利吸盘由于没有设置接触点，机器人的移动不能太快，快了就会产生偏心，导致放不准。而本技术由于有了触点的摩擦力，可以将机器人开到200％速也不会发生偏移，因而可以加快对于晶圆搬运的速度，增加工厂的效能，从而达到增加营收的效果。作为其他优选的实施方式，还可在吸盘10附近的机器人连接手臂17上安装晶圆位置检测器19，用于实现对晶圆的辅助定位及相关检测等功能。以上的仅为本技术的优选实施例，实施例并非用以限制本技术的专利保护范围，因此凡是运用本技术的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于片状物的搬运装置，其特征在于，包括一吸盘，所述吸盘的吸附面上设有多个突起的软性触点，所述触点用于在所述吸盘吸附片状物时接触片状物表面，防止在所述吸盘的吸附面与片状物之间产生漂移。

【技术特征摘要】
1.一种用于片状物的搬运装置，其特征在于，包括一吸盘，所述吸盘的吸附面上设有多个突起的软性触点，所述触点用于在所述吸盘吸附片状物时接触片状物表面，防止在所述吸盘的吸附面与片状物之间产生漂移。2.根据权利要求1所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，所述触点均匀设于所述吸盘吸附面的外周上。3.根据权利要求1所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，所述触点为三个，以120°夹角均匀设于所述吸盘吸附面的外周上。4.根据权利要求1所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，所述触点为软性橡胶触点。5.根据权利要求1所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，所述吸盘为伯努利式吸盘。6.根据权利要求5所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：管奕霖，
申请(专利权)人：上海福赛特机器人有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31