【技术实现步骤摘要】
光声传感器、用于检测气密性的方法和系统
各种实施例涉及光声传感器和用于检测容积气密性的方法。
技术介绍
已知的技术应用在于，可能需要预定腔室或者预定舱室的气密性。同样地，已知的测试方法在于，利用该测试方法能够确定这样的气密性。为此，能够例如沿着以气体填充的、存在超压力的检测对象的密封和可能的非密封位置引入所谓的取样探头，以用于密封检测。如果在这种情况下基于超压力气体溢出检测对象，这个气体能够通过取样探头被确定，从而确定检测对象是不气密的或者检测对象常规的气密性不被保证。然而对于确定的应用，这样的检测能够是不经济的，或者基于技术的框架条件是不可行的。具有常规气密的容积、腔室或者舱室的检测对象能够例如是来自不同领域的电子设备的组件，例如医学设备或者在汽车领域或者终端消费领域应用的设备，所述设备具有真空腔室或者以确定的气体填充的腔室或者传感器。例如计算机硬盘能够以氦气填充，或者传感器腔室能够以任意预定的气体填充。具有气腔室的传感器系统应该例如是光声传感器，所述气腔室相对环境是常规气密的。这样的光声传感器能够如此使用，即在测量段上定量地确定气体的浓度。为此，光源能够在测量...
【技术保护点】
1.一种光声传感器，包括：以气体(110)填充的容积(102)；气体激励设备(104)，所述气体激励设备构造用于激励所述容积(102)内部的所述气体(110)；麦克风(106)，所述麦克风构造用于输出麦克风信号(112)，所述麦克风信号(112)取决于受所述气体激励设备(104)激励的气体(110)；以及检测单元(108)，所述检测单元构造用于基于所述麦克风信号(112)来检测所述容积(102)的气密性。
【技术特征摘要】
2017.12.01 DE 102017128526.11.一种光声传感器，包括：以气体(110)填充的容积(102)；气体激励设备(104)，所述气体激励设备构造用于激励所述容积(102)内部的所述气体(110)；麦克风(106)，所述麦克风构造用于输出麦克风信号(112)，所述麦克风信号(112)取决于受所述气体激励设备(104)激励的气体(110)；以及检测单元(108)，所述检测单元构造用于基于所述麦克风信号(112)来检测所述容积(102)的气密性。2.根据权利要求1所述的光声传感器，其中以所述气体(110)填充的所述容积(102)是常规不透气的、封闭的腔室。3.根据前述权利要求中任一项所述的光声传感器，其中所述气体激励设备(104)布置在所述容积(102)内部。4.根据前述权利要求中任一项所述的光声传感器，其中所述气体激励设备(104)包括加热装置。5.根据前述权利要求中任一项所述的光声传感器，其中所述气体激励设备(104)设定用于热学地激励所述气体(110)，并且依据所述气体(110)的热声特性来输出所述麦克风信号(112)。6.根据前述权利要求中任一项所述的光声传感器，其中所述气体激励设备(104)包括电阻元件，所述电阻元件能够通过加载预定的电信号而被暖化，以用于激励气体(110)。7.根据权利要求6所述的光声传感器，其中所述电阻元件包括位于所述容积(102)内部的温度传感器的至少一部分。8.根据权利要求7所述的光声传感器，其中所述温度传感器是PTC温度传感器或者PT1000温度传感器。9.根据前述权利要求中任一项所述的光声传感器，其中所述气体激励设备(104)包括光电二极管，所述光电二极管能够加载预定的电信号，以用于热学地激励所述容积(102)的所述气体(110)。10.根据权利要求6至9中任一项所述的光声传感器，其中所述预定的电信号具有预定的电压和/或预定的频率和/或预定的占空比。11.根据前述权利要求中任一项所述的光声传感器，其中所述检测单元(108)具有参考信号，所述参考信号是麦克风信号，所述麦克风信号在预定的校准情况下通过由气密容积(102)的所述气体激励设备(104)激励的所述气体(110)引起。12.根据权利要求11所述的光声传感器，其中所述检测单元(108)包括输出单元，所述输出单元设计用于在所述麦克风信号(112)位于所述参考信号周围的预...
【专利技术属性】
技术研发人员：M·埃贝尔，F·约斯特，S·科尔布，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE
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