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光声传感器、用于检测气密性的方法和系统技术方案
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文档序号:21568254
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本公开涉及光声传感器、用于检测气密性的方法和系统。系统(100)的示例包括:以气体(110)填充的容积(102);气体激励设备(104),构造用于激励容积(102)内部的气体(110);麦克风(106),构造用于输出麦克风信号,其取决于受气...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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