【技术实现步骤摘要】
石英立式舟槽棒加工系统和方法
本专利技术属于半导体加工
，特别涉及一种石英立式舟槽棒加工系统和方法。
技术介绍
随着集成电路制成要求的提高，对扩散工艺所使用的石英立式舟加工工艺要求也随之提高。在加工石英立式舟的槽齿时，需要进行火焰抛光处理。现有加工工艺是由人工用氢氧气火焰对立式舟槽棒，包括槽齿做火焰抛光处理，以达到表面光洁度的要求。这种工艺主要是人工调整火焰后对单独的石英槽棒槽齿内进行表面火焰抛光处理或槽棒整体组立后再对其槽齿内做火焰抛光处理。此工艺在不同人员操作下会存在火焰和操作手法上的差异，而导致直线度、型变量、热应力等技术参数的不稳定而最终影响产品质量。
技术实现思路
本专利技术提供一种石英立式舟槽棒加工系统，目的在于改善现有的石英立式舟槽棒抛光处理方法，提高加工质量。本专利技术实施例之一，一种石英立式舟槽棒加工系统，该系统包括：工作平台，石墨靠山、石英支撑架和石英槽棒被放置在工作平台上；多个石英支撑架，被排列放置在工作平台上，用于支撑放置石英槽棒；石墨靠山，在石英槽棒被放置在石英支撑架上之后，石墨靠山用于顶靠石英槽棒的一端，机器人手臂，在机器人手臂的前端设有火焰枪卡爪，火焰枪卡爪用于卡住火焰枪的喷管。本专利技术针对现有技术，在使用自动机械手臂的前提下，增加了工作转台、石墨靠山、石墨支撑架、氢氧气管道和火焰枪。在石英槽棒放置石墨支撑架上后并与石墨靠山靠紧，在自动机械手臂上的火焰枪点火后并在一定角度的控制范围内前提下，做预定动作，对石英槽棒槽齿内做火焰抛光处理。附图说明通过参考附图阅读下文的详细描述，本专利技术示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和...
【技术保护点】
1.一种石英立式舟槽棒加工系统，该系统包括：工作平台，石墨靠山、石英支撑架和石英槽棒被放置在工作平台上；多个石英支撑架，被排列放置在工作平台上，用于支撑放置石英槽棒；石墨靠山，在石英槽棒被放置在石英支撑架上之后，石墨靠山用于顶靠石英槽棒的一端，机器人手臂，在机器人手臂的前端设有火焰枪卡爪，火焰枪卡爪用于卡住火焰枪的喷管。
【技术特征摘要】
1.一种石英立式舟槽棒加工系统，该系统包括：工作平台，石墨靠山、石英支撑架和石英槽棒被放置在工作平台上；多个石英支撑架，被排列放置在工作平台上，用于支撑放置石英槽棒；石墨靠山，在石英槽棒被放置在石英支撑架上之后，石墨靠山用于顶靠石英槽棒的一端，机器人手臂，在机器人手臂的前端设有火焰枪卡爪，火焰枪卡爪用于卡住火焰枪的喷管。2.一种石英立...
【专利技术属性】
技术研发人员：周文华，姚禄辉，
申请(专利权)人：上海强华实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。