一种复合型涡轮分子泵转子及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种复合型涡轮分子泵转子及其制备方法，涉及气体流体领域。该涡轮分子泵转子包括至少一组依次层叠设置的第一转子环、第二转子环、第三转子环和叶片；其中，第一转子环和第三转子环为铝或铝合金转子环，第二转子环为钛或钛合金间隔转子环，叶片为钛或钛合金叶片。该涡轮分子泵转子的质量轻、性能良好、高速性优异，其结构兼具了成本低、轻质铝或铝合金转子与中等重量、高强度的钛或钛合金叶片的优点，并且能够有效避免叶片在焊接冷却过程中产生屈曲变形。

A Composite Turbomolecular Pump Rotor and Its Preparation Method

【技术实现步骤摘要】
一种复合型涡轮分子泵转子及其制备方法
本专利技术涉及气体流体领域，具体而言，涉及一种复合型涡轮分子泵转子及其制备方法。
技术介绍
众所周知，在核聚变反应堆，激光等离子体装置等中需要高真空室。具有涡轮叶片的转子每分钟旋转几万次，以便在分子流动区域中产生气体分子的排气作用。近年来，随着聚变反应器的性能变得越来越大，真空室所需的真空度也越来越高，研制超高真空涡轮分子泵的市场化需求越来越强烈。同时，为了保证涡轮分子泵的经济性和良好的驱动性能，需要在制造过程中对其成本和重量进行严格控制。在传统涡轮分子泵的制造过程中，通常分开预先加工多级叶片和转子盘，随后采用螺栓螺母或熔焊的方法将其加工为整体转子结构，但是该方法存在连接强度低、加工成本高、工序复杂和工时数长等缺点。同时，由于采用铝/铝合金转子环具有轻质、成本低等优点，而钛/钛合金叶片具有中等质量、力学优异性能等优点，因此可以想象，制备铝/铝合金转子环和钛/钛合金叶片复合型涡轮分子泵转子具有无法比拟的技术优势。但是，铝的热膨胀率为24.0×10-6/℃，而钛的热膨胀系数为8.9×10-6/℃，两者热膨胀系数差异使得连接界面存在热应力，进而导致在冷本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种复合型涡轮分子泵转子，其特征在于，包括：至少一组依次层叠设置的第一转子环、第二转子环、第三转子环和叶片；其中，所述第一转子环和所述第三转子环为铝或铝合金转子环，所述第二转子环为钛或钛合金间隔转子环，所述叶片为钛或钛合金叶片。

【技术特征摘要】
1.一种复合型涡轮分子泵转子，其特征在于，包括：至少一组依次层叠设置的第一转子环、第二转子环、第三转子环和叶片；其中，所述第一转子环和所述第三转子环为铝或铝合金转子环，所述第二转子环为钛或钛合金间隔转子环，所述叶片为钛或钛合金叶片。2.根据权利要求1所述的复合型涡轮分子泵转子，其特征在于：所述第一转子环和所述第三转子环的厚度为1～80mm。3.根据权利要求1所述的复合型涡轮分子泵转子，其特征在于：所述第二转子环的厚度为0.1～20mm。4.根据权利要求1所述的复合型涡轮分子泵转子，其特征在于：所述叶片的厚度为1～50mm。5.根据权利要求1至4中任一项所述的复合型涡轮分子泵转子，其特征在于：所述第一转子环与所述第二转子环之间，所述第二转子环和所述第三转子环之间，以及所述第三转子环和所述叶片之间均设置有增强中间层。6.根据权利要求5所述的复合型涡轮分子泵转子...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙福，张昊，王桂龙，邵长斌，王莉敏，王蒙蒙，
申请(专利权)人：江苏博联硕焊接技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32