【技术实现步骤摘要】
真空环境多自由度调节的高倍显微观测系统
本专利技术属于真空环境显微观测
，特别涉及一种真空环境多自由度调节的高倍显微观测系统。
技术介绍
使用显微镜观察真空腔体内的物体时，有两种物镜配置方法：第一种是物镜置于真空腔体外；第二种是物镜置于真空腔体内，如图1、2所示。物镜外置的显微镜观测系统的优点是物镜可以上下移动，容易调焦。缺点是由于显微物镜2在真空腔体6外，显微物镜2下表面到观察目标4的距离非常远，导致采用的同倍数的物镜数值孔径减小，降低了物理分辨率。对于物镜内置的显微镜观测系统，由于物镜在真空腔体内，物镜与观察目标距离短，可以采用放大倍数高、数值孔径大的物镜，所以有着更高的物理分辨率。但由于物镜在真空腔体内，如何在真空环境中移动物镜进行调焦则成为了一个急需解决的问题。现有的真空环境中显微镜物镜调节技术主要有两方面缺陷：一是：当前即便是最实用的动态密封方法也会增加物镜成像系统与观察目标的距离，且无法水平移动物镜，不能应用于高放大倍数的物镜；二是：直接移动物镜会使观察系统承受由大气压力产生的弯矩。详情如下：当前最实用的动态密封方法(见图3)通过法兰11与真空腔...
【技术保护点】
1.一种真空环境多自由度调节的高倍显微观测系统,其特征在于，包括焊接波纹管、滑动轴承、套筒、两侧螺栓，采用焊接波纹管作为伸缩套管，包裹显微物镜；焊接波纹管上下端分别设有上外螺纹法兰和下法兰，焊接波纹管下法兰固定于真空腔体上；所述上外螺纹法兰在下面与物镜固定连接，滑动轴承设于真空腔体上端面上面；所述套筒内壁上部设有与上外螺纹法兰相配的内螺纹，套筒内壁上部与上外螺纹法兰螺纹连接，下端置于滑动轴承上，上外螺纹法兰套设于若干竖直导杆上可上下移动，竖直导杆下端固设于焊接波纹管下法兰上；两侧螺栓端部相对设于套筒两侧，两侧螺栓位于螺栓支架上与螺栓支架螺纹连接，旋转两侧螺栓可以使套筒水平移动。
【技术特征摘要】
1.一种真空环境多自由度调节的高倍显微观测系统,其特征在于，包括焊接波纹管、滑动轴承、套筒、两侧螺栓，采用焊接波纹管作为伸缩套管，包裹显微物镜；焊接波纹管上下端分别设有上外螺纹法兰和下法兰，焊接波纹管下法兰固定于真空腔体上；所述上外螺纹法兰在下面与物镜固定连接，滑动轴承设于真空腔体上端面上面；所述套筒内壁上部设有与上外螺纹法兰相配的内螺纹，套筒内壁上部与上外螺纹法兰螺纹连接，下端置于滑动轴承上，上外螺纹法兰套设于若干竖直导杆上可上下移动，竖直导杆下...
【专利技术属性】
技术研发人员：王梦迪，刘聪，张兴义，周军，
申请(专利权)人：兰州大学，
类型：发明
国别省市：甘肃,62
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