【技术实现步骤摘要】
一种移载机构及检测设备
本专利技术实施例涉及电机技术，尤其涉及一种移载机构及检测设备。
技术介绍
在显示面板制造过程中，显示不良的产生是不可避免的。显示不良与材料和工艺都有关系，发光材料、阵列层、金属电极层(栅极、源极及漏极)、绝缘层和封框胶等材料和在制作以上材料层的工艺中任何步骤出现缺陷都能够产生显示不良。基于此，目前显示面板制造的工序中，还包括面板检测工序，如此可避免不良显示面板流入市场。现有的面板表面缺陷检测设备中采用双轴移载马达驱动载台运动，继而带动待检测基板移动，然而双轴移载马达在长时间移动后，可能会产生累积误差，导致实际移动位置偏移目标位置。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种移载机构及检测设备，以解决实际移动位置偏移目标位置的问题。本专利技术实施例提供了一种移载机构，包括：机台，设置在所述机台上且相对设置的第一载台和第二载台，驱动所述第一载台的第一驱动单元，驱动所述第二载台的第二驱动单元，第一传感组件，以及第二传感组件；控制器，所述控制器分别与所述第一驱动单元、所述第一传感组件、所述第二驱动单元和所述第二传感组件电连接，所述控制器用于控制所述第一驱动...
【技术保护点】
1.一种移载机构，其特征在于，包括：机台，设置在所述机台上且相对设置的第一载台和第二载台，驱动所述第一载台的第一驱动单元，驱动所述第二载台的第二驱动单元，第一传感组件，以及第二传感组件；控制器，所述控制器分别与所述第一驱动单元、所述第一传感组件、所述第二驱动单元和所述第二传感组件电连接，所述控制器用于控制所述第一驱动单元和所述第二驱动单元同步运动以带动所述第一载台和所述第二载台进行同步运动，还获取所述第一传感组件采集的所述第一载台的第一传感信号并调整所述第一载台的位置，以及获取所述第二传感组件采集的所述第二载台的第二传感信号并调整所述第二载台的位置。
【技术特征摘要】
1.一种移载机构，其特征在于，包括：机台，设置在所述机台上且相对设置的第一载台和第二载台，驱动所述第一载台的第一驱动单元，驱动所述第二载台的第二驱动单元，第一传感组件，以及第二传感组件；控制器，所述控制器分别与所述第一驱动单元、所述第一传感组件、所述第二驱动单元和所述第二传感组件电连接，所述控制器用于控制所述第一驱动单元和所述第二驱动单元同步运动以带动所述第一载台和所述第二载台进行同步运动，还获取所述第一传感组件采集的所述第一载台的第一传感信号并调整所述第一载台的位置，以及获取所述第二传感组件采集的所述第二载台的第二传感信号并调整所述第二载台的位置。2.根据权利要求1所述的移载机构，其特征在于，所述第一载台和所述第二载台沿第一方向排布；所述控制器用于控制所述第一驱动单元和所述第二驱动单元沿第二方向进行同步往复运动以带动所述第一载台和所述第二载台沿所述第二方向进行同步往复运动，所述第一方向和所述第二方向交叉。3.根据权利要求1所述的移载机构，其特征在于，所述第一传感组件和所述第二传感组件均为位移传感器。4.根据权利要求1所述的移载机构，其特征在于，所述机台具有第一位置线，所述第一传感组件包括第一传感器，所述第一传感器设置在所述第一位置线上且设置在所述第一载台的移动路径上，所述第二传感组件包括第二传感器，所述第二传感器设置在所述第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：王昱棠，
申请(专利权)人：苏州精濑光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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