【技术实现步骤摘要】
技术介绍
专利
本专利技术总体上涉及用于将液体从一个存储罐传输到一个输出管路中的系统，更具体地讲，是涉及一种液体传输系统，其可以用在需要有高纯度和精确液流速率控制的半导体工业中。现有技术说明在许多半导体制造过程中需要采用高纯度的液体，例如，酸液和溶剂，还需要采用各种液体传输系统以输送这些液体。由于制造过程必须精确控制，因此也需要精确控制液体的传输，例如，精确控制液流速率，使液流速率的变化最小。因此，采用泵移动液体的液体传输系统不如不采用泵移动液体的系统理想。现有技术中的不采用泵的液体传输系统通常要利用控制气压，控制气压位于一个可加压液体保持容器中，以将液体以可控的方式从容器中推出。采用两个可加压液体保持容器交替传输液体的系统在现有技术中是公知的，其中一个容器在充液时，另一个容器受压以排出液体。通过两个可加压容器的交替充液和排液，可以获得恒定、可控的液流。然而，在充液周期中将液体加入容器时可能会产生问题。在充液周期中，现有技术采用恒定的抽吸真空或强压以将液体从一个供应罐移动到每个容器中。恒定的真空或压力可以改变某些类型的液体的精细化学性质，例如，从溶剂中分离出易挥...
【技术保护点】
一种液体传输系统，其包含：一个液体供应罐；至少两个可加压液体保持容器；一个液体供应管路，其连接在上述罐与每个上述容器之间，用以从上述罐向每个上述容器供应液体；上述液体供应管路连接着上述罐，从而用作液体虹吸管以将上述液体从上述罐中 抽出并将上述液体供应到上述容器中。
【技术特征摘要】
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