一种可实现运动解耦的大行程二维精密微动平台制造技术

本发明专利技术公开了一种可实现运动解耦的大行程二维精密微动平台，包括对称差动放大机构、长臂铰链、刚性连接杆、微动平台、固定平台等部分。微动平台的一端通过两条长臂铰链和固定平台连接，另一端通过两条包含两个对称差动放大机构的支链和固定平台连接，两条支链按固定平台的对角线对称配置；在所述支链中，固定平台与对称差动放大机构、对称差动放大机构与对称差动放大机构、对称差动放大机构与微动平台之间均通过刚性连接杆进行连接。本发明专利技术在保证高精度、大行程运动的同时还能实现运动解耦，消除了输入耦合对平台运动精度和输入控制难度的影响。

A Large-Range Two-Dimensional Precision Micro-motion Platform for Motion Decoupling

【技术实现步骤摘要】
一种可实现运动解耦的大行程二维精密微动平台
本专利技术属于精密定位技术研究领域，具体涉及一种可实现运动解耦的大行程二维精密微动平台。
技术介绍
随着精密工程、微机电系统和智能制造的不断发展，传统机构已经不能满足这一飞速发展的要求。柔性机构靠其自身的弹性变形和自回复特性实现运动，具有免装配、无摩擦等优点，很适合精密平台的设计；由于压电陶瓷驱动器的输出很小，需要选用具有大放大比的柔性运放机构作为传动装置；另外输入耦合对微动平台的运动精度和控制难度都有影响。因此，急需设计一种能实现运动解耦的、具有高精度的微动平台。
技术实现思路
本专利技术为了解决输入耦合影响运动精度和控制难度的问题，也为了满足微动平台大行程、高精度的需求，提供了一种可实现运动解耦的大行程二维精密微动平台。其技术方案为：一种可实现运动解耦的大行程二维精密微动平台，主要包括对称差动放大机构（7、9）、长臂铰链（2）、刚性连接杆（6、8、10）、微动平台（1）、固定平台（3）。微动平台（1）的一端通过两条长臂铰链（2）和固定平台（3）连接，另一端通过两条支链和固定平台（3）连接，两条支链按固定平台（3）的对角线对称配置；在所述支链本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可实现运动解耦的大行程二维精密微动平台，主要包括对称差动放大机构（7、9）、长臂铰链（2）、刚性连接杆（6、8、10）、微动平台（1）、固定平台（3）；微动平台（1）的一端通过两条长臂铰链（2）和固定平台（3）连接，另一端通过两条支链和固定平台（3）连接，两条支链按固定平台（3）的对角线对称配置；在所述支链中，固定平台（3）通过刚性连接杆（6）和对称差动放大机构（7）连接，和固定平台（3）连接的对称差动放大机构（7）的输出端通过直角形的刚性连接杆（8）和对称差动放大机构（9）连接，对称差动放大机构（9）的输出端通过刚性连接杆（10）和微动平台（1）连接。

【技术特征摘要】
1.一种可实现运动解耦的大行程二维精密微动平台，主要包括对称差动放大机构（7、9）、长臂铰链（2）、刚性连接杆（6、8、10）、微动平台（1）、固定平台（3）；微动平台（1）的一端通过两条长臂铰链（2）和固定平台（3）连接，另一端通过两条支链和固定平台（3）连接，两条支链按固定平台（3）的对角线对称配置；在所述支链中，固定平台（3）通过刚性连接杆（6）和对...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺磊，李春晖，杨先海，侯成伟，
申请(专利权)人：山东理工大学，
类型：发明
国别省市：山东,37