测试系统技术方案

技术编号:21637175 阅读:36 留言:0更新日期:2019-07-17 13:54
本发明专利技术涉及测试系统。测试系统是实施被试验设备的电特性试验的测试系统,具备:载置被试验设备的载置台;搬送载置台的搬送机构;包含用于进行电特性试验的测定电路的测试头;用于使被试验设备的电极与测定电路连接的探测器;使载置台沿着第一方向移动,由此使电极与探测器接触或者分离的升降机构;以及被设置于测试头,在与第一方向交叉的平面上移动探测器,由此进行探测器与电极在平面中的对位的对准机构。

Test System

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】测试系统
本专利技术涉及测试系统。
技术介绍
公知有进行功率半导体等设备的检查的测试系统。例如专利文献1记载了具备保持设备的卡盘工作台、和将测试仪的端子与设备的电极连接的探测器的探测系统。在该探测系统中,卡盘工作台能够沿3轴向移动并且能够绕Z轴旋转,探测器被固定于测试仪固定台。在使用该卡盘工作台进行设备的检查的情况下,对被卡盘工作台保持的设备进行拍摄,以设备的电极与探测器的前端位置一致的方式,使卡盘工作台旋转,在沿X轴以及Y轴方向移动后,沿Z轴方向上升而使探测器与电极接触。专利文献1:日本特开2006-317346号公报然而,卡盘工作台具有3轴移动机构以及旋转机构,所以卡盘工作台的重量较大。因此,存在使卡盘工作台向装载位置、检查位置以及卸载位置移动所需的时间,以及在检查位置使卡盘工作台升降所需的时间变长,检查效率降低的顾虑。与此相对,考虑将3轴移动机构以及旋转机构设置于探测器的构成。在该构成中,需要使连接探测器与测定电路的配线长到探测器能够移动的程度。因此,存在配线的电感分量增加,测定精度降低的顾虑。在本
中,期望缩短搬送时间而不降低测定精度。
技术实现思路
专利技术的一形态的测本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测试系统,是实施被试验设备的电特性试验的测试系统,具备:载置台,载置所述被试验设备;搬送机构,搬送所述载置台;测试头,包含用于进行所述电特性试验的测定电路;探测器,用于将所述被试验设备的电极连接于所述测定电路;升降机构,使所述载置台沿着第一方向移动,由此使所述电极与所述探测器接触或者分离;以及对准机构,被设置于所述测试头,在与所述第一方向交叉的平面上使所述探测器移动,由此进行所述探测器与所述电极在所述平面中的对位。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.02.22 JP 2017-0311801.一种测试系统,是实施被试验设备的电特性试验的测试系统,具备:载置台,载置所述被试验设备;搬送机构,搬送所述载置台;测试头,包含用于进行所述电特性试验的测定电路;探测器,用于将所述被试验设备的电极连接于所述测定电路;升降机构,使所述载置台沿着第一方向移动,由此使所述电极与所述探测器接触或者分离;以及对准机构,被设置于所述测试头,在与所述第一方向交叉的平面上使所述探测器移动,由此进行所述探测器与所述电极在所述平面中的对位。2.根据权利要求1所述的测试系统,其中,所述搬送机构按照用于将所述被试验设备载置于所述载置台的第一工作站、用于实施所述电特性试验的第二...

【专利技术属性】
技术研发人员:浜田贵之坂本阳一
申请(专利权)人:新东工业株式会社
类型:发明
国别省市:日本,JP

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