接触式探针和电连接夹具制造技术

本发明专利技术提供一种接触式探针，其降低了在高温环境下进行探测后的收缩量而改善了耐久性。接触式探针1包括具有线圈状弹簧结构11a的Ni管11。Ni管11含有0.5重量％～10重量％的P。

Contact Probe and Electric Connection Fixture

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】接触式探针和电连接夹具
本专利技术涉及一种接触式探针及电连接夹具。
技术介绍
在各个
中会进行通电检查。作为进行通电检查者，例如有半导体集成电路、平板显示器(flatpaneldisplay)等电子元件(device)基板、电路配线基板等。所述检查是使用具备多个接触式探针(contactprobe)的检查装置，使接触式探针接触至检体的电极来进行。检体的小型化、高密度化、高性能化的推进中，对于接触式探针也要求微细化。日本专利第4572303号公报中，公开有一种通电检查夹具用接触件的制造方法。所述制造方法是在芯材的外周通过镀敷而形成镀金层之后，在所形成的镀金层的外周通过电铸而形成Ni电铸层。进而，在Ni电铸层的一部分，利用借助光刻(photolithography)的图案化(patterning)而形成弹簧(spring)结构。随后，保持使镀金层残留于Ni电铸层的内周的状态而仅去除芯材。根据所述制造方法，可精度更高、更精密地制造具备电铸制弹簧结构的极细且薄壁的通电检查夹具用接触件。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第4572303号公报
技术实现思路
所述通电检查有时会在120℃本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种接触式探针，其包括具有线圈状弹簧结构的Ni管，所述Ni管含有0.5重量％～10重量％的P。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.12.16 JP 2016-2446831.一种接触式探针，其包括具有线圈状弹簧结构的Ni管，所述Ni管含有0.5重量％～10重量％的P。2.根据权利要求1所述的接触式探针，其中所述Ni管的P含...

【专利技术属性】
技术研发人员：山本正美，太田宪宏，坂井滋树，
申请(专利权)人：日本电产理德股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP