下载一种移载机构及检测设备的技术资料

文档序号:21831640

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本发明实施例公开了一种移载机构及检测设备,该移载机构包括:机台,设置在机台上且相对设置的第一载台和第二载台,驱动第一载台的第一驱动单元,驱动第二载台的第二驱动单元,第一传感组件,以及第二传感组件;控制器,控制器分别与第一驱动单元、第一传感组...
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