一种硅片连续式自定位传输机构制造技术

技术编号:21600409 阅读:32 留言:0更新日期:2019-07-13 16:37
本实用新型专利技术涉及硅片加工技术领域,尤其涉及一种硅片连续式自定位传输机构,包括传片机构、第一定位机构及第二定位机构,通过在传片机构末端分别设置第一定位机构及第二定位机构,并预先设定第一定位机构及第二定位机构所调整的坐标位置,使通过传片机构传送至第一定位机构及第二定位机构处的硅片在传送过程中完成三点自定心调整,实现硅片自动化精准稳定定位,确保硅片的中心与后续转移吸附机构精确配合,节省后续倒角加工前的自调心步骤,实现批量硅片连续式自动定位,工艺连续性好,自动化程度高,大大节省人力,且可通过调整第一定位机构及第二定位机构的坐标参数,实现实现对不同尺寸的硅片进行定位,满足工业生产的多种需要。

A Continuous Self-positioning Transmission Mechanism for Silicon Wafers

【技术实现步骤摘要】
一种硅片连续式自定位传输机构
本技术涉及硅片加工
,尤其涉及一种硅片连续式自定位传输机构。
技术介绍
21世纪以来,全球能源消费急剧攀升,传统化石能源日益枯竭,能源问题和环境问题逐渐成为全球关注的两大重点问题。迫于可持续发展的压力,太阳能光伏产业成为可再生能源开发利用的重点。晶硅太阳电池是目前技术最成熟、应用最广泛的太阳能光伏产品。在晶硅及其制品的生产过程中,需先将硅棒切割成硅片,由于硅片经过切割后边缘表面有棱角毛刺崩边甚至有裂缝或其它缺陷,边缘表面比较粗糙,因此为了增加硅切片边缘表面机械强度、减少颗粒污染,要将其边缘磨削呈圆弧状或梯形,该过程即为倒角。未经处理的硅片需通过吸盘自传送装置准确转移并放入倒角设备上,以实现硅片的自动上片,而硅片在传送装置上是否处于正确位置,将极大影响吸盘能否正确吸住吸盘,并精准地放入倒角设备上。
技术实现思路
本技术针对现有技术中存在的问题,提供一种硅片连续式自定位传输机构,可实现待吸取硅片的精确稳定预定位,自动化程度高,可节约等待时间,缩短工艺流程,提高成片率。为解决上述技术问题,本技术提供了一种硅片连续式自定位传输机构,包括:传片机构,所述传片机构为辊式输送,其包括输送辊组件与驱动组件,所述驱动组件驱动所述输送辊组件输送硅片;第一定位机构,所述第一定位机构设置于所述传片机构的输出端,其正对所述传片机构设置,其包括第一滑动组件与第一定位组件,所述第一滑动组件驱动所述第一定位组件沿所述传片机构的输送方向对所述硅片定位;以及第二定位机构,所述第二定位机构设置于所述传片机构的输出端处,其包括第二滑动组件与第二定位组件,所述第二滑动组件位于所述第一定位组件的下方,其长度方向与所述传片机构的输送方向水平垂直设置,所述第二定位组件水平对称设置于所述第一定位组件的两侧,其由所述第二滑动组件驱动沿所述第二滑动组件的长度方向同步滑动,且其沿与所述传片机构的输送方向的水平垂直方向对所述硅片两侧定位。进一步的,所述输送辊组件包括:辊轮,若干所述辊轮沿所述传片机构的输送方向依次排列并转动设置于安装架上;第一传动齿轮,若干所述第一传动齿轮分别固定设置于若干所述辊轮的一端,其与所述辊轮同轴设置;以及第二传动齿轮,若干所述第二传动齿轮交错设置于所述第一传动齿轮之间,其与所述安装架转动连接,且其与所述第一传动齿轮啮合连接。进一步的,所述驱动组件包括:驱动件a,所述驱动件a通过支架设置于所述安装架底部一端靠近所述第一传动齿轮的一侧,其驱动轴a正对所述第一传动齿轮与所述辊轮平行设置;主动齿轮,所述主动齿轮同轴设置于所述驱动轴a上;从动齿轮,所述从动齿轮设置于所述驱动件a上方,其与所述安装架转动连接,所述从动齿轮底部与所述主动齿轮啮合连接,其一侧与所述第一传动齿轮啮合连接,所述驱动件a通过主动齿轮、从动齿轮、第一传动齿轮及第二传动齿轮传动驱动所述辊轮转动。进一步的,所述第一滑动组件包括:第一安装座,所述第一安装座水平垂直于所述第二滑动组件设置于底座上;第一丝杠,所述第一丝杠转动设置于所述第一安装座上;第一驱动件,所述第一驱动件通过驱动轴固定设置于所述第一丝杠的一端,其驱动所述第一丝杠转动。进一步的,所述第一定位组件包括:第一滑块,所述第一滑块套设于所述第一丝杠上,其由所述第一丝杠转动带动沿所述传片机构的输送方向往复滑动;第一连接板,所述第一连接板的一端与所述第一滑块可拆卸连接,另一端延伸至所述第二定位组件之间;第一定位板,所述第一定位板竖直设置于所述第一连接板背离所述第一滑块的一端,且其与所述第一定位板的长度方向垂直设置,其沿所述传片机构的输送方向对所述硅片定位。进一步的,所述第二滑动组件包括:第二安装座,所述第二安装座设置于所述第一定位组件的下方;第二丝杠,所述第二丝杠为反向丝杠,其转动设置于所述第二安装座上;第二驱动件,所述第二驱动件通过驱动轴固定设置于所述第二丝杠的一端,其驱动所述第二丝杠转动。进一步的,所述第二定位组件包括:第二滑块,所述第二滑块对称套设于所述第二丝杠上,其由所述第二丝杠转动带动沿所述第二丝杠的长度方向同步滑动;第二连接板,所述第二连接板的一端与所述第二滑块可拆卸连接,另一端延伸至所述输送辊组件上;第二定位板,所述第二定位板分别竖直设置于所述第二连接板靠近所述第一定位组件的一侧,其沿与所述传片机构输送方向的水平垂直方向对所述硅片两侧定位。优选的,所述第二定位板背离所述第二滑块的一端向所述传片机构的输入端延伸并分别向所述第二滑动组件的两端倾斜。本技术的有益效果:(1)在本技术中,通过在传片机构末端分别设置第一定位机构和第二定位机构,通过预先设定第一定位机构及第二定位机构所调整的坐标位置,使通过传片机构传送至第一定位机构及第二定位机构处的硅片在传送过程中完成三点自定心调整,实现硅片自动化精准稳定定位,确保硅片的中心与后续转移吸附机构精确配合,节省后续倒角加工前的自调心步骤。(2)在本技术中,通过配合使用传感器,当感应到硅片已传送至第一定位机构处时,第二定位机构开始工作,将硅片加紧进行左右定位,此时传片机构停止转动,当完成定位的硅片离开传片机构被转移至下一工序时,传片机构重新开始转动,对下一待定位的硅片进行传送,实现批量硅片连续式自动定位,工艺连续性好,自动化程度高,大大节省人力。(3)在本技术中,第一定位机构和第二定位机构上分别设置丝杠和定位板,通过丝杠转动带动定位板移动,实现将定位机构调整至所需定位的坐标位置,从而可实现对不同尺寸的硅片进行定位,满足工业生产的多种需要。综上所述,本技术所提供的一种硅片连续式自定位传输机构,可自动连续完成批量硅片在传送过程的自定心调整,全过程自动化进行,节省人力,且可满足对不同尺寸硅片的定位需要,设备稳定性好,适宜生产过程中对硅片进行批量加工使用。附图说明为了更清楚的说明本技术实施例的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域的普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他附图。图1为本技术整体结构示意图;图2为传片机构结构示意图;图3为传片机构后视图;图4为第一定位机构结构示意图;图5为第二定位机构结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地说明。实施例一下面详细描述本技术的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本技术,而不能理解为对本技术的限制。如图1-2所示,一种硅片连续式自定位传输机构,包括:传片机构1,所述传片机构1为辊式输送,其包括输送辊组件11与驱动组件12,所述驱动组件12驱动所述输送辊组件11输送硅片10;第一定位机构2,所述第一定位机构2设置于所述传片机构1的输出端,其正对所述传片机构1设置,其包括第一滑动组件21与第一定位组件22,所述第一滑动组件21驱动所述第一定位组件22沿所述传片机构1的输送方向对所述硅片10定位;以及第二定位机构3,所述第二定位机构3设置于所述传片机构1的输出端处,其本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片连续式自定位传输机构,其特征在于,包括:传片机构(1),所述传片机构(1)为辊式输送,其包括输送辊组件(11)与驱动组件(12),所述驱动组件(12)驱动所述输送辊组件(11)输送硅片(10);第一定位机构(2),所述第一定位机构(2)设置于所述传片机构(1)的输出端,其正对所述传片机构(1)设置,其包括第一滑动组件(21)与第一定位组件(22),所述第一滑动组件(21)驱动所述第一定位组件(22)沿所述传片机构(1)的输送方向对所述硅片(10)定位;以及第二定位机构(3),所述第二定位机构(3)设置于所述传片机构(1)的输出端处,其包括第二滑动组件(31)与第二定位组件(32),所述第二滑动组件(31)位于所述第一定位组件(22)的下方,其长度方向与所述传片机构(1)的输送方向水平垂直设置,所述第二定位组件(32)水平对称设置于所述第一定位组件(22)的两侧,其由所述第二滑动组件(31)驱动沿所述第二滑动组件(31)的长度方向同步滑动,且其沿与所述传片机构(1)的输送方向的水平垂直方向对所述硅片(10)两侧定位。

【技术特征摘要】
1.一种硅片连续式自定位传输机构,其特征在于,包括:传片机构(1),所述传片机构(1)为辊式输送,其包括输送辊组件(11)与驱动组件(12),所述驱动组件(12)驱动所述输送辊组件(11)输送硅片(10);第一定位机构(2),所述第一定位机构(2)设置于所述传片机构(1)的输出端,其正对所述传片机构(1)设置,其包括第一滑动组件(21)与第一定位组件(22),所述第一滑动组件(21)驱动所述第一定位组件(22)沿所述传片机构(1)的输送方向对所述硅片(10)定位;以及第二定位机构(3),所述第二定位机构(3)设置于所述传片机构(1)的输出端处,其包括第二滑动组件(31)与第二定位组件(32),所述第二滑动组件(31)位于所述第一定位组件(22)的下方,其长度方向与所述传片机构(1)的输送方向水平垂直设置,所述第二定位组件(32)水平对称设置于所述第一定位组件(22)的两侧,其由所述第二滑动组件(31)驱动沿所述第二滑动组件(31)的长度方向同步滑动,且其沿与所述传片机构(1)的输送方向的水平垂直方向对所述硅片(10)两侧定位。2.根据权利要求1所述的一种硅片连续式自定位传输机构,其特征在于,所述输送辊组件(11)包括:辊轮(111),若干所述辊轮(111)沿所述传片机构(1)的输送方向依次排列并转动设置于安装架(110)上;第一传动齿轮(112),若干所述第一传动齿轮(112)分别固定设置于若干所述辊轮(111)的一端,其与所述辊轮(111)同轴设置;以及第二传动齿轮(113),若干所述第二传动齿轮(113)交错设置于所述第一传动齿轮(112)之间,其与所述安装架(110)转动连接,且其与所述第一传动齿轮(112)啮合连接。3.根据权利要求2所述的一种硅片连续式自定位传输机构,其特征在于,所述驱动组件(12)包括:驱动件a(121),所述驱动件a(121)通过支架(120)设置于所述安装架(110)底部一端靠近所述第一传动齿轮(112)的一侧,其驱动轴a(1211)正对所述第一传动齿轮(112)与所述辊轮(111)平行设置;主动齿轮(122),所述主动齿轮(122)同轴设置于所述驱动轴a(1211)上;从动齿轮(123),所述从动齿轮(123)设置于所述驱动件a(121)上方,其与所述安装架(110)转动连接,所述从动齿轮(123)底部与所述主动齿轮(122)啮合连接,其一侧与所述第一传动齿轮(112)啮合连接,所述驱动件a(121)通过主动齿轮(122)、从动齿轮(123)、第一传动齿轮(112)及第二传动齿轮(113)传动驱动所述辊轮(111...

【专利技术属性】
技术研发人员:万喜增严云黄笑容郑六奎
申请(专利权)人:浙江中晶新材料研究有限公司
类型:新型
国别省市:浙江,33

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