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真空环境多自由度调节的高倍显微观测系统技术方案
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文档序号:21568790
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本发明公开了一种真空环境多自由度调节的高倍显微观测系统,包括焊接波纹管、滑动轴承、套筒、两侧螺栓,采用焊接波纹管作为伸缩套管,焊接波纹管上下端分别设有上外螺纹法兰和下法兰,焊接波纹管下法兰固定于真空腔体上;含有内螺纹的套筒套住焊接波纹管的上...
该专利属于兰州大学所有,仅供学习研究参考,未经过兰州大学授权不得商用。
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