多功能样品台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多功能样品台，包括：样品台本体，其中，所述样品台本体采用非磁性材料或者非导体材料制成，所述样品台本体为半圆柱形且所述半圆柱形样品台本体的切面上开设有至少一个窗口。本实用新型专利技术的多功能样品台可以应用于现有的FIB和TEM系统中，同时还可以实现样品的原子位FIB剥层，纳米探针电测试和TEM分析三步失效分析工艺的有效集成。即在整个失效分析的流程中，不需要样品转移，因此，本实用新型专利技术的多功能样品台可以提高整个失效分析流程的成功率和效率，避免和减少样品在失效分析工作中的破损，丢失和污染。

Multifunctional Sample Table

【技术实现步骤摘要】
多功能样品台
本技术涉及集成电路制造领域，特别涉及一种多功能样品台。
技术介绍
随着技术的发展，微样品的观测与操作被广泛的应用于航空航天、汽车工业、半导体、生物医学、MEMS、高分子、太阳能/燃料电池化工、石油、岩石、微电子、微型传感器、半导体材料、自动控制、航空航天、汽车工业及机械工具中。传统的样品台只能对样品进行简单的平移观测以及操作，虽然通过调整成像装置的角度，可以在视野内实现对样品的旋转观测，但是并不能改变样品的空间位置。另一方面，当需要对样品进行失效分析时，需要将样品从样品台上转移到与工艺相适应的系统中去，影响整个失效分析流程的成功率和效率。
技术实现思路
本技术提供一种多功能样品台，以解决现有技术中存在的上述技术问题。为解决上述技术问题，本技术提供一种多功能样品台，包括：样品台本体，其中，所述样品台本体采用非磁性材料或者非导体材料制成，所述样品台本体为半圆柱形且所述半圆柱形样品台本体的切面上开设有至少一个窗口。作为优选，所述样品台本体的直径为2-5mm，厚度为80-120μm。作为优选，所述样品台本体上设置有纳米级电路。作为优选，还包括用于承载所述样品台本体的夹套。作为优选，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多功能样品台，其特征在于，包括：样品台本体，其中，所述样品台本体采用非磁性材料或者非导体材料制成，所述样品台本体为半圆柱形且所述半圆柱形样品台本体的切面上开设有至少一个窗口。

【技术特征摘要】
1.一种多功能样品台，其特征在于，包括：样品台本体，其中，所述样品台本体采用非磁性材料或者非导体材料制成，所述样品台本体为半圆柱形且所述半圆柱形样品台本体的切面上开设有至少一个窗口。2.如权利要求1所述的多功能样品台，其特征在于，所述样品台本体的直径为2-5mm，厚度为80-120μm。3.如权利要求1所述的多功能样品台，其特征在于，所述样品台本体上设置有纳米级电路。4.如权利要求1所述的多功能样品台，其特征在于，还包括用于承载所述样品台本体的夹套。5.如权利要求4所述的多功能样品台，其特征在于，所述夹套包括：底座、位于所述底座上的支撑座以及设置在所述支撑座一侧的限位板，其中，所述支撑座上开设有与所述样品台本体的弧面相匹配的弧...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘兵海，华佑南，傅超，李晓旻，
申请(专利权)人：胜科纳米苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32