一种钽、铌退火炉密封门结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种钽、铌退火炉密封门结构，包括炉体，所述炉体的下侧设置有进水处，所述炉体的上侧设置有出水处，火炉门的一侧设置有输水管，所述输水管的外侧设置有第一隔热块，所述第一隔热块的外侧设置有第二隔热块，所述第二隔热块的外侧设置有第三隔热块，所述炉体内侧的下端设置有电子束；炉体的上侧设置有高度逐渐递增的第一隔热块、第二隔热块、第三隔热块，火炉门的一侧设置有高度逐渐递减的第三隔热块、第二隔热块、第一隔热块，当关闭火炉门时，火炉门与炉体之间形成密封的第二空腔，便于降低炉体内侧的高温向外侧的辐射，炉体下侧设置有减震板，炉体与减震板之间设置有减震柱，通过减震柱的形变可以降低在使用时的振动力。

A Sealed Door Structure for Tantalum and Niobium Annealing Furnace

【技术实现步骤摘要】
一种钽、铌退火炉密封门结构
本技术属于退火炉
，具体涉及一种钽、铌退火炉密封门结构。
技术介绍
退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，退火炉骨架由各种型钢焊接而成，传动采用电动机、减速机通过链条带动前端一组主动轮传动，钽、铌的熔点较高，一般使用的退火炉为电子束退火炉，电子束熔炼：利用电子束枪发射电子束，在真空中轰击钽或者铌，使其升高到几千度的高温，从而对其进行提纯，现有的退火炉的密封门不能很好的对火炉进行密封，火炉内侧的高温易向外侧传递，导致使用的不便，影响使用者的健康，另外由于火炉传动机构为电机、减速机，在使用的过程中振动力过大易导致地面损坏及周边设备损坏，提高了维护成本，为此我们提出一种钽、铌退火炉密封门结构。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种钽、铌退火炉密封门结构，以解决上述
技术介绍
中提出现有的退火炉的密封门不能很好的对火炉进行密封，火炉内侧的高温易向外侧传递，导致使用的不便，影响使用者的健康，另外由于火炉传动机构为电机、减速机，在使用的过程中振动力过大易导致地面损坏及周边设备损坏，提高了维护成本的问题。为实现上述目的，本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钽、铌退火炉密封门结构，包括炉体(7)，其特征在于：所述炉体(7)的下侧设置有进水处(11)，所述炉体(7)的上侧设置有出水处(5)，火炉门(1)的一侧设置有输水管(6)，所述输水管(6)的外侧设置有第一隔热块(14)，所述第一隔热块(14)的外侧设置有第二隔热块(15)，所述第二隔热块(15)的外侧设置有第三隔热块(16)，所述炉体(7)内侧的下端设置有电子束(13)，所述炉体(7)的下侧设置有支腿(12)，所述支腿(12)的上侧设置有减震板(9)，所述炉体(7)的一侧设置有观察窗(8)，所述炉体(7)的另一侧设置有安装座(3)，所述安装座(3)的一侧设置有火炉门(1)，所述火炉门(...

【技术特征摘要】
1.一种钽、铌退火炉密封门结构，包括炉体(7)，其特征在于：所述炉体(7)的下侧设置有进水处(11)，所述炉体(7)的上侧设置有出水处(5)，火炉门(1)的一侧设置有输水管(6)，所述输水管(6)的外侧设置有第一隔热块(14)，所述第一隔热块(14)的外侧设置有第二隔热块(15)，所述第二隔热块(15)的外侧设置有第三隔热块(16)，所述炉体(7)内侧的下端设置有电子束(13)，所述炉体(7)的下侧设置有支腿(12)，所述支腿(12)的上侧设置有减震板(9)，所述炉体(7)的一侧设置有观察窗(8)，所述炉体(7)的另一侧设置有安装座(3)，所述安装座(3)的一侧设置有火炉门(1)，所述火炉门(1)的一侧设置有转动杆(2)，所述火炉门(1)与安装座(3)通过转动杆(2)进行转动连接。2.根据权利要求1所述的一种钽、铌退火炉密封门结构，其特征在于：所述输水管(6)垂直于炉体(7)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：林农，
申请(专利权)人：江苏维德新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32