大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置及加工方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置及加工方法，包括床身，X方向传动机构沿X轴方向固定于床身上；工作台沿X轴方向与X方向传动机构可滑动连接；真空吸盘固定于工作台顶部，用于吸附固定元件；Y方向传动机构沿Y轴方向固定于床身上；Z方向传动机构沿Y轴方向可滑动于Y方向传动机构上；B轴旋转机构一端沿Z轴方向可滑动于Z轴方向传动机构上；主轴机构一端固定于B轴旋转机构另一端，且其轴线与B轴旋转机构轴线垂直；主轴机构另一端绕Y轴方向可摆动，磨削部固定于主轴机构另一端上，且与工作台位置对应；X方向传动机构、真空吸盘、Y方向传动机构、Z方向传动机构、B轴旋转机构及主轴机构均与控制系统电性连接。

Ultra-precision Composite Forming Grinding Device and Processing Method for Large Diameter Wedge Optical Elements

【技术实现步骤摘要】
大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置及加工方法
本专利技术涉及光学元件精密加工设备
，更具体的说是涉及大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置及加工方法。
技术介绍
随着激光技术的不断发展，大型高功率激光装置作为现代激光技术的一个重要分支，在惯性约束聚变研究方面有着重要的应用，如美国的国家点火装置(NIF)、法国的兆焦耳装置(LMJ)等。作为世界上最大、最精密的光学系统，在大口径光学元件数量、质量方面，高功率激光装置所提出的要求比迄今为止任何光学系统都高出许多，大口径光学元件的批量化、高精度、低成本制造，是目前国际上光学加工领域普遍面临的工程技术问题。而高功率激光装置上使用的大口径光学元件，其超精密加工的第一个流程就是坯片的精密成形，坯片的精密成形包括四条侧边的精密成形加工以满足指定的长宽尺寸和侧边垂直度要求，四条侧边之间的夹角的加工以达到指定的宽度、光学工作表面(一般为平面或斜面)的加工以满足指定的平面度和缺陷要求、所有棱边的成形加工以达到指定的宽度及满足指定的崩边要求。而目前采用已有的大口径光学元件精密成形技术，一般在坯料熔融成形后使用金刚石丝线进行锯切获得坯板，然后分本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置，其特征在于，包括：床身(1)，X方向传动机构(2)，所述X方向传动机构(2)沿X轴方向固定于所述床身(1)上；工作台(3)，所述工作台(3)沿X轴方向与所述X方向传动机构(2)可滑动连接；真空吸盘(4)，所述真空吸盘(4)固定于所述工作台(3)顶部，用于吸附固定元件；Y方向传动机构(5)，所述Y方向传动机构(5)沿Y轴方向固定于所述床身(1)上；Z方向传动机构(6)，所述Z方向传动机构(6)沿Y轴方向可滑动于所述Y方向传动机构(5)上；B轴旋转机构(7)，所述B轴旋转机构(7)一端沿Z轴方向可滑动于所述Z轴方向传动机构(6)上；主轴机构(9)，所述...

【技术特征摘要】
1.大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置，其特征在于，包括：床身(1)，X方向传动机构(2)，所述X方向传动机构(2)沿X轴方向固定于所述床身(1)上；工作台(3)，所述工作台(3)沿X轴方向与所述X方向传动机构(2)可滑动连接；真空吸盘(4)，所述真空吸盘(4)固定于所述工作台(3)顶部，用于吸附固定元件；Y方向传动机构(5)，所述Y方向传动机构(5)沿Y轴方向固定于所述床身(1)上；Z方向传动机构(6)，所述Z方向传动机构(6)沿Y轴方向可滑动于所述Y方向传动机构(5)上；B轴旋转机构(7)，所述B轴旋转机构(7)一端沿Z轴方向可滑动于所述Z轴方向传动机构(6)上；主轴机构(9)，所述主轴机构(9)一端固定于所述B轴旋转机构(7)另一端，且其轴线与所述B轴旋转机构(7)轴线垂直；所述主轴机构(9)另一端绕Y轴方向可摆动，磨削部(8)，所述磨削部(8)固定于所述主轴机构(9)另一端上，且与所述工作台(3)位置对应；控制系统，所述X方向传动机构(2)、所述真空吸盘(4)、所述Y方向传动机构(5)、所述Z方向传动机构(6)、所述B轴旋转机构(7)及所述主轴机构(9)均与所述控制系统电性连接。2.根据权利要求1所述的大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置，其特征在于，所述床身(1)包括X轴方向床体和Y方向床体，所述X轴方向床体和所述Y方向床体构成T字形，所述X方向传动机构(2)固定于所述X轴方向床体上，所述Y方向传动机构(5)固定于所述Y方向床体上。3.根据权利要求2所述的大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置，其特征在于，所述X方向传动机构(2)包括X轴导轨(21)、X轴滑块(22)、X轴伺服电机(23)、X轴同步带组件(24)、X轴丝杠(25)及X轴丝杠螺母；所述X轴导轨(21)固定于所述X轴方向床体上；所述X轴滑块(22)连接于所述工作台(2)上，且其底部与所述X轴导轨(21)可滑动连接；所述X轴伺服电机(23)固定于所述X轴方向床体上，与所述控制系统电性连接，其输出端通过所述X轴同步带组件(24)带动X轴丝杠(25)转动；所述X轴丝杠螺母套接于所述X轴丝杠(25)上，且固定于所述工作台(2)底部。4.根据权利要求2所述的大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置，其特征在于，所述Y方向传动机构(5)包括Y轴导轨(51)、Y轴滑块(52)、Y轴伺服电机(53)、Y轴同步带组件(54)、Y轴丝杠(55)及Y轴丝杠螺母；所述Y轴导轨(51)固定于所述Y方向床体上；所述Y轴滑块(52)连接于所述Z方向传动机构(6)，且其底部与所述Y轴导轨(51)可滑动连接；所述Y轴伺服电机(53)固定于所述Y方向床体上，与所述控制系统电性连接，其输出端通过所述Y轴同步带组件(54)带动Y轴丝杠(55)转动；所述Y轴丝杠螺母套接于所述Y轴丝杠(55)上，且固定于所述Z方向传动机构(6)底部。5.根据权利要求4所述的大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置，其特征在于，所述Z方向传动机构(6)包括Z轴基座、Z轴立柱、Z轴导轨(61)、Z轴滑块(62)、Z轴伺服电机(63)、Z轴同步带组件、Z轴丝杠及Z轴丝杠螺母；所述Z轴基座底部固定所述Y轴丝杠螺母，且沿Y轴可滑动连接；所述Z轴立柱与所述Z轴基座一体连接；所述Z轴导轨(61)固定于所述Z轴立柱上；所述Z轴滑块(62)连接于所述B轴旋转机构(7)，且其底部与所述Z轴导轨(61)可滑动连接；所述Z轴伺服电机(63)固定于所述Z轴立柱上，与所述控制系统电性连接，其输出端通...

【专利技术属性】
技术研发人员：周炼，李洁，韦前才，郑楠，陈贤华，张清华，谢瑞清，廖德峰，赵世杰，王健，许乔，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
国别省市：四川,51