一种钽、铌退火炉密封门结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种钽、铌退火炉密封门结构，包括炉体，所述炉体的下侧设置有进水处，所述炉体的上侧设置有出水处，火炉门的一侧设置有输水管，所述输水管的外侧设置有第一隔热块，所述第一隔热块的外侧设置有第二隔热块，所述第二隔热块的外侧设置有第三隔热块，所述炉体内侧的下端设置有电子束；炉体的上侧设置有高度逐渐递增的第一隔热块、第二隔热块、第三隔热块，火炉门的一侧设置有高度逐渐递减的第三隔热块、第二隔热块、第一隔热块，当关闭火炉门时，火炉门与炉体之间形成密封的第二空腔，便于降低炉体内侧的高温向外侧的辐射，炉体下侧设置有减震板，炉体与减震板之间设置有减震柱，通过减震柱的形变可以降低在使用时的振动力。

A Sealed Door Structure for Tantalum and Niobium Annealing Furnace

【技术实现步骤摘要】
一种钽、铌退火炉密封门结构
本技术属于退火炉
，具体涉及一种钽、铌退火炉密封门结构。
技术介绍
退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，退火炉骨架由各种型钢焊接而成，传动采用电动机、减速机通过链条带动前端一组主动轮传动，钽、铌的熔点较高，一般使用的退火炉为电子束退火炉，电子束熔炼：利用电子束枪发射电子束，在真空中轰击钽或者铌，使其升高到几千度的高温，从而对其进行提纯，现有的退火炉的密封门不能很好的对火炉进行密封，火炉内侧的高温易向外侧传递，导致使用的不便，影响使用者的健康，另外由于火炉传动机构为电机、减速机，在使用的过程中振动力过大易导致地面损坏及周边设备损坏，提高了维护成本，为此我们提出一种钽、铌退火炉密封门结构。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种钽、铌退火炉密封门结构，以解决上述
技术介绍
中提出现有的退火炉的密封门不能很好的对火炉进行密封，火炉内侧的高温易向外侧传递，导致使用的不便，影响使用者的健康，另外由于火炉传动机构为电机、减速机，在使用的过程中振动力过大易导致地面损坏及周边设备损坏，提高了维护成本的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种钽、铌退火炉密封门结构，包括炉体，所述炉体的下侧设置有进水处，所述炉体的上侧设置有出水处，火炉门的一侧设置有输水管，所述输水管的外侧设置有第一隔热块，所述第一隔热块的外侧设置有第二隔热块，所述第二隔热块的外侧设置有第三隔热块，所述炉体内侧的下端设置有电子束，所述炉体的下侧设置有支腿，所述支腿的上侧设置有减震板，所述炉体的一侧设置有观察窗，所述炉体的另一侧设置有安装座，所述安装座的一侧设置有火炉门，所述火炉门的一侧设置有转动杆，所述火炉门与安装座通过转动杆进行转动连接。优选的，所述输水管垂直于炉体的一侧，且所述出水处与进水处通过输水管进行内部连通。优选的，所述第一隔热块、第二隔热块及第三隔热块均垂直于炉体的一侧，且其间隔距离相等，高度从内侧向外侧在逐渐递增。优选的，所述第一隔热块、第二隔热块、第三隔热块上端的内侧均设置有第一空腔，所述第三隔热块的外侧设置有耐热橡胶，所述耐热橡胶与减震板通过螺栓进行固定连接。优选的，所述减震板为弧形，所述减震板与火炉门之间设置有减震柱，所述减震柱为“工”字型，且所述减震柱的上端与下端分别与火炉门及减震板进行固定连接。与现有技术相比，本技术的有益效果是：炉体的上侧设置有高度逐渐递增的第一隔热块、第二隔热块、第三隔热块，火炉门的一侧设置有高度逐渐递减的第三隔热块、第二隔热块、第一隔热块，当关闭火炉门时，通过第一隔热块、第二隔热块、第三隔热块可使火炉门与炉体之间形成密封的第二空腔，通过第二空腔可以降低炉体内侧的高温向外侧的辐射，炉体的一侧设置有输水管，通过输水管内侧的水流可以降低炉体一端的高温，避免温度过高导致输水管外侧的密封机构损坏，第三隔热块的外侧设置有耐热橡胶，通过耐热橡胶可以进一步的密封火炉门与炉体的连接处，避免炉体内侧的高温辐射对外侧使用者造成伤害，提高了火炉的密封效果，增大了装置的安全性，炉体下侧设置有减震板，炉体与减震板之间设置有减震柱，通过减震柱的形变可以降低在使用时的振动力，避免振动力过大导致周边设备损坏。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的耐热橡胶结构示意图；图3为本技术的图1的A处剖视结构示意图；图中：1、火炉门；2、转动杆；3、安装座；4、耐热橡胶；5、出水处；6、输水管；7、炉体；8、观察窗；9、减震板；10、减震柱；11、进水处；12、支腿；13、电子束；14、第一隔热块；15、第二隔热块；16、第三隔热块；17、第一空腔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1、图2和图3，本技术提供一种技术方案：一种钽、铌退火炉密封门结构，包括炉体7，炉体7的下侧设置有进水处11，炉体7的上侧设置有出水处5，火炉门1的一侧设置有输水管6，输水管6的外侧设置有第一隔热块14，第一隔热块14的外侧设置有第二隔热块15，第二隔热块15的外侧设置有第三隔热块16，炉体7内侧的下端设置有电子束13，炉体7的下侧设置有支腿12，支腿12的上侧设置有减震板9，炉体7的一侧设置有观察窗8，炉体7的另一侧设置有安装座3，安装座3的一侧设置有火炉门1，火炉门1的一侧设置有转动杆2，火炉门1与安装座3通过转动杆2进行转动连接。为了通过输水管6降低炉体7向外侧传递的温度，本实施例中，优选的，输水管6垂直于炉体7的一侧，且出水处5与进水处11通过输水管6进行内部连通。为了便于通过高度差在关闭火炉门1时与炉体7形成第二空腔，本实施例中，优选的，第一隔热块14、第二隔热块15及第三隔热块16均垂直于炉体7的一侧，且其间隔距离相等，高度从内侧向外侧在逐渐递增。为了便于更好的密封火炉门1，本实施例中，优选的，第一隔热块14、第二隔热块15、第三隔热块16上端的内侧均设置有第一空腔17，第三隔热块16的外侧设置有耐热橡胶4，耐热橡胶4与减震板9通过螺栓进行固定连接。为了降低振动力向下侧的传递，本实施例中，优选的，减震板9为弧形，减震板9与火炉门1之间设置有减震柱10，减震柱10为“工”字型，且减震柱10的上端与下端分别与火炉门1及减震板9通过焊接进行固定连接。本技术的工作原理及使用流程：火炉门1的一侧设置有第三隔热块16，第三隔热块16的外侧设置有第二隔热块15，第二隔热块15的外侧设置有第三隔热块16，第三隔热块16、第二隔热块15、第一隔热块14两两之间距离相等，在关闭火炉门1时，火炉门1一侧的第三隔热块16插入炉体7一侧的第一隔热块14与第二隔热块15之间，火炉门1一侧的第二隔热块15插入炉体7一侧的第二隔热块15与第三隔热块16之间，火炉门1一侧的第一隔热块14插入炉体7一侧的第三隔热块16与耐热橡胶4之间，第一隔热块14、第二隔热块15、第三隔热块16高度在逐渐递增使其插入间隔后，火炉门1与炉体7之间会形成第二空腔，空气为热的不良导体，在第二空腔中的空气几乎不流动，降低了炉体7内侧热量向外侧的流失，水流从进水处11流入输水管6的内侧，从出水处5流出，通过水流在输水管6内侧的流动，可以带走一部分热量，进而降低向炉体7内侧向外侧传递的温度，避免温度过高损坏输水管6外侧的密封机构，经过输水管6及第一隔热块14、第二隔热块15、第三隔热块16的降温、保温，可以使炉体7内侧的高温向外侧传递大幅度降低，并经第三隔热块16外侧的耐热橡胶4达到更好的密封效果，炉体7与减震板9之间设置有减震柱10，通过减震柱10的形变可以降低在使用时的振动力。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钽、铌退火炉密封门结构，包括炉体(7)，其特征在于：所述炉体(7)的下侧设置有进水处(11)，所述炉体(7)的上侧设置有出水处(5)，火炉门(1)的一侧设置有输水管(6)，所述输水管(6)的外侧设置有第一隔热块(14)，所述第一隔热块(14)的外侧设置有第二隔热块(15)，所述第二隔热块(15)的外侧设置有第三隔热块(16)，所述炉体(7)内侧的下端设置有电子束(13)，所述炉体(7)的下侧设置有支腿(12)，所述支腿(12)的上侧设置有减震板(9)，所述炉体(7)的一侧设置有观察窗(8)，所述炉体(7)的另一侧设置有安装座(3)，所述安装座(3)的一侧设置有火炉门(1)，所述火炉门(1)的一侧设置有转动杆(2)，所述火炉门(1)与安装座(3)通过转动杆(2)进行转动连接。

【技术特征摘要】
1.一种钽、铌退火炉密封门结构，包括炉体(7)，其特征在于：所述炉体(7)的下侧设置有进水处(11)，所述炉体(7)的上侧设置有出水处(5)，火炉门(1)的一侧设置有输水管(6)，所述输水管(6)的外侧设置有第一隔热块(14)，所述第一隔热块(14)的外侧设置有第二隔热块(15)，所述第二隔热块(15)的外侧设置有第三隔热块(16)，所述炉体(7)内侧的下端设置有电子束(13)，所述炉体(7)的下侧设置有支腿(12)，所述支腿(12)的上侧设置有减震板(9)，所述炉体(7)的一侧设置有观察窗(8)，所述炉体(7)的另一侧设置有安装座(3)，所述安装座(3)的一侧设置有火炉门(1)，所述火炉门(1)的一侧设置有转动杆(2)，所述火炉门(1)与安装座(3)通过转动杆(2)进行转动连接。2.根据权利要求1所述的一种钽、铌退火炉密封门结构，其特征在于：所述输水管(6)垂直于炉体(7)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：林农，
申请(专利权)人：江苏维德新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32