三维恒力并联柔性微定位平台制造技术

本发明专利技术公开一种三维恒力并联柔性微定位平台，其包括主框架以及位于主框架内的力输入机构、力输出机构、恒力机构，恒力机构包括并联板簧机构以及与并联板簧机构分别连接的X向恒力机构、Y向恒力结构、Z向恒力机构，X向恒力机构、Y向恒力机构、Z向恒力机构之间相互正交，X向恒力机构包括相互串联的第一负刚度机构和第一板簧柔性结构，Y向恒力机构包括相互串联的第二负刚度机构和第二板簧柔性结构，Z向恒力机构包括相互串联的第三负刚度机构和第三板簧柔性结构。本发明专利技术采用并联结构实现运动解耦，使该定位平台具有三维的XYZ方向三个独立的自由度，同时利用柔性铰链连接避免了传统连接的缺点，以实现高精度定位。

3-D Parallel Flexible Micro-positioning Platform with Constant Force

【技术实现步骤摘要】
三维恒力并联柔性微定位平台
本专利技术涉及微纳精密驱动与定位
，具体的，涉及一种基于柔性机构的三维恒力并联柔性微定位平台。
技术介绍
微定位平台技术是现代精密工程中的研究与应用热点。目前，微定位平台已被广泛应用于微纳米尺度物体的快速抓放操作、高精密制造和组装、生物细胞显微注射等领域。由于一维、二维微定位平台存在自由度少等方面的局限性，多维微定位平台受到了广泛关注。申请号为201810029943.5的中国专利技术专利申请公开了一种串联式压电驱动微纳平台，其三维定向移动是由三个模块相串联，采用粘滑运动原理和杠杆放大原理来实现。然而，串联机构具有惯性大、累计误差大等缺点。申请号为201410734788.9的中国专利技术专利公开了一种并联式空间三维微位移精密定位装置，其由压电陶瓷驱动器经由杠杆放大机构来驱动。然而，它的输出行程小(低于毫米级)，不适用于大行程应用场合。申请号为201610231524.0的中国专利技术专利公开了一种并联式三自由度微定位平台，其用于实现大行程(毫米级以上)输出。由于上述专利技术采用传统柔性机构设计方法，需要采用较大的驱动器来实现大行程输出，增大本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.三维恒力并联柔性微定位平台，用于在三维空间内的指定方向提供恒力输出，包括主框架以及位于所述主框架内的力输入机构、力输出机构、用于连接所述力输入机构和所述力输出机构并传导作用力的恒力机构，其特征在于：所述恒力机构包括并联板簧机构以及与所述并联板簧机构分别连接的X向恒力机构、Y向恒力结构、Z向恒力机构，所述X向恒力机构、Y向恒力机构、Z向恒力机构之间相互正交，所述X向恒力机构包括相互串联的第一负刚度机构和第一板簧柔性结构，所述Y向恒力机构包括相互串联的第二负刚度机构和第二板簧柔性结构，所述Z向恒力机构包括相互串联的第三负刚度机构和第三板簧柔性结构。

【技术特征摘要】
1.三维恒力并联柔性微定位平台，用于在三维空间内的指定方向提供恒力输出，包括主框架以及位于所述主框架内的力输入机构、力输出机构、用于连接所述力输入机构和所述力输出机构并传导作用力的恒力机构，其特征在于：所述恒力机构包括并联板簧机构以及与所述并联板簧机构分别连接的X向恒力机构、Y向恒力结构、Z向恒力机构，所述X向恒力机构、Y向恒力机构、Z向恒力机构之间相互正交，所述X向恒力机构包括相互串联的第一负刚度机构和第一板簧柔性结构，所述Y向恒力机构包括相互串联的第二负刚度机构和第二板簧柔性结构，所述Z向恒力机构包括相互串联的第三负刚度机构和第三板簧柔性结构。2.根据权利要求1所述的三维恒力并联柔性微定位平台，其特征在于：所述力输入机构包括X轴方向设置的第一驱动电机、Y轴方向设置的第二驱动电机、Z轴方向设置的第三驱动电机。3.根据权利要求2所述的三维恒力并联柔性微定位平台，其特征在于：所述第一板簧柔性结构具有第一驱动开口，所述第一驱动电机的驱动部位于所述第一驱动开口内并且与所述第一板簧柔性结构的从动部相抵接，所述第一板簧柔性结构与所述第一负刚度机构相抵接，所述第一负刚度机构与所述并联板簧机构连接。4.根据权利要求2所述的三维恒力并联柔性微定位平台，其特征在于：所述第二板簧柔性结构具有第二驱动开口，所述第二驱动电机的驱动部位于所述第二驱动开口内并且与所述第二板簧柔性结构的从动部相抵接，所述第二板簧柔性结构与所述第二负刚度机构相抵接，所述第二负刚度机构与所述并联板簧机构连...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐青松，张小智，
申请(专利权)人：珠海澳大科技研究院，澳门大学，
类型：发明
国别省市：广东,44