微机电泵模块制造技术

一种微机电泵模块，包含：一微处理器，发出一控制信号；一微机电芯片，电连接该微处理器，该微机电芯片包含有：一芯片本体，为一长方形态样，具有一长边；多个微机电泵，设置于该芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；多个连接电极，设置于该芯片本体且邻近该长边，该多个连接电极分别电连接该多个微机电泵的该第一电极；以及至少一共电极，设置于该芯片本体且邻近该长边，该至少一共电极电连接该多个微机电泵的该第二电极；其中，该微处理器分别电连接该多个连接电极及该至少一共电极，以传输该控制信号至该多个微机电泵。

Microelectromechanical Pump Module

【技术实现步骤摘要】
微机电泵模块
本案关于一种微机电泵模块，尤指一种利用共电极的设置来减少微处理器的接点，进而简化微机电泵接点与布线的微机电泵模块。
技术介绍
随着科技的日新月异，流体输送装置的应用亦愈来愈多元化，举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热等等，甚至近来热门的穿戴式装置皆可见它的踨影，可见传统的泵已渐渐有朝向装置微小化的趋势，但传统的泵难以将尺寸缩小至公厘等级，故目前的微型流体输送装置仅能使用压电泵结构来作为微型流体传输装置。而微机电泵虽可将泵的体积微小化至微米等级，但微米等级的微机电泵会因为过小的体积而限制流体传输量，故需要多个微机电泵搭配使用，请参考图1所示，目前的微机电泵模块皆是通过一个高阶微处理器1做个别控制，但高阶微处理器1本身成本高，且每个微机电泵2都必须要两个微处理器接脚11连接，增加了高阶微处理器1的成本，导致微机电泵模块成本居高不下，难以普及，因此，如何降低微机电泵模块的驱动端的成本为目前微机电泵首要克服的难关。
技术实现思路
本案的主要目的在于提供一种微机电泵模块，通过共电极来减少微处理器的接点，减少微机电泵模块的接点及布线，进一步简化微机电泵模块。为达上述目的，本案的较广义实施态样为提供一种微机电泵模块，包含：一微处理器，发出一控制信号；一微机电芯片，电连接该微处理器，该微机电芯片包含：一芯片本体，为一长方形态样，具有一长边；多个微机电泵，设置于该芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；多个连接电极，设置于该芯片本体且邻近该长边，该多个连接电极分别电连接该多个微机电泵的该第一电极；以及至少一共电极，设置于该芯片本体且邻近该长边，该至少一共电极电连接该多个微机电泵的该第二电极；其中，该微处理器分别电连接该多个连接电极及该至少一共电极，以传输该控制信号至该多个微机电泵。【附图说明】图1为先前技术中微机电泵模块的示意图。图2为本案微机电泵模块的示意图。图3为本案微机电泵模块的微机电芯片的第二实施例示意图。图4为本案微机电泵模块的微机电芯片的第三实施例示意图。图5为本案微机电泵模块的微机电芯片的第四实施例示意图。图6为本案微机电泵模块的微机电芯片的第五实施例示意图。图7为本案微机电泵模块的微机电芯片的第六实施例示意图。图8A为本案微机电泵的电连接示意图。图8B为本案微处理器输出的控制信号的第一实施例示意图。图8C为本案微处理器输出的控制信号的第二实施例示意图。图8D为本案微处理器输出的控制信号的第三实施例示意图。【具体实施方式】体现本案特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本案能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本案的范围，且其中的说明及图示在本质上当作说明之用，而非用以限制本案。请参考图2，图2为本案微机电泵模块的示意图。微型压电泵模块100包含：一微处理器3、一微机电芯片4，微机电芯片4电连接微处理器3，且微机电芯片4包含有一芯片本体41、多个微机电泵42、至少一共电极43以及多个连接电极44，芯片本体41是一长方形态样具有一长边41a及一短边41b，微机电泵42皆设置芯片本体41上，且每个微机电泵42分别具有一第一电极42a及一第二电极42b，而至少一共电极43亦设置于芯片本体41且邻近长边41a，并且电连接所有微机电泵42的第二电极42b，该多个连接电极44设置于芯片本体41且邻近长边41a，该多个连接电极44分别电连接该多个微机电泵42的第一电极42a，其中，所有连接电极44与芯片本体41上的至少一共电极43皆分别电连接至微处理器3，来接收微处理器3所发出的控制信号，此外，图2同样为本案的第一实施例示意图，至少一共电极43的数量包含一第一共电极43a，本实施例的共电极43数量为一个，所有的微机电泵42的第二电极42b皆电连接至第一共电极43a。请参考图3所示，图3为本案微机电泵模块的微机电芯片的第二实施例示意图，至少一共电极43包含有第一共电极43a及一第二共电极43b，前述的多个微机电泵42依位置区分为一第一微机电泵群组421及一第二微机电泵群组422，其中位于第一微机电泵群组421内的微机电泵42其第二电极42b皆电连接至第一共电极43a，而位于第二微机电泵群组422内的微机电泵42其第二电极42b皆电连接至第二共电极43b，借以达到分区控制的效果，本实施例的共电极43的数量为两个。请参考图4所示，图4为本案微机电泵模块的微机电芯片的第三实施例示意图，第三实施例与第二实施例相同共电极43皆为两个，故共电极43具有第一共电极43a与第二共电极43b，第一共电极43a与第二共电极43b分开设置于芯片本体41的两侧，且第一共电极43a与第二共电极43b电连接，且前述的多个微机电泵42的第二电极42b同时电连接位于两侧的第一共电极43a与第二共电极43b，第三实施例可降低微机电泵42的第二电极42b与共电极43之间的阻抗，降低距离共电极43较远的第二电极42b的电力损耗。请参考图5所示，图5为本案微机电泵模块的微机电芯片的第四实施例示意图，至少一共电极43包含有第一共电极43a、第二共电极43b、一第三共电极43c及一第四共电极43d，第一共电极43a与第三共电极43c间隔设置于芯片本体41的一侧，第二共电极43b与第四共电极43d间隔设置于芯片本体41的另一侧，而本实施例中，前述的多个微机电泵42依位置区域区分为第一微机电泵群组421、第二微机电泵群组422、一第三微机电泵群组423及一第四微机电泵群组424，第一微机电泵群组421为邻近第一共电极43a的微机电泵42所组成，第一共电极43a供位于第一微机电泵群组421内所有的微机电泵42的第二电极42b电连接；第二微机电泵群组422为邻近第二共电极43b的微机电泵42所组成，第二共电极43b供位于第二微机电泵群422内所有的微机电泵42的第二电极42b电连接；第三微机电泵群组423为邻近第三共电极43c的微机电泵42所组成，第三共电极43c供位于第三微机电泵群组423内所有的微机电泵42的第二电极42b电连接；第四微机电泵群组424为邻近第四共电极43d的微机电泵42所组成，第四共电极43d供位于第四微机电泵群组424内所有的微机电泵42其第二电极42b电连接，借以达到分区控制的效果。请参考图6所示，图6为本案微机电泵模块的微机电芯片的第五实施例示意图，本实施例与第四实施例中相同具有第一共电极43a、第二共电极43b、第三共电极43c及第四共电极43d，且其设置位置也相同，差异点为本实施例中第一共电极43a电连接第二共电极43b，第三共电极43c电连接第四共电极43d，并将前述的多个微机电泵42区分为第一微机电泵群组421及第二微机电泵群组422，第一微机电泵群组421为邻近第一共电极43a或邻近第二共电极43b的微机电泵42所组成，第二微机电泵群组422为邻近第三共电极43c或邻近第四共电极43d的微机电泵42所组成，借此来达到分区控制的功效，且减少共电极43与第二电极42b之间的距离，降低电力传输的损耗。请参考图7所示，图7为本案微机电泵模块的微机电芯片的第六实施例示意图，本实施例与第四实施例中具有相同具有第一共电极43a、第二共电极43b、第三共电极43c及第四共电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微机电泵模块，其特征在于，包含：一微处理器，发出一控制信号；一微机电芯片，电连接该微处理器，该微机电芯片包含：一芯片本体，为一长方形态样，具有一长边；多个微机电泵，设置于该芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；多个连接电极，设置于该芯片本体且邻近该长边，该多个连接电极分别电连接该多个微机电泵的该第一电极；以及至少一共电极，设置于该芯片本体且邻近该长边，该至少一共电极电连接该多个微机电泵的该第二电极；其中，该微处理器分别电连接该多个连接电极及该至少一共电极，以传输该控制信号至该多个微机电泵。

【技术特征摘要】
1.一种微机电泵模块，其特征在于，包含：一微处理器，发出一控制信号；一微机电芯片，电连接该微处理器，该微机电芯片包含：一芯片本体，为一长方形态样，具有一长边；多个微机电泵，设置于该芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；多个连接电极，设置于该芯片本体且邻近该长边，该多个连接电极分别电连接该多个微机电泵的该第一电极；以及至少一共电极，设置于该芯片本体且邻近该长边，该至少一共电极电连接该多个微机电泵的该第二电极；其中，该微处理器分别电连接该多个连接电极及该至少一共电极，以传输该控制信号至该多个微机电泵。2.如权利要求1所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一共电极包含一第一共电极。3.如权利要求2所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵的该第二电极电连接该第一共电极。4.如权利要求2所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一共电极更包含一第二共电极。5.如权利要求4所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵可区分为一第一微机电泵群组及一第二微机电泵群组，该第一微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第一共电极，该第二微机电泵群组的该多个第二电极电连...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫皓然，余荣侯，张正明，戴贤忠，廖文雄，黄启峰，韩永隆，蔡长谚，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71