【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种真空产生单元,包括: 一主体(12),其内设置有供给压力流体的供给口(24)、与吸力机构连接的真空口(30)、以及将从所述供给口(24)供给的压力流体排出到外部的排出口(64); 一真空产生机构(14),用以在从所述供给口(24)供给的压力流体作用下产生负压; 一转换阀部分(22),具有供给阀(69a)和真空断开阀(69b),用以在负压状态与正压状态之间转换供给到所述真空口(30)的压力流体的压力; 一大气引导阀(40),设置在所述真空口(30)与所述真空产生机构(14)之间,能在所述真空口(30)与大气之间转换连通状态, 其中,所述大气引导阀(40)在产生负压的负压状 ...
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:深野喜弘,大岛雅之,
申请(专利权)人:SMC株式会社,
类型:发明
国别省市:JP[]
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