一种真空镀膜用耐高温的接近式传感器制造技术

本实用新型专利技术涉及传感器技术领域，尤其涉及一种真空镀膜用耐高温的接近式传感器，包括外壳、电缆及电路板，所述电路板设置在所述外壳内，在所述外壳内填充有真空隔绝层，所述真空隔绝层封堵于所述外壳的开口端，所述电缆的一端与所述电路板相连，另一端穿过所述真空隔绝层至外，所述外壳为耐腐蚀低真空放气率的金属外壳，所述电路板为集成电路板，所述电缆为耐高温低真空放气率的电缆。本实用新型专利技术的优点是：结构简单，电路板及耐高温的电缆不会被烧坏；避免了金属外壳的内腔及内腔里的电路板及电缆向真空释放气体，确保真空度满足要求；电路板及电缆稳固在金属外壳内腔里，增加结构的稳定性；线圈体积小，确保线圈产生的交变磁场能穿透金属面。

A High Temperature Proximity Sensor for Vacuum Coating

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜用耐高温的接近式传感器
本技术涉及传感器
，尤其涉及一种真空镀膜用耐高温的接近式传感器。
技术介绍
现有真空环境使用的传感器仅有光纤及触点式传感器两类，光纤传感器受环境影响大当有粉尘遮盖光源或机构遮挡时检测受影响，触点式传感器一般自身机械寿命短，工作时必须要接触才能有相应信号安装受限大。电感式接近传感器是一种非接触测量的位置传感器，性能稳定，重复定位精度高，无机械磨损，抗干扰、环境适应性强，使用寿命长等突出优点，因此使用最为广泛,但其无法与应用于真空环境中。
技术实现思路
本技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种真空镀膜用耐高温的接近式传感器，选用真空放气率小的金属外壳，将线圈绕制在磁导率温度系数小的磁芯上，在符合真空使用环境的同时加大了电涡流的贯穿深度，保证线圈产生的交变磁场能够穿透金属外壳，从而确保接近式传感器的检测精度及稳定性。本技术目的实现由以下技术方案完成：一种真空镀膜用耐高温的接近式传感器，其特征在于：包括外壳、电缆及电路板，所述电路板设置在所述外壳内，在所述外壳内填充有真空隔绝层，所述真空隔绝层封堵于所述外壳的开口端，所述电缆的一端与所述电路板相连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜用耐高温的接近式传感器，其特征在于：包括外壳、电缆及电路板，所述电路板设置在所述外壳内，在所述外壳内填充有真空隔绝层，所述真空隔绝层封堵于所述外壳的开口端，所述电缆的一端与所述电路板相连，另一端穿过所述真空隔绝层至外，所述外壳为耐腐蚀低真空放气率的金属外壳，所述电路板为集成电路板，所述电缆为耐高温低真空放气率的电缆。

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜用耐高温的接近式传感器，其特征在于：包括外壳、电缆及电路板，所述电路板设置在所述外壳内，在所述外壳内填充有真空隔绝层，所述真空隔绝层封堵于所述外壳的开口端，所述电缆的一端与所述电路板相连，另一端穿过所述真空隔绝层至外，所述外壳为耐腐蚀低真空放气率的金属外壳，所述电路板为集成电路板，所述电缆为耐高温低真空放气率的电缆。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用耐高温的接近式传感器，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：董黄华，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31