【技术实现步骤摘要】
一种六甲基二硅氧烷防凝结供气装置
本技术属于防凝结供气的
，具体涉及一种六甲基二硅氧烷防凝结供气装置。
技术介绍
硅氧烷薄膜含有碳、氢、硅、氧等元素，具有对水蒸气良好的阻隔性且具有良好的柔韧性，适合于柔性包装材料领域的应用。所述硅氧烷薄膜通常采用等离子体增强化学气相沉积方法(PECVD)制备得到，单体使用六甲基二硅氧烷，反应气体采用氧气，通过调节单体和氧气的比例，可以制备不同氧含量的硅氧烷薄膜。六甲基二硅氧烷(硅醚，MM封头剂)，无色透明液体，易潮解。无色液体。熔点-59℃，沸点101℃，相对密度0.7606(25/25℃)，折光率1.3750。溶于有机溶剂，不溶于水。常温下六甲基二硅氧烷处于液体状态，同时由于本身的易挥发特性，需要加热温度在20～50℃形成蒸气压提供真空镀膜的单体。但该单体在输气管道、阀门、流量计和真空腔室内壁容易凝结。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的不足，而提出的一种六甲基二硅氧烷防凝结供气装置。为实现上述目的，本专利技术的技术方案如下。一种六甲基二硅氧烷防凝结供气装置，所述装置包括存放装置和进气管道，进气管道的一端与存放装置连接...
【技术保护点】
1.一种六甲基二硅氧烷防凝结供气装置，所述装置包括存放装置(10)和进气管道(2)，进气管道(2)的一端与存放装置(10)连接，一端与真空腔室(6)连接，进气管道上设有电磁阀(5)和流量计，其特征在于：所述流量计采用差压式质量流量计(4)，所述装置还包括水浴加热装置(1)、进气管道加热带(3)、流量计加热丝(9)和热水管路(7)；其中，水浴加热装置(1)用于对六甲基二硅氧烷进行加热，进气管道加热带(3)缠绕在进气管道(2)和电磁阀(5)内部进气管道的表面上，流量计加热丝(9)缠绕在差压式质量流量计(4)的管道上，热水管路(7)设置在真空腔室(6)外壁上。
【技术特征摘要】
1.一种六甲基二硅氧烷防凝结供气装置，所述装置包括存放装置(10)和进气管道(2)，进气管道(2)的一端与存放装置(10)连接，一端与真空腔室(6)连接，进气管道上设有电磁阀(5)和流量计，其特征在于：所述流量计采用差压式质量流量计(4)，所述装置还包括水浴加热装置(1)、进气管道加热带(3)、流量计加热丝(9)和热水管路(7)；其中，水浴加热装置(1)用于对六甲基二硅氧烷进行加热，进气管道加热带(3)缠绕在进气管道(2)和电磁阀(5)内部进气管道的表面上，流量计加...
【专利技术属性】
技术研发人员：王小军，董茂进，冯煜东，党文强，何丹，李中华，
申请(专利权)人：无锡泓瑞航天科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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