【技术实现步骤摘要】
泡生法蓝宝石籽晶保护装置
本技术涉及蓝宝石晶体生长装置,特别是一种泡生法蓝宝石籽晶保护装置,属晶体制备的
技术介绍
蓝宝石晶体作为当前半导体照明行业的关键部件,是蓝光和白光LED的重要衬底材料,其大尺寸、高质量的生长制备是行业发展的基础。目前已有多种方法实现了蓝宝石晶体的生长制备,包括泡生法、热交换法、导模法、提拉法、坩埚下降法等。泡生法能够生长尺寸较大的蓝宝石晶体以及设备成本相对低廉,被业内认为是最适合大规模生产蓝宝石晶体的方法。现有的泡生法,如公开号为CN105088333A和专利号为CN205603721U的专利文件所述装置,籽晶通常暴露于发热体及保温材料的上部,在升温化料及过热阶段,发热体、保温材料及熔体分解挥发物会粘附于籽晶表面,进而腐蚀污染籽晶。用受沾染的籽晶进行大尺寸晶体生长制备时,极易造成晶体质量下降,出现晶界、散射、包裹等缺陷,降低产品的成品率及利用率。
技术实现思路
针对蓝宝石晶体生长中籽晶污染的问题,本技术提供一种泡生法蓝宝石籽晶保护装置。本技术的技术解决方案如下:一种泡生法蓝宝石籽晶保护装置,包括机械手柄、转动轴及隔离挡板三个主体部件,其特征在于:所述的机械手柄置于泡生炉小盖外面,通过转动轴与隔离挡板连接,实现对隔离挡板的转动控制;所述的隔离挡板置于小盖底部靠近籽晶处,面积覆盖籽晶杆升降通道的孔洞,并通过转动实现对通道的封闭与开启。所述的机械手柄由两块限位挡块进行限位,限位挡块与转动轴的中心连线夹角θ范围为90°≤θ≤180°。所述的隔离挡板采用金属钨或者其他耐高温材料制成。本技术的技术效果是:通过机械手柄的转动控制隔离挡板, ...
【技术保护点】
1.泡生法蓝宝石籽晶保护装置,包括机械手柄(1)、转动轴(2)及隔离挡板(3)三个主体部件,其特征在于:所述的机械手柄(1)置于泡生炉小盖(6)外面,通过转动轴(2)与隔离挡板(3)连接,实现对隔离挡板(3)的转动控制;所述的隔离挡板(3)置于泡生炉小盖(6)底部靠近籽晶处,面积覆盖籽晶杆(5)升降通道的孔洞,并通过转动实现通道的封闭与开启。
【技术特征摘要】
1.泡生法蓝宝石籽晶保护装置,包括机械手柄(1)、转动轴(2)及隔离挡板(3)三个主体部件,其特征在于:所述的机械手柄(1)置于泡生炉小盖(6)外面,通过转动轴(2)与隔离挡板(3)连接,实现对隔离挡板(3)的转动控制;所述的隔离挡板(3)置于泡生炉小盖(6)底部靠近籽晶处,面积覆盖籽晶杆(5)升降通道的孔洞,并通过转...
【专利技术属性】
技术研发人员:张连翰,杭寅,朱影,何明珠,蔡双,徐民,潘世烈,赵兴俭,韦建,
申请(专利权)人:新疆紫晶光电技术有限公司,
类型:新型
国别省市:新疆,65
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