一种PVD真空电弧镀膜装置制造方法及图纸

技术编号:21773875 阅读:29 留言:0更新日期:2019-08-03 22:10
本实用新型专利技术涉及镀膜设备技术领域,且公开了一种PVD真空电弧镀膜装置,包括箱体,所述箱体底部的两侧均固定安装有支撑腿,所述箱体内腔底侧的中部固定安装有电动机,所述电动机的输出轴上固定连接有圆轴,所述圆轴的顶部固定安装有水平板,所述水平板顶部的一侧固定安装有支撑板,所述支撑板的内部螺纹套装有螺栓,所述螺栓的一侧固定安装有固定板,所述箱体内腔的一侧固定安装有固定箱。该PVD真空电弧镀膜装置,通过卡槽和卡扣的配合使用,能够使喷头可以在套环的一侧旋转,通过套环、喷头、圆孔和把手之间的配合设置,能够有效调节原料喷出量,达到了控制镀膜量的效果,解决了不同待镀膜件的镀膜量不同的问题。

A PVD Vacuum Arc Coating Device

【技术实现步骤摘要】
一种PVD真空电弧镀膜装置
本技术涉及镀膜设备
,具体为一种PVD真空电弧镀膜装置。
技术介绍
PVD真空镀膜设备的工作原理就是在真空条件下,利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物或其反应物沉积在基材上,它具有沉积速度快和表面清洁的特点,特别具有膜层附着力强、绕性好、可镀材料广泛等优点。镀膜设备在镀膜过程中,将待镀膜件的表面均匀镀膜,需要旋转待镀膜件,使每个面充分镀膜,不同的待镀膜件所需的镀膜量不同,需要可以调节镀膜量的镀膜设备,为此我们提出一种PVD真空电弧镀膜装置。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术提供了一种PVD真空电弧镀膜装置,具备待镀膜件每个面充分镀膜,可以调节镀膜量的优点,解决了镀膜过程需要将待镀膜件换面,不能定量镀膜,镀膜不够均匀的问题。本技术提供如下技术方案:一种PVD真空电弧镀膜装置,包括箱体,所述箱体底部的两侧均固定安装有支撑腿,所述箱体内腔底侧的中部固定固定安装有电动机,所述电动机的输出轴上固定连接有圆轴,所述圆轴的顶部固定安装有水平板,所述水平板顶部的一侧固定安装有支撑板,所述支撑板的内部螺纹套装有螺栓,所述螺栓的一侧固定安装有固定板,所述箱体内腔的一侧固定安装有固定箱,所述箱体内腔的另一侧固定安装有原料盒,所述原料盒的一侧固定安装有喷头,所述喷头的一侧固定安装有调节装置,所述箱体的一侧固定安装有真空泵,所述真空泵顶部的一侧贯通连接有抽气管,所述箱体顶端的中部固定安装有升降机,所述升降机的底部固定安装有电源,所述电源的底部固定安装在有蒸发罩,所述圆轴的外部与L形板的内部活动套装。优选的,所述调节装置包括套环,所述套环的一侧与喷头的一侧固定连接,所述套环的一侧开设有卡槽,所述套环的一侧活动套装有喷口,所述喷口一侧的顶部和底部均固定安装有卡扣,所述喷口的一侧活动套接有垫片,所述喷口的顶部固定安装有把手,所述套环和喷口的内部均开设有圆孔。优选的,所述支撑板的数量为两个,两个所述支撑板以水平板的轴心为对称中心相互对称。优选的,所述L形板的顶部与原料盒底部的一侧固定连接,所述L形板的一侧与固定箱一侧的底部固定连接。优选的,所述蒸发罩侧面的宽度值小于原料盒和固定箱的水平距离值,所述蒸发罩侧面的宽度值大于待镀膜件的宽度值。优选的,所述固定板的数量为两个,两个所述固定板之间固定连接有待镀膜件,两个所述固定板之间的待镀膜件的底部与水平板的顶部活动连接。与现有技术对比,本技术具备以下有益效果:1、该PVD真空电弧镀膜装置,通过卡槽和卡扣的配合使用,能够使喷头可以在套环的一侧旋转,通过套环、喷头、圆孔和把手之间的配合设置,能够有效调节原料喷出量,达到了控制镀膜量的效果,解决了不同待镀膜件的镀膜量不同的问题。2、该PVD真空电弧镀膜装置,通过螺栓、支撑板、水平板和固定板的配合使用,能够使待镀膜件固定在水平板上,同时通过电动机、圆轴和水平板之间的配合设置,能够有效带动水平板旋转,同时带动水平板上的待镀膜件的旋转,达到了待镀膜件的各个面充分镀膜的效果。附图说明图1为本技术结构示意图;图2为本技术结构的A处局部放大示意图;图3为本技术结构调节装置的右视图。图中:1、箱体;2、支撑腿;3、电动机;4、圆轴;5、水平板;6、支撑板;7、螺栓;8、固定板;9、固定箱;10、原料盒;11、喷头;12、调节装置;121、套环;122、卡槽;123、喷口;124、卡扣;125、垫片;126、把手;127、圆孔;13、真空泵;14、抽气管;15、升降机;16、电源;17、蒸发罩;18、L形板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3,一种PVD真空电弧镀膜装置,包括箱体1,箱体1底部的两侧均固定安装有支撑腿2,箱体1内腔底侧的中部固定固定安装有电动机3,电动机3的输出轴上固定连接有圆轴4,圆轴4的顶部固定安装有水平板5,水平板5顶部的一侧固定安装有支撑板6,支撑板6的数量为两个,两个支撑板6以水平板5的轴心为对称中心相互对称,通过支撑板6、螺栓7和固定板8的配合使用,使得待镀膜件可以固定在水平板5上,支撑板6的内部螺纹套装有螺栓7,螺栓7的一侧固定安装有固定板8,固定板8的数量为两个,两个固定板8之间固定连接有待镀膜件,两个固定板8之间的待镀膜件的底部与水平板5的顶部活动连接,通过螺栓7、支撑板6、水平板5和固定板8的配合使用,同时利用电动机3、圆轴4和水平板5之间的配合设置,能够有效带动水平板5上的待镀膜件的旋转,达到了待镀膜件的各个面充分镀膜的效果,箱体1内腔的一侧固定安装有固定箱9,箱体1内腔的另一侧固定安装有原料盒10,原料盒10的一侧固定安装有喷头11,喷头11的一侧固定安装有调节装置12,调节装置12包括套环121,套环121的一侧与喷头11的一侧固定连接,套环121的一侧开设有卡槽122,套环121的一侧活动套装有喷口123,喷口123一侧的顶部和底部均固定安装有卡扣124,喷口123的一侧活动套接有垫片125,喷口123的顶部固定安装有把手126,套环121和喷口123的内部均开设有圆孔127,通过套环121、喷口123、卡槽122和卡扣124的配合使用,使得喷口123可以在套环121的一侧旋转,通过套环121和喷口123内部的圆孔127的配合使用,达到调节喷出的原料量的效果,箱体1的一侧固定安装有真空泵13,真空泵13顶部的一侧贯通连接有抽气管14,箱体1顶端的中部固定安装有升降机15,升降机15的底部固定安装有电源16,电源16的底部固定安装在有蒸发罩17,蒸发罩17侧面的宽度值小于原料盒10和固定箱9的水平距离值,蒸发罩17侧面的宽度值大于待镀膜件的宽度值,通过蒸发罩17、升降机15和待镀膜件之间的配合使用,使得蒸发罩17可以套在带镀膜件的外部,达到充分镀膜的效果,圆轴4的外部与L形板18的内部活动套装,L形板18的顶部与原料盒10底部的一侧固定连接,L形板18的一侧与固定箱9一侧的底部固定连接,通过原料盒10和喷头11的配合使用,使得原料可以从喷头11喷至到待镀膜件上。工作原理,使用时,将待镀膜件放置在水平板5上,旋转螺栓7,将待镀膜件固定,然后根据带镀膜件所需镀膜量,旋转把手126,带动喷口123旋转,调节至合适镀膜量,然后打开真空泵13,将内部空气通过抽气管14抽出到箱体1外部,打开电动机3,电动机3带动圆轴4和水平板5旋转,同时带动待镀膜件旋转,然后打开原料盒10的开关,原料通过喷口123喷到待镀膜件上,待喷涂结束,关闭原料盒10的开关,打开升降机15,将蒸发罩17放置在待镀膜件外部,打开蒸发罩17开关,待镀膜结束,即可。需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PVD真空电弧镀膜装置,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)底部的两侧均固定安装有支撑腿(2),所述箱体(1)内腔底侧的中部固定安装有电动机(3),所述电动机(3)的输出轴上固定连接有圆轴(4),所述圆轴(4)的顶部固定安装有水平板(5),所述水平板(5)顶部的一侧固定安装有支撑板(6),所述支撑板(6)的内部螺纹套装有螺栓(7),所述螺栓(7)的一侧固定安装有固定板(8),所述箱体(1)内腔的一侧固定安装有固定箱(9),所述箱体(1)内腔的另一侧固定安装有原料盒(10),所述原料盒(10)的一侧固定安装有喷头(11),所述喷头(11)的一侧固定安装有调节装置(12),所述箱体(1)的一侧固定安装有真空泵(13),所述真空泵(13)顶部的一侧贯通连接有抽气管(14),所述箱体(1)顶端的中部固定安装有升降机(15),所述升降机(15)的底部固定安装有电源(16),所述电源(16)的底部固定安装在有蒸发罩(17),所述圆轴(4)的外部与L形板(18)的内部活动套装。

【技术特征摘要】
1.一种PVD真空电弧镀膜装置,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)底部的两侧均固定安装有支撑腿(2),所述箱体(1)内腔底侧的中部固定安装有电动机(3),所述电动机(3)的输出轴上固定连接有圆轴(4),所述圆轴(4)的顶部固定安装有水平板(5),所述水平板(5)顶部的一侧固定安装有支撑板(6),所述支撑板(6)的内部螺纹套装有螺栓(7),所述螺栓(7)的一侧固定安装有固定板(8),所述箱体(1)内腔的一侧固定安装有固定箱(9),所述箱体(1)内腔的另一侧固定安装有原料盒(10),所述原料盒(10)的一侧固定安装有喷头(11),所述喷头(11)的一侧固定安装有调节装置(12),所述箱体(1)的一侧固定安装有真空泵(13),所述真空泵(13)顶部的一侧贯通连接有抽气管(14),所述箱体(1)顶端的中部固定安装有升降机(15),所述升降机(15)的底部固定安装有电源(16),所述电源(16)的底部固定安装在有蒸发罩(17),所述圆轴(4)的外部与L形板(18)的内部活动套装。2.根据权利要求1所述的一种PVD真空电弧镀膜装置,其特征在于:所述调节装置(12)包括套环(121),所述套环(121)的一侧与喷头(11)的一侧固定连接,所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:李启炎
申请(专利权)人:杭州云度新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:浙江,33

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