药液喷出装置及药液滴加装置制造方法及图纸

提供药液喷出装置及药液滴加装置。药液喷出装置具有压力室构造体和致动器，压力室构造体具有第一面及第二面，在内部设有压力室，压力室具有由第二面供给药液的供给口、和从第一面侧将药液排出的排出口，所述压力室的内壁的至少一部分的材料是硅或者氧化硅，所述压力室的内壁中由硅或者氧化硅构成的部分的表面，与没有进行紫外线照射或氧等离子处理的形成有自然氧化膜的硅晶片的表面相比，通过X射线光电子能谱分析检测出的一价、二价及三价的结合态的硅的峰值的合计面积与通过X射线光电子能谱分析检测出的四价的结合态的硅的峰值的面积之比值较大，所述致动器使所述压力室内的压力变化，使所述压力室内的所述药液从喷嘴喷出。

Drug ejector and dropping device

【技术实现步骤摘要】
药液喷出装置及药液滴加装置
本专利技术的实施方式涉及药液喷出装置及药液滴加装置。
技术介绍
在生物学、药学等领域的研发、医疗诊断及检查、以及农业试验中，有时进行分注皮升(pL)～微升(μL)级的液体的操作。作为在这种用途中使用的装置，已知有液滴喷射装置。在分注的液体是药液的情况下，液滴喷射装置有时被称为药液滴加装置。还有在药液滴加装置安装可装卸的被填充了药液的药液喷出装置的装置。在这种药液滴加装置中，药液喷出装置为了防止污染，在喷出一次药液后就被废弃。药液喷出装置喷出的药液的种类例如有水溶液和有机溶剂溶液这两种。水溶液的溶媒例如是水、磷酸缓冲生理盐水(水的含有率为99质量％以上)、甘油水溶液(甘油的含有率为60质量％以下、水的含有率为40质量％以上)。另外，有机溶剂溶液的溶媒例如是二甲基亚砜。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种药液喷出装置及药液滴加装置，即使药液是水溶液，也能够喷出药液。根据本专利技术的一个方面提供一种药液喷出装置，具有：压力室构造体，是具有第一面及第二面且在内部设有压力室的压力室构造体，所述压力室具有由所述第二面供给药液的供给口、和从所述第一面侧将所述药液排出的排出口，所述压力室的内壁的至少一部分的材料是硅或者氧化硅，所述压力室的内壁中由硅或者氧化硅构成的部分的表面，与没有进行紫外线照射或氧等离子处理的形成有自然氧化膜的硅晶片的表面相比，通过X射线光电子光谱分析检测出的一价、二价及三价的结合态的硅的峰值的合计面积与通过X射线光电子光谱分析检测出的四价的结合态的硅的峰值的面积之比值较大；以及致动器，使所述压力室内的压力变化，使所述压力室内的所述药液从喷嘴喷出。根据本专利技术的一个方面提供一种药液滴加装置，所述药液滴加装置具有药液喷出装置和安装所述药液喷出装置的安装部，所述药液喷出装置具有：压力室构造体，是具有第一面及第二面且在内部设有压力室的压力室构造体，所述压力室具有由所述第二面供给药液的供给口、和从所述第一面侧将所述药液排出的排出口，所述压力室的内壁的至少一部分的材料是硅或者氧化硅，所述压力室的内壁中由硅或者氧化硅构成的部分的表面，与没有进行紫外线照射或氧等离子处理的形成有自然氧化膜的硅晶片的表面相比，通过X射线光电子光谱分析检测出的一价、二价及三价的结合态的硅的峰值的合计面积与通过X射线光电子光谱分析检测出的四价的结合态的硅的峰值的面积之比值较大；以及致动器，使所述压力室内的压力变化，使所述压力室内的所述药液从喷嘴喷出。附图说明图1是表示具有实施方式的药液喷出装置的药液滴加装置的整体的概略结构的立体图。图2是表示实施方式的药液喷出装置的俯视图。图3是表示实施方式的药液喷出装置的仰视图。图4是沿图2的F4-F4线的剖视图。图5是表示实施方式的药液喷出装置的药液喷出阵列的俯视图。图6是沿图5的F6-F6线的剖视图。图7是沿图5的F7-F7线的剖视图。图8是将实施氧等离子体灰化处理的时间、和纯水与氧化硅膜的接触角的关系绘制而得的曲线图。图9是表示通过对具有氧化硅膜的硅晶片进行XPS测定得到的Si2p能谱的曲线图。图10是表示通过对具有氧化硅膜的硅晶片进行氧等离子体灰化处理后进行XPS测定得到的Si2p能谱的曲线图。图11是具有氧化硅膜的硅晶片的第二面的剖面示意图。图12是压力室的内壁的剖面示意图。图13是通过对形成有自然氧化膜的硅晶片进行XPS测定得到的Si2p能谱的曲线图。图14是通过对形成有自然氧化膜的硅晶片进行氧等离子体灰化处理后进行XPS测定得到的Si2p能谱的曲线图。附图标记说明：1…药液滴加装置；2…药液喷出装置；5…安装部；21…基座部件；21a…药液保持容器用凹陷部；21b…电装基板用凹陷部；21d…药液喷出阵列部开口；22…药液保持容器；27…药液喷出阵列；100…喷嘴板；11…喷嘴；120…振动板；130…驱动元件；170…致动器；200…压力室构造体；210…压力室。具体实施方式下面，参照附图对实施方式进行说明。另外，各附图是用于帮助实施方式及其理解的示意图，其形状或尺寸、比值等存在与实际情况不同的部位，但这些都可以适当地进行设计变更。<构造>关于实施方式的药液喷出装置的一例，参照图1～图7进行说明。图1是表示具有实施方式的药液喷出装置的药液滴加装置的整体的概略结构的立体图。图2是表示实施方式的药液喷出装置的上表面的图。图3是表示实施方式的药液喷出装置的喷出液滴的面即下表面的图。图4是沿图2的F4-F4线的剖视图。图5是表示实施方式的药液喷出装置的药液喷出阵列的上表面的图。图6是沿图5的F6-F6线的剖视图。图7是沿图5的F7-F7线的剖视图。图1所示的药液滴加装置1具有矩形平板状的基座3、实施方式的药液喷出装置2、和用于安装药液喷出装置2的安装部5。在本实施方式中，对向微型板4滴加药液的实施方式进行说明。在此，将基座3的前后方向称为X方向，将基座3的左右方向称为Y方向。X方向和Y方向垂直。微型板4具有1536个孔300。并且，微型板4可装卸地固定于基座3。药液滴加装置1在基座3上的微型板4的两侧具有沿X方向延伸设置的左右一对的X方向引导导轨6a、6b。各X方向引导导轨6a、6b的两端部被固定于在基座3上突出设置的固定台7a、7b。沿Y方向延伸设置的Y方向引导导轨8架设在X方向引导导轨6a、6b之间。Y方向引导导轨8的两端分别固定于顺着X方向引导导轨6a、6b沿X方向可滑动的X方向移动台9。在Y方向引导导轨8设有顺着Y方向引导导轨8沿Y方向可移动的Y方向移动台10。安装部5安装于该Y方向移动台10。在该安装部5形成有切槽32，在该位置可装卸地固定本实施方式的药液喷出装置2。通过Y方向移动台10顺着Y方向引导导轨8沿Y方向移动的动作、和X方向移动台9顺着X方向引导导轨6a、6b沿X方向移动的动作的组合，药液喷出装置2能够移动到与X方向及Y方向平行的面内的任意位置。在本实施方式中，对喷出一次药液后就被废弃的药液喷出装置的实施方式进行说明。实施方式的药液喷出装置具有压力室构造体和致动器，压力室构造体具有第一面及第二面，在内部设有压力室，压力室具有由第二面供给药液的供给口、和从第一面侧将药液排出的排出口，压力室的内壁的至少一部分的材料是硅或者氧化硅，压力室的内壁中由硅或者氧化硅构成的部分的表面，与没有进行紫外线照射或氧等离子处理的形成有自然氧化膜的硅晶片的表面相比，通过X射线光电子能谱分析检测出的一价、二价及三价的结合态的硅的峰值的合计面积、与通过X射线光电子能谱分析检测出的四价的结合态的硅的峰值的面积之比值较大，致动器使压力室内的压力变化，使压力室内的药液从喷嘴喷出。药液喷出装置2具有矩形板状的板体即平板状的基座部件21。如图1及图2所示，在该基座部件21的表面侧，多个药液保持容器22沿Y方向被并列设置成一列。另外，基座部件21的表面是指在将药液喷出装置2设置于药液滴加装置1时成为上表面的面。在本实施方式中，对药液保持容器22是8个的情况进行说明，但个数不限于8个。如图2所示，在基座部件21的两端分别形成有向安装部5安装固定用的安装固定用切口(卡合凹部)28。该基座部件21的两个切口28形成为半长圆形的切口形状。另外，安装固定用切口28也可以是半圆形、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种药液喷出装置，其特征在于，具有：压力室构造体，是具有第一面及第二面且在内部设有压力室的压力室构造体，所述压力室具有由所述第二面供给药液的供给口、和从所述第一面侧将所述药液排出的排出口，所述压力室的内壁的至少一部分的材料是硅或者氧化硅，所述压力室的内壁中由硅或者氧化硅构成的部分的表面，与没有进行紫外线照射或氧等离子处理的形成有自然氧化膜的硅晶片的表面相比，通过X射线光电子能谱分析检测出的一价、二价及三价的结合态的硅的峰值的合计面积与通过X射线光电子能谱分析检测出的四价的结合态的硅的峰值的面积之比值较大；以及致动器，使所述压力室内的压力变化，使所述压力室内的所述药液从喷嘴喷出。

【技术特征摘要】
2017.12.20 JP 2017-2439601.一种药液喷出装置，其特征在于，具有：压力室构造体，是具有第一面及第二面且在内部设有压力室的压力室构造体，所述压力室具有由所述第二面供给药液的供给口、和从所述第一面侧将所述药液排出的排出口，所述压力室的内壁的至少一部分的材料是硅或者氧化硅，所述压力室的内壁中由硅或者氧化硅构成的部分的表面，与没有进行紫外线照射或氧等离子处理的形成有自然氧化膜的硅晶片的表面相比，通过X射线光电子能谱分析检测出的一价、二价及三价的结合态的硅的峰值的合计面积与通过X射线光电子能谱分析检测出的四价的结合态的硅的峰值的面积之比值较大；以及致动器，使所述压力室内的压力变化，使所述压力室内的所述药液从喷嘴喷出。2.根据权利要求1所述的药液喷出装置，其特征在于，所述喷嘴的内壁的至少一部分以及所述第二面的至少一部分的材料是硅或者氧化硅，所述喷嘴的内壁面以及所述第二面中由硅或者氧化硅构成的部分的硅包括所述一价、二价及三价的结合态的硅。3.根据权利要求1或2所述的药液喷出装置，其特征在于，所述药液是水溶液。4.根据权利要求1或2所述的药液喷出装置，其特征在于，所述压力室从所述第二面朝向所述第一面而变尖细。5.根据权利要求3所述的药液喷出...

【专利技术属性】
技术研发人员：横山周平，楠竜太郎，
申请(专利权)人：东芝泰格有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP