泡生法蓝宝石籽晶保护装置制造方法及图纸

技术编号:21603044 阅读:35 留言:0更新日期:2019-07-13 17:25
本实用新型专利技术涉及泡生法蓝宝石晶体生长炉领域,旨在提供一种蓝宝石籽晶保护装置。该装置包括机械手柄、转动轴及隔离挡板三个主体部件:机械手柄置于泡生炉小盖外,通过转动轴与隔离挡板连接;隔离挡板置于小盖底部靠近籽晶处,面积覆盖籽晶杆升降通道的孔洞。该装置通过机械手柄的转动控制隔离挡板以实现升降通道的封闭与开启,避免炉膛内部发热体及保温材料在高温下的挥发对蓝宝石籽晶的腐蚀污染,提高接种效率,可显著改善泡生法蓝宝石晶体的质量及成品率。

Sapphire Seed Crystal Protection Device for Packing Process

【技术实现步骤摘要】
泡生法蓝宝石籽晶保护装置
本技术涉及蓝宝石晶体生长装置,特别是一种泡生法蓝宝石籽晶保护装置,属晶体制备的

技术介绍
蓝宝石晶体作为当前半导体照明行业的关键部件,是蓝光和白光LED的重要衬底材料,其大尺寸、高质量的生长制备是行业发展的基础。目前已有多种方法实现了蓝宝石晶体的生长制备,包括泡生法、热交换法、导模法、提拉法、坩埚下降法等。泡生法能够生长尺寸较大的蓝宝石晶体以及设备成本相对低廉,被业内认为是最适合大规模生产蓝宝石晶体的方法。现有的泡生法,如公开号为CN105088333A和专利号为CN205603721U的专利文件所述装置,籽晶通常暴露于发热体及保温材料的上部,在升温化料及过热阶段,发热体、保温材料及熔体分解挥发物会粘附于籽晶表面,进而腐蚀污染籽晶。用受沾染的籽晶进行大尺寸晶体生长制备时,极易造成晶体质量下降,出现晶界、散射、包裹等缺陷,降低产品的成品率及利用率。
技术实现思路
针对蓝宝石晶体生长中籽晶污染的问题,本技术提供一种泡生法蓝宝石籽晶保护装置。本技术的技术解决方案如下:一种泡生法蓝宝石籽晶保护装置,包括机械手柄、转动轴及隔离挡板三个主体部件,其特征在于:所述的机械手柄置于泡生炉小盖外面,通过转动轴与隔离挡板连接,实现对隔离挡板的转动控制;所述的隔离挡板置于小盖底部靠近籽晶处,面积覆盖籽晶杆升降通道的孔洞,并通过转动实现对通道的封闭与开启。所述的机械手柄由两块限位挡块进行限位,限位挡块与转动轴的中心连线夹角θ范围为90°≤θ≤180°。所述的隔离挡板采用金属钨或者其他耐高温材料制成。本技术的技术效果是:通过机械手柄的转动控制隔离挡板,在升温化料和熔体过热阶段,封闭籽晶升降通道,使籽晶不会暴露在发热体及保温材料的上部,避免其在高温下的挥发物对籽晶的腐蚀污染。当需要进行晶体生长时,通过机械手柄转动隔离挡板,开启籽晶升降通道完成籽晶接种工作。由于该装置实现了对蓝宝石籽晶防污染腐蚀的保护,确保了籽晶的高品质,可显著提高接种效率,改善泡生法蓝宝石晶体的质量、成品率及利用率,降低生产成本。附图说明图1是泡生法蓝宝石籽晶保护装置的主视图。图2是泡生法蓝宝石籽晶保护装置的俯视图。图3是泡生法蓝宝石籽晶保护装置在安装使用时的结构示意图(左:对籽晶杆升降通道开启;右:对籽晶杆升降通道封闭)。附图标记说明:1.机械手柄、2.转动轴、3.隔离挡板、4.限位挡块、5.籽晶杆、6.泡生炉小盖。具体实施方式下面结合具体附图和实施例对本技术作进一步说明。本技术公开了一种泡生法蓝宝石籽晶保护装置,包括机械手柄(1)、转动轴(2)及隔离挡板(3)三个主体部件,所述机械手柄(1)置于泡生炉小盖(6)外面,通过转动轴(2)与隔离挡板(3)连接,实现对隔离挡板(3)的转动控制;所述隔离挡板(3)置于小盖(6)底部靠近籽晶处,面积覆盖籽晶杆(5)升降通道的孔洞,并通过转动实现对通道的封闭与开启;所述机械手柄(1)由两块限位挡块(4)进行限位,限位挡块(4)与转动轴(2)的中心连线夹角θ范围为90°≤θ≤180°;所述隔离挡板(3)采用金属钨或者其他耐高温材料制成。本技术泡生法蓝宝石籽晶保护装置的工作过程如下:在升温化料时,将泡生法籽晶杆通过升降通道提拉置于炉膛上部,摇动本技术装置中的机械手柄,控制隔离挡板,以封闭籽晶升降通道,使籽晶不暴露在发热体及保温材料的上部;熔体过热结束后,按相反的方向摇动机械手柄控制隔离挡板,以开启籽晶升降通道,缓慢将籽晶接触熔体完成接种工作;设定合适的提拉、温度控制或功率控制参数,实现高质量泡生法蓝宝石晶体的生长。上述实施例是对本技术的说明,不是对本技术的限定,任何对本技术简单变换后的方案均属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.泡生法蓝宝石籽晶保护装置,包括机械手柄(1)、转动轴(2)及隔离挡板(3)三个主体部件,其特征在于:所述的机械手柄(1)置于泡生炉小盖(6)外面,通过转动轴(2)与隔离挡板(3)连接,实现对隔离挡板(3)的转动控制;所述的隔离挡板(3)置于泡生炉小盖(6)底部靠近籽晶处,面积覆盖籽晶杆(5)升降通道的孔洞,并通过转动实现通道的封闭与开启。

【技术特征摘要】
1.泡生法蓝宝石籽晶保护装置,包括机械手柄(1)、转动轴(2)及隔离挡板(3)三个主体部件,其特征在于:所述的机械手柄(1)置于泡生炉小盖(6)外面,通过转动轴(2)与隔离挡板(3)连接,实现对隔离挡板(3)的转动控制;所述的隔离挡板(3)置于泡生炉小盖(6)底部靠近籽晶处,面积覆盖籽晶杆(5)升降通道的孔洞,并通过转...

【专利技术属性】
技术研发人员:张连翰杭寅朱影何明珠蔡双徐民潘世烈赵兴俭韦建
申请(专利权)人:新疆紫晶光电技术有限公司
类型:新型
国别省市:新疆,65

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