可连续微调的涡流传感器探头装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了可连续微调的涡流传感器探头装置，包括：可调机构、固定机构以及调整驱动机构；所述可调机构包括：自下而上依次固定在一起的底座、楔形块以及悬臂梁，所述悬臂梁水平设置，且至少部分伸入至所述固定机构中的检测槽中，所述楔形块的斜面朝向所述底座，所述底座的上表面也设置成倾斜状，与所述楔形块的斜面相配合；所述调整驱动机构设置在所述可调机构中，且所述调整驱动机构能够对所述楔形块的位置进行调整，间接地调整所述悬臂梁的高度。该涡流传感器探头装置在保证测量精度等指标的同时，可以对探头位置进行任意位置的精确调整，满足安装和使用的需要。

Eddy Current Sensor Probe Device with Continuous Fine Adjustment

【技术实现步骤摘要】
可连续微调的涡流传感器探头装置
本专利技术涉及位移调整结构和调整装置领域，具体地，涉及一种可连续微调的涡流传感器探头装置。
技术介绍
在先进制造工业和科学研究中，大量高精度非接触式位移传感器被应用。涡流传感器是一种应用广泛的非接触式位移传感器。将传感器的探测线圈和目标金属靶物分别安装在发生相对位移的两个待测物体上，待测物体产生相对位置变化时，探测线圈与目标金属之间距离发生相同变化，从而改变线圈的电感值，输出有关位移变化的电信号。涡流传感器精度高，抗干扰能力强，稳定性较好，对环境污染等条件变化不敏感，广泛应用在从航空航天到工业制造的诸多领域。许多场合要求传感器具有极高的灵敏度，可以测量纳米级的位移量。但是位移传感器在达到很高的测量精度、灵敏度和稳定性的同时，往往只有很小的测量范围。这就导致传感器安装和调试时，调整的空间变小，调整难度加大。安装时，人为的受力等因素会为被安装物体带来一定的位移，在这种情况下传感器调整至量程内安装完毕后，撤去外力传感器可能会偏出量程；调整时，设定好的安装表面可能因为角度偏转、表面起伏等原因，使传感器无法工作在很小的量程内。另外，对于一些需要应用大规模传感器阵列进行测量的场合，被测物的位置很难保证其上所有的传感器均恰好处于很小的量程范围内。这大大提高了这类高精度传感器的安装和使用难度。传统的位移传感器为了解决这些问题，通常会以牺牲一定精度、线性度、稳定性等为代价，扩大传感器的使用量程，以满足安装使用的要求。也有一部分传感器，可以实现一些位置的调整，但是无法对传感器探头进行连续精确的位移控制，并且也同时牺牲了传感器的精度和稳定性。这些传感器无法适应高精度测量的同时，可精确调整位置的需要。因此，提供一种在保证测量精度等指标的同时，可以对探头位置进行任意位置的精确调整，满足安装和使用的需要的可连续微调的涡流传感器探头装置是本专利技术亟需解决的问题。
技术实现思路
针对上述技术问题，本专利技术的目的是提供一种在保证测量精度等指标的同时，可以对探头位置进行任意位置的精确调整，满足安装和使用的需要的可连续微调的涡流传感器探头装置。为了实现上述目的，本专利技术提供了一种可连续微调的涡流传感器探头装置，所述涡流传感器探头装置包括：可调机构、固定机构以及调整驱动机构；其中，所述可调机构包括：自下而上依次固定在一起的底座、楔形块以及悬臂梁，所述悬臂梁水平设置，且至少部分伸入至所述固定机构中的检测槽中，所述楔形块的斜面朝向所述底座，所述底座的上表面也设置成倾斜状，与所述楔形块的斜面相配合；所述调整驱动机构设置在所述可调机构中，且所述调整驱动机构能够对所述楔形块的位置进行调整，间接地调整所述悬臂梁的高度。优选地，所述底座、所述楔形块以及所述悬臂梁上沿着竖直方向分别贯穿设置有通孔，通过螺纹杆和螺帽配合将可调机构、固定机构以及调整驱动机构固定在一起，且所述通孔的直径大于所述螺纹杆的直径，所述悬臂梁的上表面与螺帽之间还设置有弹簧。优选地，所述弹簧与所述悬臂梁的上表面之间还设置有压板和缓冲垫。优选地，所述调整驱动机构包括：支撑座和至少两个螺旋微动头；所述支撑座呈U型状，且固定在所述底座上，所述螺旋微动头分别固定在所述支撑座上相对的两侧，且螺旋微动头上的驱动杆水平贯穿所述支撑座，且端部能够抵靠在所述楔形块的侧面上。优选地，所述楔形块的两侧从所述底座和悬臂梁之间伸出，且所述调整驱动机构还包括：至少两个所述卡位块，两个所述卡位块相对设置在所述支撑座的内侧，两个所述卡位块相对的一侧分别设置有与所述楔形块相配合的容纳槽，所述容纳槽的高度大于所述楔形块的最大厚度；且所述螺旋微动头上的驱动杆水平贯穿所述卡位块。优选地，所述驱动杆的端部包裹有橡胶套。优选地，所述固定机构朝向所述可调机构的一侧部分向内凹陷形成检测槽中，且所述检测槽的高度大于所述悬臂梁的厚度。优选地，所述检测槽的上侧和下侧分别设置有检测线圈；所述悬臂梁伸入所述检测槽一端的上下表面分别设置有铝片，所述铝片的面积大于所述检测线圈的面积。优选地，所述楔形块的截面为直角梯形，且所述楔形块的上表面呈水平状态。优选地，所述螺旋微动头上设置有位移检测机构。根据上述技术方案，本专利技术提供的可连续微调的涡流传感器探头装置在使用时，将可调机构和固定机构分别固定在两个待测量的被测物体上，将所述可调机构上的悬臂梁的测量端伸入至所述固定机构上的检测槽中，在使用时可以通过所述调整驱动机构来调节所述楔形块的位置，从而间接地调节所述悬臂梁的高度。本专利技术适用于高精度位移传感器上，可以在传感器原有量程、精度、分辨率不变上，使传感器适用于更加复杂多样的安装使用环境，提高传感器的适用性。有助于传感器应用于大规模阵列配置，大幅度减小安装调整难度。在同时使用大量传感器对多个目标位置进行同时检测等场合，具有很高的应用价值。本专利技术的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。附图说明附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中：图1是本专利技术的一种优选的实施方式中提供的可连续微调的涡流传感器探头装置的结构示意图；图2是本专利技术的一种优选的实施方式中提供的可连续微调的涡流传感器探头装置上可调机构和固定机构的装配示意图；图3是本专利技术的一种优选的实施方式中提供的可连续微调的涡流传感器探头装置上调整驱动机构的结构示意图；图4是本专利技术的一种优选的实施方式中提供的可连续微调的涡流传感器探头装置上调整驱动机构的爆炸图；图5是本专利技术的一种优选的实施方式中提供的可连续微调的涡流传感器探头装置的俯视图；图6是本专利技术的一种优选的实施方式中提供的可连续微调的涡流传感器探头装置的可连续微调的性能示意图。附图标记说明1可调机构2固定机构3调整驱动机构4螺纹杆5缓冲垫6压板7弹簧8螺帽9检测槽10铝片101悬臂梁102楔形块103底座301支撑座302卡位块303螺旋微动头304容纳槽305驱动杆11被测物体具体实施方式以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。在本专利技术中，在未作相反说明的情况下，“上、下、内、外”等包含在术语中的方位词仅代表该术语在常规使用状态下的方位，或为本领域技术人员理解的俗称，而不应视为对该术语的限制。如图1-3所示，本专利技术提供了一种可连续微调的涡流传感器探头装置，所述涡流传感器探头装置包括：可调机构1、固定机构2以及调整驱动机构3；其中，所述可调机构1包括：自下而上依次固定在一起的底座103、楔形块102以及悬臂梁101，所述悬臂梁101水平设置，且至少部分伸入至所述固定机构2中的检测槽9中，所述楔形块102的斜面朝向所述底座103，所述底座103的上表面也设置成倾斜状，与所述楔形块102的斜面相配合；所述调整驱动机构3设置在所述可调机构1中，且所述调整驱动机构3能够对所述楔形块102的位置进行调整，间接地调整所述悬臂梁101的高度。根据上述技术方案，本专利技术提供的可连续微调的涡流传感器探头装置在使用时，将可调机构1和固定机构2分别固定在两个待测量的被测物体上，将所述可调机构1上的悬臂梁101的测量端伸入至所述固定机构2上的检测槽9中，在使用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可连续微调的涡流传感器探头装置，其特征在于，所述涡流传感器探头装置包括：可调机构(1)、固定机构(2)以及调整驱动机构(3)；其中，所述可调机构(1)包括：自下而上依次固定在一起的底座(103)、楔形块(102)以及悬臂梁(101)，所述悬臂梁(101)水平设置，且至少部分伸入至所述固定机构(2)中的检测槽(9)中，所述楔形块(102)的斜面朝向所述底座(103)，所述底座(103)的上表面也设置成倾斜状，与所述楔形块(102)的斜面相配合；所述调整驱动机构(3)设置在所述可调机构(1)中，且所述调整驱动机构(3)能够对所述楔形块(102)的位置进行调整，间接地调整所述悬臂梁(101)的高度。

【技术特征摘要】
1.一种可连续微调的涡流传感器探头装置，其特征在于，所述涡流传感器探头装置包括：可调机构(1)、固定机构(2)以及调整驱动机构(3)；其中，所述可调机构(1)包括：自下而上依次固定在一起的底座(103)、楔形块(102)以及悬臂梁(101)，所述悬臂梁(101)水平设置，且至少部分伸入至所述固定机构(2)中的检测槽(9)中，所述楔形块(102)的斜面朝向所述底座(103)，所述底座(103)的上表面也设置成倾斜状，与所述楔形块(102)的斜面相配合；所述调整驱动机构(3)设置在所述可调机构(1)中，且所述调整驱动机构(3)能够对所述楔形块(102)的位置进行调整，间接地调整所述悬臂梁(101)的高度。2.根据权利要求1所述的可连续微调的涡流传感器探头装置，其特征在于，所述底座(103)、所述楔形块(102)以及所述悬臂梁(101)上沿着竖直方向分别贯穿设置有通孔，通过螺纹杆(4)和螺帽(8)配合将可调机构(1)、固定机构(2)以及调整驱动机构(3)固定在一起，且所述通孔的直径大于所述螺纹杆(4)的直径，所述悬臂梁(101)的上表面与螺帽(8)之间还设置有弹簧(7)。3.根据权利要求2所述的可连续微调的涡流传感器探头装置，其特征在于，所述弹簧与所述悬臂梁(101)的上表面之间还设置有压板(6)和缓冲垫(5)。4.根据权利要求1所述的可连续微调的涡流传感器探头装置，其特征在于，所述调整驱动机构(3)包括：支撑座(301)和至少两个螺旋微动头(303)；所述支撑座(301)呈U型状，且固定在所述底座(103)上，所述螺旋微动头(303)分别固定在所述支撑座(301)上相对的两侧，且螺旋微动头(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵国锋，李伟，李明夏，尹静，曹龙轩，吴磊，冯志华，
申请(专利权)人：安徽见行科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34