气体检测工装堵头制造技术

本实用新型专利技术实施例涉及检测技术领域，公开了一种气体检测工装堵头，包括螺母、螺栓；螺母开设有阶梯孔，阶梯孔包括相互连通的孔径较小孔和孔径较大孔；螺母包括围成孔径较大孔的第一孔壁、围成孔径较小孔的第二孔壁、连接第一孔壁与第二孔壁的台阶面、与第一孔壁和第二孔壁间隔设置的外侧壁；螺栓包括杆部和沿杆部的径向方向延伸、并与杆部一体形成的凸缘；杆部包括延伸至孔径较大孔内、并与第一孔壁经由螺纹固定连接的连接端，且杆部为实心机构；凸缘设于杆部远离连接端的末端。本实用新型专利技术实施例提供的气体检测工装堵头能简化组装工序、提高组装效率，降低了配合节点过多导致的检验误差，不易漏气而避免导致氦检误判。

Gas Detection Tool Plug

【技术实现步骤摘要】
气体检测工装堵头
本技术实施例涉及检测
，特别涉及一种气体检测工装堵头。
技术介绍
在半导体制备工艺中，冷却夹套在使用前需要检测是否漏气，现有技术中通常采用气体检测方法检测冷却夹套的密封性能，具体的，在检测时需要在冷却夹套的接口处安装连接件，并利用连接件将冷却夹套与检测仪连接起来。例如，采用氦检法检测冷却夹套的密封性能时，利用的工装连接件为两个轴向上开设有通孔的螺杆；在冷却夹套的进水口处，利用一个螺杆作为进水口的堵头，该螺杆的一端通过圆螺母连接进水管、另一端通过圆螺母连接量棒；在冷却夹套的出水口处，利用另一个螺杆作为出水口和氦检装置的接头，该螺杆的一端通过圆螺母连接出水管，另一端通过圆螺母连接氦检装置的丁字形管道；使用时连通氦检仪的波纹管连通丁字形管道的外径较大的一端。本技术的专利技术人发现，现有技术中存在如下问题：作为堵头的气体检测工装连接件需要通过一个圆螺母将螺杆与金属量棒连接，螺杆的另一端又需要通过一个螺母与进水管连接，多个螺母的组装工序繁复，导致组装效率低下；并且，螺杆与其他结构之间的配合节点过多，检验误差较大，且容易漏气，导致氦检误判。
技术实现思路
本技术实施方式的目的在于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体检测工装堵头，其特征在于，包括螺母及螺栓；所述螺母开设有阶梯孔，所述阶梯孔包括相互连通的孔径较小孔和孔径较大孔；所述螺母包括围成所述孔径较大孔的第一孔壁、围成所述孔径较小孔的第二孔壁、连接所述第一孔壁与所述第二孔壁的台阶面、与所述第一孔壁和所述第二孔壁间隔设置的外侧壁；所述螺栓包括杆部和沿所述杆部的径向方向延伸、并与所述杆部一体形成的凸缘；所述杆部包括延伸至所述孔径较大孔内、并与所述第一孔壁经由螺纹固定连接的连接端，且所述杆部为实心机构；所述凸缘设于所述杆部远离所述连接端的末端。

【技术特征摘要】
1.一种气体检测工装堵头，其特征在于，包括螺母及螺栓；所述螺母开设有阶梯孔，所述阶梯孔包括相互连通的孔径较小孔和孔径较大孔；所述螺母包括围成所述孔径较大孔的第一孔壁、围成所述孔径较小孔的第二孔壁、连接所述第一孔壁与所述第二孔壁的台阶面、与所述第一孔壁和所述第二孔壁间隔设置的外侧壁；所述螺栓包括杆部和沿所述杆部的径向方向延伸、并与所述杆部一体形成的凸缘；所述杆部包括延伸至所述孔径较大孔内、并与所述第一孔壁经由螺纹固定连接的连接端，且所述杆部为实心机构；所述凸缘设于所述杆部远离所述连接端的末端。2.根据权利要求1所述的气体检测工装堵头，其特征在于，还包括：设置在所述孔径较大孔内并抵接所述连接端的密封圈。3.根据权利要求2所述的气体检测工装堵头，其特征在于，还包括：设置在所述孔径较大孔内的挡圈，所述挡圈一侧抵持所述密封圈，另一侧抵持所述台阶面。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：翟桃，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11