一种卧式多工位连续真空蒸发镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种卧式多工位连续真空蒸发镀膜机，包括真空室，所述真空室与真空泵连接，且真空室设有带有进气阀的进气管，所述真空室前侧内壁间隔设有若干与真空室上底面及下底面连接的挡板，挡板靠近真空室一面弧形凸起并对称设有两导向斜面，相邻挡板之间为镀膜工位，每个镀膜工位顶部安装有工件安装架，并设有与工件安装架连接的旋转装置；所述真空室底面横向安装有导轨，导轨上安装有滑块，且滑块连接移动驱动机构，滑块靠近镀膜工位一面安装有导杆，导杆端部滑动套装有伸入至真空室前侧内壁的镀膜安装架，镀膜安装架与滑块之间连接有设于导杆外周的弹簧，镀膜安装架上安装有位于工件安装架下方的蒸发源；所述真空室后侧设计有舱门。

A Horizontal Multi-station Continuous Vacuum Evaporation Coating Machine

【技术实现步骤摘要】
一种卧式多工位连续真空蒸发镀膜机
本技术涉及真空镀膜
，具体为一种卧式多工位连续真空蒸发镀膜机。
技术介绍
真空蒸发镀膜是通过蒸发源蒸发靶材并在上方基材表面上凝结成膜，例如专利CN206127407U公开了一种旋转吊装真空镀膜室，通过蒸发源蒸发靶材在上方旋转的镀膜支架工件表面上凝结成膜；旋转设置可使得镀膜均匀。连续式镀膜机可以在一次真空环境下对多个工件连续镀膜，提高了镀膜效率，但是按照现有的连续真空镀膜机的两种方式：1、工件不动，蒸发源逐个工位移动，每个工件放置架都连接旋转机构，此种方式下需要设置隔板防止正在加工的气体环境扩散到上一已完成工位工件上，现有的挡板设置方式需要在挡板下方要留下供蒸发源移动的空间，气体容易通过此空间扩散上一工位。2、蒸发源不动，逐个工位移动，在挡板上只需预留一点间隙供工件移动，但是工件安装架没办法设置成转动式的。综上，我们设计了一种卧式多工位连续真空蒸发镀膜机。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种避免影响已加工工件，镀膜均匀的卧式多工位连续真空蒸发镀膜机。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种卧式多工位连续真空蒸发镀膜机，包括真空室，所述真空室与真空泵连接，所述真空室前侧内壁间隔设有若干与真空室上底面及下底面连接的挡板，挡板靠近真空室一面弧形凸起并对称设有两导向斜面，相邻挡板之间为镀膜工位，每个镀膜工位顶部安装有工件安装架，并设有与工件安装架连接的旋转装置；所述真空室底面横向安装有导轨，导轨上安装有滑块，且滑块连接移动驱动机构，滑块靠近镀膜工位一面安装有导杆，导杆端部滑动套装有伸入至真空室前侧内壁的镀膜安装架，镀膜安装架与滑块之间连接有设于导杆外周的弹簧，镀膜安装架上安装有位于工件安装架下方的蒸发源；所述真空室后侧设计有舱门。作为一种置线方式，保证内部电源线跟随蒸发源移动时有序，所述真空室顶部设有密封的电源线进口，真空室内上部安装有用于电源线移动的坦克链线槽，电源线穿过坦克链线槽从下方与蒸发源连接。为了进一步防护，所述镀膜安装架内端套接固定有两侧对称并延伸至相邻挡板的弧形凸起端部的弧形盖板，且弧形盖板上端高于工件安装架，下端低于镀膜安装架。优选的，所述旋转装置采用电机，电机的输出轴与工件安装架连接。作为一种安装工件的方式，所述工件安装架表面固定安装有用于夹紧工件的夹具。优选的，所述移动驱动机构采用电机丝杆机构。优选的，所述镀膜安装架上安装有离子源，用于辅助蒸发源使蒸发膜料沉积在工件表面。优选的，所述镀膜安装架前端为弧面，为了方便镀膜安装架沿导向面运动。本技术的有益效果：各工位之间设有隔板，避免影响已加工工件，且每个工位设有可转动的放置架，镀膜均匀，卧式设计，使得工位数量便于扩展设计。附图说明图1为本技术的俯视局部结构示意图。图2为本技术的正视局部结构示意图。具体实施方式如图1、2所示，一种卧式多工位连续真空蒸发镀膜机，包括真空室1，所述真空室1与真空泵2连接，所述真空室1前侧内壁间隔设有若干与真空室1上底面及下底面连接的挡板4，挡板4靠近真空室1一面弧形凸起并对称设有两导向斜面5，相邻挡板4之间为镀膜工位6，每个镀膜工位6顶部安装有工件安装架7，并设有与工件安装架7连接的旋转装置8；所述真空室1底面横向安装有导轨9，导轨9上安装有滑块10，且滑块10连接移动驱动机构11，滑块10靠近镀膜工位6一面安装有导杆12，导杆12端部滑动套装有伸入至真空室1前侧内壁的镀膜安装架13，镀膜安装架13与滑块10之间连接有设于导杆12外周的弹簧14，镀膜安装架13上安装有位于工件安装架7下方的蒸发源15。所述真空室1后侧设计有舱门。所述旋转装置8采用电机，电机的输出轴与工件安装架7连接。所述移动驱动机构11采用电机丝杆机构。所述工件安装架7表面固定安装有用于夹紧工件的夹具。作为一种置线方式，保证内部电源线跟随蒸发源移动时有序，所述真空室1顶部设有密封的电源线进口，真空室1内上部安装有用于电源线移动的坦克链线槽，电源线穿过坦克链线槽从下方与蒸发源15连接(坦克链线槽为常规技术选择，不予详细描述)。为了进一步防护，所述镀膜安装架13内端套接固定有两侧对称并延伸至相邻挡板4的弧形凸起端部的弧形盖板3，且弧形盖板3上端高于工件安装架7，下端低于镀膜安装架13，弧形盖板3会跟随工件安装架7在导杆12上前后移动。打开舱门，安装若干工件，关闭舱门后，抽真空，通过移动驱动机构11控制滑块10逐一工位移动，可采用步进电机控制(现有技术)，移动过程中镀膜安装架13会与挡板4的导向斜面5接触，沿导向斜面5移动，并在导杆12上前后移动，弹簧14控制伸缩与复位。运动至镀膜工位6时，开启蒸发源15对对应工件进行镀膜，同时控制旋转装置8带动工件旋转，镀膜更加均匀，受两侧挡板4阻隔，与弧形盖板3进一步阻挡，防止蒸发进入相邻工位的工件表面。一次真空环境可连续操作多个工件，效率高，质量好。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种卧式多工位连续真空蒸发镀膜机，包括真空室(1)，所述真空室(1)与真空泵(2)连接，其特征在于，所述真空室(1)前侧内壁间隔设有若干与真空室(1)上底面及下底面连接的挡板(4)，挡板(4)靠近真空室(1)一面弧形凸起并对称设有两导向斜面(5)，相邻挡板(4)之间为镀膜工位(6)，每个镀膜工位(6)顶部安装有工件安装架(7)，并设有与工件安装架(7)连接的旋转装置(8)；所述真空室(1)底面横向安装有导轨(9)，导轨(9)上安装有滑块(10)，且滑块(10)连接移动驱动机构(11)，滑块(10)靠近镀膜工位(6)一面安装有导杆(12)，导杆(12)端部滑动套装有伸入至真空室(1)前侧内壁的镀膜安装架(13)，镀膜安装架(13)与滑块(10)之间连接有设于导杆(12)外周的弹簧(14)，镀膜安装架(13)上安装有位于工件安装架(7)下方的蒸发源(15)；所述真空室(1)后侧设计有舱门；所述镀膜安装架(13)内端套接固定有两侧对称并延伸至相邻挡板(4)的弧形凸起端部的弧形盖板(3)，且弧形盖板(3)上端高于工件安装架(7)，下端低于镀膜安装架(13)。

【技术特征摘要】
1.一种卧式多工位连续真空蒸发镀膜机，包括真空室(1)，所述真空室(1)与真空泵(2)连接，其特征在于，所述真空室(1)前侧内壁间隔设有若干与真空室(1)上底面及下底面连接的挡板(4)，挡板(4)靠近真空室(1)一面弧形凸起并对称设有两导向斜面(5)，相邻挡板(4)之间为镀膜工位(6)，每个镀膜工位(6)顶部安装有工件安装架(7)，并设有与工件安装架(7)连接的旋转装置(8)；所述真空室(1)底面横向安装有导轨(9)，导轨(9)上安装有滑块(10)，且滑块(10)连接移动驱动机构(11)，滑块(10)靠近镀膜工位(6)一面安装有导杆(12)，导杆(12)端部滑动套装有伸入至真空室(1)前侧内壁的镀膜安装架(13)，镀膜安装架(13)与滑块(10)之间连接有设于导杆(12)外周的弹簧(14)，镀膜安装架(13)上安装有位于工件安装架(7)下方的蒸发源(15)；所述真空室(1)后侧设计有舱门；所述镀膜安装架(13)内端套接固定有两侧对称并延伸至相邻挡板(4)的弧形凸...

【专利技术属性】
技术研发人员：李向周，
申请(专利权)人：浙江摩鼎纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33